手持環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器使用說明書

中源綠凈為半導(dǎo)體晶圓切割潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，重點強(qiáng)化了微粒與濕度的 管控。應(yīng)用場景：晶圓切割與劃片潔凈車間。針對 100 級切割區(qū)，部署防靜電監(jiān)測終端，同步采集 0.3μm 微粒濃度（采樣流量 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期 2 秒）、車間濕度（45%~55% RH，精度 ±2%）、切割區(qū)溫度（23±1℃）及靜電電壓（量程 - 500~+500V）。采用激光散射式粒子計數(shù)器， 小檢測粒徑達(dá) 0.1μm，配合濕度動態(tài)調(diào)節(jié)算法，可將濕度波動控制在 ±3% 以內(nèi)。系統(tǒng)支持與切割設(shè)備聯(lián)動，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時自動暫停作業(yè)，使晶圓切割崩邊率下降 45%。已在中芯國際、華虹半導(dǎo)體應(yīng)用，符合 SEMI F47 電壓標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.93%。中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測方面，為 30 + 企業(yè)提供 24 小時在線監(jiān)測服務(wù)，隨時掌握環(huán)境動態(tài)！手持環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器使用說明書

中源綠凈在光伏硅片清洗潔凈室環(huán)境監(jiān)測中，推出了粉塵 - 水質(zhì)雙維度方案。應(yīng)用場景：光伏硅片清洗潔凈車間。針對 1000 級清洗區(qū)，配置防塵型監(jiān)測終端，同步監(jiān)測 0.3μm 粉塵濃度（檢測下限 0.001mg/m3）、清洗用水微粒（0.5μm 粒徑，10 粒 / L 以下）、溫度（20~25℃）及濕度（45%~55% RH）。采用 β 射線吸收法測塵技術(shù)，響應(yīng)時間≤1 秒，數(shù)據(jù)采樣間隔 5 秒 / 次。系統(tǒng)對接清洗機(jī) PLC，水質(zhì)超標(biāo)時自動切換過濾單元，使硅片表面潔凈度達(dá)標(biāo)率提升 42%。已在隆基綠能、晶科能源應(yīng)用，符合 IEC 61215 標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境管控達(dá)標(biāo)率 99.85%。蘇州無塵車間環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范中源綠凈環(huán)境監(jiān)測服務(wù)，使 65 + 塑料廠廢氣處理效率提 18%，環(huán)保更可靠！

中源綠凈針對半導(dǎo)體濕法刻蝕潔凈室的潔凈度監(jiān)測方案，聚焦于腐蝕性環(huán)境下的 監(jiān)測。應(yīng)用場景：半導(dǎo)體濕法刻蝕潔凈車間。針對 1000 級刻蝕區(qū)，配置防腐蝕監(jiān)測終端，可耐受 Cl?、HF 等腐蝕性氣體環(huán)境，實時監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度（采樣流量 28.3L/min）、蝕刻液飛濺微粒及局部濕度（控制在 40%~50% RH±3%）。采用惰性材料封裝傳感器，檢測精度在腐蝕性環(huán)境中仍保持 ±10% 以內(nèi)。通過與蝕刻槽聯(lián)動控制，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時自動啟動局部排風(fēng)，使晶圓刻蝕均勻性不良率下降 45%。已服務(wù)于華虹半導(dǎo)體、士蘭微等企業(yè)，符合 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn)，潔凈度監(jiān)測準(zhǔn)確率 99.92%。

中源綠凈針對食品無菌灌裝車間的潔凈度監(jiān)測方案，聚焦于生產(chǎn)全流程的潔凈管控。應(yīng)用場景：食品無菌灌裝潔凈車間。按照 GB 14881 標(biāo)準(zhǔn)要求，在 C 級潔凈灌裝區(qū)部署監(jiān)測終端，實時監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 5 秒）、空氣潔凈度等級、設(shè)備表面微生物及壓差（≥15Pa）。采用 ATP 生物熒光檢測技術(shù)，表面微生物檢測時間從 48 小時縮短至 15 分鐘，準(zhǔn)確率 98.6%。通過與灌裝生產(chǎn)線聯(lián)動，當(dāng)潔凈度不達(dá)標(biāo)時自動暫停灌裝作業(yè)并啟動消毒程序，使食品無菌合格率提升至 99.97%。已服務(wù)于伊利、光明乳業(yè)等企業(yè)，助力其通過食品安全管理體系認(rèn)證，潔凈度監(jiān)測數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率 100%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，具備智能化分析功能，為企業(yè)提供決策支持！

中源綠凈在化妝品無菌灌裝潔凈室環(huán)境監(jiān)測中，構(gòu)建了微生物 - 微粒雙參數(shù)實時防控體系。應(yīng)用場景：化妝品無菌灌裝車間。針對妝字號無菌產(chǎn)品灌裝的 A 級潔凈區(qū)，采用每 2 平方米 1 個監(jiān)測終端的布局，實時監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度（采樣流量 28.3L/min，每 5 秒更新一次數(shù)據(jù)）、浮游菌數(shù)量（每 30 分鐘采樣一次，檢測下限 1CFU/m3）、環(huán)境溫濕度（溫度 20~25℃，精度 ±0.5℃；濕度 40%~60% RH，精度 ±2%）及灌裝區(qū)壓差（≥15Pa）。系統(tǒng)搭載的微生物快速檢測模塊采用 ATP 生物熒光技術(shù)，檢測時間從傳統(tǒng) 48 小時縮短至 15 分鐘，準(zhǔn)確率達(dá) 98.5%。通過與灌裝線 PLC 聯(lián)動，當(dāng)參數(shù)超標(biāo)時 0.5 秒內(nèi)觸發(fā)停機(jī)，使產(chǎn)品微生物不合格率下降 62%。已在完美、丸美等企業(yè)應(yīng)用，符合《化妝品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》，環(huán)境數(shù)據(jù)審計通過率 100%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測設(shè)備，幫 55 + 溫室大棚監(jiān)測，作物產(chǎn)量提升 15%！深圳潔凈室環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范

中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測方案，讓 55 + 洗滌劑廠生產(chǎn)環(huán)境監(jiān)測，原料穩(wěn)定性提 10%！手持環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器使用說明書

中源綠凈在半導(dǎo)體薄膜沉積潔凈室潔凈度監(jiān)測中，推出了微粒 - 氣體純度聯(lián)動方案。應(yīng)用場景：半導(dǎo)體薄膜沉積潔凈車間。針對 10 級沉積區(qū)，部署超高精度監(jiān)測終端，同步檢測 0.1μm 微粒濃度（采樣流量 100L/min）、沉積氣體純度（99.999%~99.9999%，精度 ±0.0001%）及腔體壓差（≥20Pa）。采用激光散射法與氣相色譜聯(lián)用技術(shù)，氣體純度響應(yīng)時間≤1 秒，微粒檢測分辨率達(dá) 0.05μm。系統(tǒng)與沉積設(shè)備聯(lián)動，當(dāng)氣體雜質(zhì)或微粒超標(biāo)時自動切斷氣源，使薄膜沉積缺陷率下降 50%。已在中微公司、北方華創(chuàng)等企業(yè)應(yīng)用，符合 ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)，潔凈度穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.95%。手持環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器使用說明書