深圳模塊化環(huán)境監(jiān)測計(jì)數(shù)器標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程

中源綠凈為半導(dǎo)體晶圓切割潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，重點(diǎn)強(qiáng)化了微粒與濕度的 管控。應(yīng)用場景：晶圓切割與劃片潔凈車間。針對 100 級(jí)切割區(qū)，部署防靜電監(jiān)測終端，同步采集 0.3μm 微粒濃度（采樣流量 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期 2 秒）、車間濕度（45%~55% RH，精度 ±2%）、切割區(qū)溫度（23±1℃）及靜電電壓（量程 - 500~+500V）。采用激光散射式粒子計(jì)數(shù)器， 小檢測粒徑達(dá) 0.1μm，配合濕度動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)算法，可將濕度波動(dòng)控制在 ±3% 以內(nèi)。系統(tǒng)支持與切割設(shè)備聯(lián)動(dòng)，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)暫停作業(yè)，使晶圓切割崩邊率下降 45%。已在中芯國際、華虹半導(dǎo)體應(yīng)用，符合 SEMI F47 電壓標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.93%。中源綠凈環(huán)境監(jiān)測服務(wù)，使 45 + 博物館文物存儲(chǔ)環(huán)境穩(wěn)定，老化速度減緩！深圳模塊化環(huán)境監(jiān)測計(jì)數(shù)器標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程

中源綠凈針對食品無菌灌裝車間的潔凈度監(jiān)測方案，聚焦于生產(chǎn)全流程的潔凈管控。應(yīng)用場景：食品無菌灌裝潔凈車間。按照 GB 14881 標(biāo)準(zhǔn)要求，在 C 級(jí)潔凈灌裝區(qū)部署監(jiān)測終端，實(shí)時(shí)監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 5 秒）、空氣潔凈度等級(jí)、設(shè)備表面微生物及壓差（≥15Pa）。采用 ATP 生物熒光檢測技術(shù)，表面微生物檢測時(shí)間從 48 小時(shí)縮短至 15 分鐘，準(zhǔn)確率 98.6%。通過與灌裝生產(chǎn)線聯(lián)動(dòng)，當(dāng)潔凈度不達(dá)標(biāo)時(shí)自動(dòng)暫停灌裝作業(yè)并啟動(dòng)消毒程序，使食品無菌合格率提升至 99.97%。已服務(wù)于伊利、光明乳業(yè)等企業(yè)，助力其通過食品安全管理體系認(rèn)證，潔凈度監(jiān)測數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率 100%。蘇州模塊化環(huán)境監(jiān)測測試國家標(biāo)準(zhǔn)中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測方面，為 30 + 企業(yè)提供環(huán)境監(jiān)測項(xiàng)目驗(yàn)收服務(wù)，保障項(xiàng)目質(zhì)量！

中源綠凈在半導(dǎo)體光刻潔凈室環(huán)境監(jiān)測中，打造了微粒 - 溫濕度 - 氣壓多參數(shù)協(xié)同體系。應(yīng)用場景：半導(dǎo)體光刻工藝潔凈室。針對 10 級(jí)光刻潔凈區(qū)，采用每 1.5 平方米 1 個(gè)監(jiān)測終端的高密度部署，實(shí)時(shí)監(jiān)測 0.1μm 微粒濃度（采樣流量 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期 2 秒）、溫度（23±0.1℃，精度 ±0.05℃）、濕度（45±2% RH，精度 ±1%）及相鄰區(qū)域壓差（≥25Pa，精度 ±1Pa）。系統(tǒng)搭載的激光粒子計(jì)數(shù)器 小分辨率達(dá) 0.1μm，可捕捉極細(xì)微顆粒變化。通過與空調(diào)系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié)，當(dāng)溫濕度偏離設(shè)定值時(shí) 10 秒內(nèi)完成動(dòng)態(tài)補(bǔ)償，使光刻膠涂覆均勻度提升 30%。已在中芯國際、臺(tái)積電等企業(yè)應(yīng)用，符合 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境參數(shù)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)率 99.96%。

中源綠凈在電子元器件潔凈車間潔凈度監(jiān)測中，構(gòu)建了多粒徑微粒全流程管控體系。應(yīng)用場景：電子元器件生產(chǎn)潔凈車間。針對 100 級(jí)至 1000 級(jí)潔凈環(huán)境，采用每 2 平方米 1 個(gè)監(jiān)測終端的高密度部署，可實(shí)時(shí)采集 0.3μm、0.5μm、1μm、5μm 多粒徑微粒濃度，采樣流量達(dá) 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期為 2 秒 / 次。系統(tǒng)搭載激光散射式粒子計(jì)數(shù)器， 小檢測粒徑達(dá) 0.1μm，檢測精度誤差≤±10%。通過自研的微粒溯源算法，能快速定位污染源位置，當(dāng)微粒濃度超過閾值時(shí)自動(dòng)聯(lián)動(dòng) FFU 風(fēng)機(jī)過濾單元調(diào)節(jié)風(fēng)速，使元器件表面微粒附著率下降 58%。已在富士康、立訊精密等企業(yè)應(yīng)用，符合 ISO 14644-1 潔凈室標(biāo)準(zhǔn)，連續(xù)運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示潔凈度達(dá)標(biāo)率達(dá) 99.94%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測方案，讓 65 + 速凍食品廠溫度監(jiān)控準(zhǔn)，解凍后品質(zhì)更佳！

中源綠凈為制藥無菌潔凈區(qū)開發(fā)的潔凈度監(jiān)測系統(tǒng)，重點(diǎn)強(qiáng)化了微生物與微粒的雙重監(jiān)測能力。應(yīng)用場景：制藥無菌制劑生產(chǎn)潔凈區(qū)。依據(jù) GMP 標(biāo)準(zhǔn)，在 A 級(jí)潔凈區(qū)部署每 1 平方米 1 個(gè)監(jiān)測點(diǎn)，同步監(jiān)測浮游菌（每 15 分鐘采樣 1 次，檢測下限 1CFU/m3）、沉降菌（每小時(shí)培養(yǎng) 1 次）及 0.5μm、5μm 微粒濃度。采用撞擊法與激光計(jì)數(shù)法雙技術(shù)路線，微生物檢測響應(yīng)時(shí)間從傳統(tǒng) 48 小時(shí)縮短至 24 小時(shí)，準(zhǔn)確率達(dá) 99.2%。系統(tǒng)具備與潔凈區(qū)空調(diào)系統(tǒng)的聯(lián)動(dòng)功能，參數(shù)異常時(shí) 30 秒內(nèi)觸發(fā)聲光報(bào)警并調(diào)節(jié)換氣次數(shù)，使藥液灌裝污染風(fēng)險(xiǎn)下降 65%。已在揚(yáng)子江藥業(yè)、齊魯制藥等企業(yè)應(yīng)用，通過國家藥監(jiān)局 GMP 認(rèn)證核查，潔凈度監(jiān)測數(shù)據(jù)合規(guī)率 100%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測設(shè)備，幫 45 + 啤酒廠發(fā)酵環(huán)境控制，口感穩(wěn)定性提 12%！手持環(huán)境監(jiān)測顆粒物

中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測領(lǐng)域，為 50 + 企業(yè)提供遠(yuǎn)程監(jiān)測服務(wù)，打破地域限制！深圳模塊化環(huán)境監(jiān)測計(jì)數(shù)器標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程

中源綠凈為電子芯片測試潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，重點(diǎn)強(qiáng)化了微粒與靜電的 管控。應(yīng)用場景：芯片 終測試潔凈車間。針對 100 級(jí)測試潔凈區(qū)，部署防靜電監(jiān)測終端，同步采集 0.3μm 微粒濃度（采樣流量 28.3L/min，數(shù)據(jù)更新周期 3 秒）、靜電電壓（量程 - 500~+500V，精度 ±5V）、測試區(qū)溫度（22±1℃）及濕度（40%~50% RH）。采用法拉第杯靜電傳感器實(shí)現(xiàn)非接觸式測量，響應(yīng)時(shí)間≤0.5 秒，配合微粒溯源算法可快速定位污染源頭。系統(tǒng)支持與測試設(shè)備聯(lián)動(dòng)，當(dāng)靜電超標(biāo)時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)離子風(fēng)扇，使芯片測試不良率下降 42%。已在長電科技、通富微電等企業(yè)應(yīng)用，符合 JEDEC JESD22-A114 靜電測試標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.94%。深圳模塊化環(huán)境監(jiān)測計(jì)數(shù)器標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程