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中源綠凈為電子芯片測(cè)試潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng),重點(diǎn)強(qiáng)化了微粒與靜電的 管控。應(yīng)用場(chǎng)景:芯片 終測(cè)試潔凈車間。針對(duì) 100 級(jí)測(cè)試潔凈區(qū),部署防靜電監(jiān)測(cè)終端,同步采集 0.3μm 微粒濃度(采樣流量 28.3L/min,數(shù)據(jù)更新周期 3 秒)、靜電電壓(量程 - 500~+500V,精度 ±5V)、測(cè)試區(qū)溫度(22±1℃)及濕度(40%~50% RH)。采用法拉第杯靜電傳感器實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,響應(yīng)時(shí)間≤0.5 秒,配合微粒溯源算法可快速定位污染源頭。系統(tǒng)支持與測(cè)試設(shè)備聯(lián)動(dòng),當(dāng)靜電超標(biāo)時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)離子風(fēng)扇,使芯片測(cè)試不良率下降 42%。已在長(zhǎng)電科技、通富微電等企業(yè)應(yīng)用,符合 JEDEC JESD22-A114 靜電測(cè)試標(biāo)準(zhǔn),環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.94%。中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測(cè)領(lǐng)域,為 50 + 企業(yè)提供環(huán)境監(jiān)測(cè)解決方案優(yōu)化服務(wù),持續(xù)提升效果!深圳無塵車間環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器廠家
中源綠凈針對(duì)半導(dǎo)體濕法刻蝕潔凈室的潔凈度監(jiān)測(cè)方案,聚焦于腐蝕性環(huán)境下的 監(jiān)測(cè)。應(yīng)用場(chǎng)景:半導(dǎo)體濕法刻蝕潔凈車間。針對(duì) 1000 級(jí)刻蝕區(qū),配置防腐蝕監(jiān)測(cè)終端,可耐受 Cl?、HF 等腐蝕性氣體環(huán)境,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 0.5μm 微粒濃度(采樣流量 28.3L/min)、蝕刻液飛濺微粒及局部濕度(控制在 40%~50% RH±3%)。采用惰性材料封裝傳感器,檢測(cè)精度在腐蝕性環(huán)境中仍保持 ±10% 以內(nèi)。通過與蝕刻槽聯(lián)動(dòng)控制,當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)局部排風(fēng),使晶圓刻蝕均勻性不良率下降 45%。已服務(wù)于華虹半導(dǎo)體、士蘭微等企業(yè),符合 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn),潔凈度監(jiān)測(cè)準(zhǔn)確率 99.92%。蘇州十級(jí)環(huán)境監(jiān)測(cè)中源綠凈為 30 + 疾控中心提供環(huán)境監(jiān)測(cè),保障疫苗冷庫(kù)潔凈度,守護(hù)疫苗質(zhì)量!
中源綠凈為生物制藥配液潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng),重點(diǎn)強(qiáng)化了微生物與氣壓梯度的 監(jiān)測(cè)。應(yīng)用場(chǎng)景:無菌藥液配液潔凈車間。針對(duì) A 級(jí)配液 區(qū),部署每 1.2 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)點(diǎn),同步采集浮游菌(每 15 分鐘采樣 1 次,檢測(cè)下限 1CFU/m3)、0.5μm 微粒濃度、配液區(qū)與緩沖間壓差(≥20Pa,精度 ±1Pa)及溫濕度。采用快速顯色微生物檢測(cè)技術(shù),結(jié)果出具時(shí)間從 72 小時(shí)縮短至 24 小時(shí),準(zhǔn)確率 99.2%。系統(tǒng)與配液攪拌設(shè)備聯(lián)動(dòng),參數(shù)異常時(shí)立即暫停作業(yè),使藥液污染風(fēng)險(xiǎn)下降 65%。已在恒瑞醫(yī)藥、藥明康德應(yīng)用,符合 GMP 附錄 1 要求,環(huán)境數(shù)據(jù)審計(jì)通過率 100%。
中源綠凈針對(duì)生物樣本冷凍潔凈室的環(huán)境監(jiān)測(cè)方案,聚焦于溫度 - 潔凈度協(xié)同監(jiān)測(cè)。應(yīng)用場(chǎng)景:生物樣本低溫存儲(chǔ)潔凈室。依據(jù) GB/T 35892 生物樣本庫(kù)規(guī)范,在 B 級(jí)存儲(chǔ)區(qū)部署耐低溫監(jiān)測(cè)終端,同步監(jiān)測(cè) 0.5μm 微粒濃度(采樣頻率 1 次 / 10 秒)、庫(kù)內(nèi)溫度(-20~-80℃,精度 ±1℃)、濕度(≤30% RH)及氣壓差。采用鉑電阻低溫傳感器,在 - 80℃環(huán)境下測(cè)量精度仍保持 ±0.5℃,數(shù)據(jù)存儲(chǔ)支持 365 天全量回溯。通過溫度趨勢(shì)預(yù)警算法,提前 6 小時(shí)識(shí)別制冷系統(tǒng)異常,使樣本存儲(chǔ)事故率下降 70%。已服務(wù)于國(guó)家基因庫(kù)、協(xié)和醫(yī)院樣本庫(kù),助力其通過 CAP 認(rèn)證,環(huán)境監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)合規(guī)率 100%。中源綠凈環(huán)境監(jiān)測(cè)服務(wù),使 25 + 牧場(chǎng)監(jiān)測(cè)更科學(xué),牛奶合格率提 10%!
中源綠凈在鋰電池電芯潔凈車間環(huán)境監(jiān)測(cè)中,推出了粉塵 - 濕度 - 靜電多參數(shù)協(xié)同方案。針對(duì)鋰電池勻漿、涂布工序的 1000 級(jí)潔凈區(qū),配置了防爆型監(jiān)測(cè)終端,同步監(jiān)測(cè) 0.1μm 粉塵濃度(檢測(cè)下限 0.01mg/m3)、相對(duì)濕度(控制范圍 20%~30% RH,精度 ±2%)、靜電電位(量程 - 500~+500V,精度 ±10V)等參數(shù)。采用 β 射線吸收法測(cè)量粉塵濃度,響應(yīng)時(shí)間≤1 秒,數(shù)據(jù)采樣間隔 10 秒 / 次,確保及時(shí)發(fā)現(xiàn)粉塵聚集風(fēng)險(xiǎn)。通過靜電消除聯(lián)動(dòng)控制,使電芯粉塵附著導(dǎo)致的不良率下降 50%。該系統(tǒng)已在寧德時(shí)代、比亞迪電池車間應(yīng)用,滿足 IEC 62133 安全標(biāo)準(zhǔn),環(huán)境管控達(dá)標(biāo)率維持在 99.85%。中源綠凈為 30 + 企業(yè)提供環(huán)境監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)對(duì)比分析,助力企業(yè)發(fā)現(xiàn)問題改進(jìn)不足!無塵車間環(huán)境監(jiān)測(cè)檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)照表
中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測(cè)項(xiàng)目中,為 300 + 企業(yè)提供 1 年歷史數(shù)據(jù)存儲(chǔ),便于追溯過往狀況!深圳無塵車間環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器廠家
中源綠凈針對(duì)航空航天部件潔凈室的環(huán)境監(jiān)測(cè)方案,強(qiáng)化了低濕度環(huán)境下的潔凈度管控。依據(jù) AS9100 航空質(zhì)量管理體系要求,在航天發(fā)動(dòng)機(jī)部件裝配的 8 級(jí)潔凈區(qū),部署了低濕度 監(jiān)測(cè)終端,可耐受 10%~30% RH 的低濕環(huán)境,監(jiān)測(cè)參數(shù)包括 0.5μm 微粒濃度、 溫度(測(cè)量范圍 - 60~20℃,精度 ±0.5℃)、空氣潔凈度等級(jí)等。采用電解法濕度傳感器,在低濕環(huán)境下測(cè)量精度仍保持 ±2% RH,數(shù)據(jù)刷新周期為 30 秒 / 次。系統(tǒng)具備與除濕機(jī)組的聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié)功能,濕度波動(dòng)控制在 ±3% 以內(nèi),使航空部件表面氧化率下降 62%。已服務(wù)于中國(guó)商飛、航天科技集團(tuán)等 12 家企業(yè),助力其部件通過航天級(jí)環(huán)境驗(yàn)證,環(huán)境數(shù)據(jù)合規(guī)率 100%。深圳無塵車間環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器廠家