5um環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范

中源綠凈在半導(dǎo)體晶圓光刻潔凈室潔凈度監(jiān)測(cè)中，打造了超微顆粒 管控體系。應(yīng)用場(chǎng)景：半導(dǎo)體晶圓光刻潔凈車(chē)間。針對(duì) 10 級(jí)光刻 區(qū)，采用每 1.5 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的高密度部署，可實(shí)時(shí)采集 0.1μm、0.3μm、0.5μm 多粒徑微粒濃度，采樣流量達(dá) 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期為 1 秒 / 次。系統(tǒng)搭載激光誘導(dǎo)擊穿光譜粒子計(jì)數(shù)器， 小檢測(cè)粒徑達(dá) 0.05μm，檢測(cè)精度誤差≤±5%。通過(guò)與光刻設(shè)備聯(lián)動(dòng)，當(dāng) 0.1μm 微粒濃度超過(guò) 35 粒 / 升時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)曝光環(huán)境，配合微粒溯源算法快速定位污染源，使晶圓光刻缺陷率下降 52%。已在中芯國(guó)際、臺(tái)積電等企業(yè)應(yīng)用，符合 SEMI F21 潔凈度標(biāo)準(zhǔn)，連續(xù)運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示潔凈度達(dá)標(biāo)率達(dá) 99.96%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)方案，讓 65 + 速凍食品廠溫度監(jiān)控準(zhǔn)，解凍后品質(zhì)更佳！5um環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范

中源綠凈在食品凍干潔凈車(chē)間環(huán)境監(jiān)測(cè)中，推出了溫濕度 - 真空度多維度監(jiān)測(cè)方案。針對(duì)凍干食品生產(chǎn)的 C 級(jí)潔凈區(qū)，配置了耐高溫監(jiān)測(cè)終端，同步監(jiān)測(cè)凍干艙內(nèi)溫度（-50~80℃，精度 ±0.5℃）、真空度（0~1000Pa，精度 ±5Pa）、車(chē)間微粒濃度及濕度。采用電容式真空傳感器實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定測(cè)量，數(shù)據(jù)更新周期為 5 秒 / 次，確保捕捉凍干關(guān)鍵階段的參數(shù)變化。系統(tǒng)對(duì)接凍干工藝管理軟件，自動(dòng)生成參數(shù)趨勢(shì)報(bào)告，使凍干食品水分含量合格率提升 50%。該系統(tǒng)已在好想你、三只松鼠等企業(yè)應(yīng)用，符合 GB 23790 凍干食品衛(wèi)生規(guī)范，環(huán)境監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率 100%。深圳潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備，具備多種報(bào)警功能，及時(shí)提醒企業(yè)處理環(huán)境問(wèn)題！

中源綠凈針對(duì)化妝品膏體灌裝潔凈室的環(huán)境監(jiān)測(cè)方案，聚焦于微生物與空氣潔凈度的協(xié)同監(jiān)測(cè)。應(yīng)用場(chǎng)景：化妝品膏霜灌裝潔凈車(chē)間。依據(jù)《化妝品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》，在 C 級(jí)灌裝區(qū)部署監(jiān)測(cè)終端，同步監(jiān)測(cè) 0.5μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 5 秒）、表面微生物（每 1 小時(shí)檢測(cè) 1 次）、車(chē)間溫濕度（溫度 20~25℃，濕度 45%~65% RH）及氣壓差。采用接觸碟法微生物采樣技術(shù)，檢測(cè)時(shí)間從傳統(tǒng) 48 小時(shí)縮短至 2 小時(shí)，準(zhǔn)確率達(dá) 98.6%。通過(guò)微生物濃度趨勢(shì)分析，提前 4 小時(shí)預(yù)警污染風(fēng)險(xiǎn)，配合灌裝設(shè)備消毒聯(lián)動(dòng)，使產(chǎn)品微生物超標(biāo)率下降 58%。已服務(wù)于歐萊雅、資生堂等企業(yè)，助力其通過(guò)化妝品 GMP 認(rèn)證，環(huán)境監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)合規(guī)率 100%。

中源綠凈針對(duì)航空電子裝配潔凈室的環(huán)境監(jiān)測(cè)方案，聚焦于微振動(dòng)與靜電的 管控。應(yīng)用場(chǎng)景：航空機(jī)載電子設(shè)備裝配潔凈室。依據(jù) AS9100 航空質(zhì)量管理體系要求，在 100 級(jí)潔凈裝配區(qū)部署一體化監(jiān)測(cè)終端，同步監(jiān)測(cè) 0.3μm 微粒濃度、環(huán)境振動(dòng)（頻率范圍 1~500Hz，測(cè)量精度 ±0.001mm/s）、靜電電壓（量程 - 500~+500V，精度 ±5V）及氣流速度（0.2~0.3m/s）。采用壓電式振動(dòng)傳感器和非接觸式靜電探頭，數(shù)據(jù)采樣率達(dá) 1000Hz，確保捕捉細(xì)微參數(shù)變化。通過(guò)振動(dòng)源識(shí)別算法，可快速定位設(shè)備運(yùn)行引發(fā)的振動(dòng)超標(biāo)，配合靜電消除器聯(lián)動(dòng)控制，使電子元件靜電損傷率下降 58%。已服務(wù)于霍尼韋爾航空、中航工業(yè)電子等 8 家企業(yè)，助力其通過(guò) DO-160 航空電子環(huán)境測(cè)試，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率保持在 99.93% 以上。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備，幫 35 + 香精廠儲(chǔ)存監(jiān)測(cè)，品質(zhì)保持期延長(zhǎng) 3 個(gè)月！

中源綠凈為精密儀器裝配潔凈室開(kāi)發(fā)的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，重點(diǎn)解決了微振動(dòng)與潔凈度的同步管控問(wèn)題。針對(duì)光學(xué)儀器、精密量具的裝配 100 級(jí)潔凈區(qū)，配置了一體化監(jiān)測(cè)終端，可同步采集 0.3μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 10 秒）、環(huán)境振動(dòng)（頻率范圍 1~1000Hz，測(cè)量精度 ±0.001mm/s）、空氣流速（0.2~0.4m/s）等參數(shù)。采用壓電式振動(dòng)傳感器實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量，數(shù)據(jù)采樣率達(dá) 1000Hz，確保捕捉細(xì)微振動(dòng)信號(hào)。搭配振動(dòng)源定位算法，能快速識(shí)別設(shè)備運(yùn)行引發(fā)的振動(dòng)超標(biāo)，使精密儀器裝配精度提升 40%。該系統(tǒng)已適配蔡司、徠卡等企業(yè)的生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)，在 顯微鏡裝配車(chē)間應(yīng)用中，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率保持在 99.92% 以上。中源綠凈為 20 + 骨科植入物生產(chǎn)企業(yè)保障生產(chǎn)潔凈度，產(chǎn)品微粒檢測(cè)合格率提升！蘇州無(wú)塵室環(huán)境監(jiān)測(cè)顆粒物

中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測(cè)方面，為 30 + 企業(yè)提供環(huán)境監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)共享服務(wù)，促進(jìn)企業(yè)間交流合作！5um環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范

中源綠凈在制藥配液潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)中，打造了藥液制備全流程參數(shù)監(jiān)控體系。針對(duì)無(wú)菌配液的 A 級(jí)潔凈區(qū)，采用每 1 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)點(diǎn)的超高密度部署，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)懸浮粒子（0.5μm 和 5μm 雙粒徑同時(shí)監(jiān)測(cè)，采樣流量 50L/min）、微生物濃度（每 15 分鐘采樣一次）、環(huán)境溫濕度（溫度控制在 20~24℃，精度 ±0.5℃；濕度 45%~65% RH，精度 ±3%）及壓差（ 區(qū)與緩沖區(qū)間壓差≥20Pa）。系統(tǒng)搭載的激光粒子計(jì)數(shù)器 小檢測(cè)粒徑達(dá) 0.3μm，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)容量可滿足 365 天全量數(shù)據(jù)回溯。通過(guò)與配液系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)，當(dāng)參數(shù)超標(biāo)時(shí)自動(dòng)觸發(fā)配液暫停，使配液不合格率下降 65%。已在齊魯制藥、藥明康德等企業(yè)應(yīng)用，符合 GMP 附錄 1 無(wú)菌藥品要求，環(huán)境監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)審計(jì)通過(guò)率 100%。5um環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范