蘇州百級(jí)環(huán)境監(jiān)測(cè)監(jiān)測(cè)

中源綠凈為電子封裝潔凈室開(kāi)發(fā)的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，重點(diǎn)解決了微塵與有害氣體的復(fù)合監(jiān)測(cè)問(wèn)題。針對(duì)芯片封裝的 100 級(jí)潔凈區(qū)，配置了多參數(shù)集成監(jiān)測(cè)終端，同步采集 0.3μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 5 秒）、VOCs 濃度（檢測(cè)范圍 0~5ppm，精度 ±0.05ppm）、溫濕度及靜電電壓（量程 - 1000~+1000V）。采用光離子化傳感器（PID）檢測(cè)有機(jī)揮發(fā)物，響應(yīng)時(shí)間≤2 秒，配合微粒溯源算法，可快速定位污染源頭。系統(tǒng)支持與 FFU（風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元）聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié)，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)提升風(fēng)速至 0.45m/s，使封裝缺陷率降低 42%。該系統(tǒng)已適配英特爾、三星電子的生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)，在先進(jìn)封裝車間應(yīng)用中，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率保持在 99.95% 以上。中源綠凈為 55 + 制藥機(jī)械廠做環(huán)境監(jiān)測(cè)，設(shè)備潔凈度升，藥品污染風(fēng)險(xiǎn)降！蘇州百級(jí)環(huán)境監(jiān)測(cè)監(jiān)測(cè)

中源綠凈在電子元器件組裝無(wú)塵車間環(huán)境監(jiān)測(cè)中，構(gòu)建了微粒 - 靜電 - 氣流多參數(shù)協(xié)同體系。應(yīng)用場(chǎng)景：電子元器件無(wú)塵組裝車間。針對(duì) 1000 級(jí)組裝區(qū)，采用每 3 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的布局，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 0.5μm 微粒濃度（采樣流量 28.3L/min，數(shù)據(jù)更新周期 3 秒）、靜電電壓（量程 - 1000~+1000V，精度 ±10V）、氣流速度（0.2~0.4m/s，精度 ±0.02m/s）及溫濕度（溫度 20~25℃，濕度 40%~60% RH）。系統(tǒng)搭載的激光粒子計(jì)數(shù)器 小檢測(cè)粒徑達(dá) 0.3μm，配合非接觸式靜電傳感器，響應(yīng)時(shí)間均≤1 秒。通過(guò)與流水線聯(lián)動(dòng)控制，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)局部?jī)艋b置，使元器件焊接不良率下降 45%。已在華為終端、小米電子等企業(yè)應(yīng)用，符合 IPC-A-610 電子組件標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境參數(shù)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)率 99.91%。深圳手持環(huán)境監(jiān)測(cè)在線監(jiān)測(cè)中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)服務(wù)，助力 30 + 食品企業(yè)控制生產(chǎn)環(huán)境，產(chǎn)品不合格率大幅降低！

中源綠凈在醫(yī)療器械清洗潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)中，構(gòu)建了水質(zhì) - 微粒雙參數(shù)協(xié)同體系。應(yīng)用場(chǎng)景：醫(yī)療器械清洗消毒潔凈車間。針對(duì)手術(shù)器械清洗的 B 級(jí)潔凈區(qū)，采用每 2 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的布局，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)清洗用水微粒濃度（0.5μm 粒徑，檢測(cè)下限 10 粒 / L）、車間空氣浮游菌（每 30 分鐘采樣 1 次）、水溫（40~60℃，精度 ±0.5℃）及相鄰區(qū)域壓差（≥15Pa）。系統(tǒng)搭載的在線水質(zhì)傳感器響應(yīng)時(shí)間≤2 秒，數(shù)據(jù)采樣頻率 5 次 / 秒，可同步捕捉水中與空氣中的污染風(fēng)險(xiǎn)。通過(guò)與清洗設(shè)備聯(lián)動(dòng)，當(dāng)水質(zhì)微粒超標(biāo)時(shí)自動(dòng)切換過(guò)濾系統(tǒng)，使器械清洗合格率提升 38%。已在邁瑞醫(yī)療、威高集團(tuán)應(yīng)用，符合 ISO 15883 清洗消毒標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境數(shù)據(jù)追溯通過(guò)率 100%。

中源綠凈在半導(dǎo)體晶圓光刻潔凈室潔凈度監(jiān)測(cè)中，打造了超微顆粒 管控體系。應(yīng)用場(chǎng)景：半導(dǎo)體晶圓光刻潔凈車間。針對(duì) 10 級(jí)光刻 區(qū)，采用每 1.5 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的高密度部署，可實(shí)時(shí)采集 0.1μm、0.3μm、0.5μm 多粒徑微粒濃度，采樣流量達(dá) 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期為 1 秒 / 次。系統(tǒng)搭載激光誘導(dǎo)擊穿光譜粒子計(jì)數(shù)器， 小檢測(cè)粒徑達(dá) 0.05μm，檢測(cè)精度誤差≤±5%。通過(guò)與光刻設(shè)備聯(lián)動(dòng)，當(dāng) 0.1μm 微粒濃度超過(guò) 35 粒 / 升時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)曝光環(huán)境，配合微粒溯源算法快速定位污染源，使晶圓光刻缺陷率下降 52%。已在中芯國(guó)際、臺(tái)積電等企業(yè)應(yīng)用，符合 SEMI F21 潔凈度標(biāo)準(zhǔn)，連續(xù)運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示潔凈度達(dá)標(biāo)率達(dá) 99.96%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)方案，助力 30 + 企業(yè)提升生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本！

中源綠凈為精密軸承加工潔凈室定制的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，強(qiáng)化了粉塵與溫度的協(xié)同管控。應(yīng)用場(chǎng)景：精密軸承磨削裝配潔凈室。針對(duì)軸承滾子加工的 1000 級(jí)潔凈區(qū)，部署防塵型監(jiān)測(cè)終端，可耐受車間金屬粉塵環(huán)境，監(jiān)測(cè)參數(shù)包括 0.5μm 粉塵濃度（檢測(cè)下限 0.0005mg/m3）、磨削區(qū)溫度（20~28℃，精度 ±0.5℃）、相對(duì)濕度（40%~60% RH）及設(shè)備振動(dòng)。采用 β 射線吸收法測(cè)塵技術(shù)，響應(yīng)時(shí)間≤1 秒，數(shù)據(jù)采樣間隔 5 秒 / 次，確保及時(shí)發(fā)現(xiàn)粉塵聚集。通過(guò)粉塵 - 溫度關(guān)聯(lián)模型，提前預(yù)警磨削燒傷風(fēng)險(xiǎn)，配合冷卻液溫度調(diào)節(jié)聯(lián)動(dòng)，使軸承加工精度（圓度≤0.5μm）達(dá)標(biāo)率提升 40%。已在 SKF、NSK 等企業(yè)軸承車間應(yīng)用，滿足 ISO 12100 機(jī)械安全標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境管控達(dá)標(biāo)率維持在 99.88%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)方案，助力 30 + 企業(yè)降低環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)，實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展！深圳無(wú)塵車間環(huán)境監(jiān)測(cè)顆粒物

中源綠凈為 200 + 電子廠提供環(huán)境監(jiān)測(cè)服務(wù)，節(jié)省建設(shè)時(shí)間成本超 300 萬(wàn)，效率極高！蘇州百級(jí)環(huán)境監(jiān)測(cè)監(jiān)測(cè)

中源綠凈在半導(dǎo)體光刻潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)中，打造了微粒 - 溫濕度 - 氣壓多參數(shù)協(xié)同體系。應(yīng)用場(chǎng)景：半導(dǎo)體光刻工藝潔凈室。針對(duì) 10 級(jí)光刻潔凈區(qū)，采用每 1.5 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的高密度部署，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 0.1μm 微粒濃度（采樣流量 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期 2 秒）、溫度（23±0.1℃，精度 ±0.05℃）、濕度（45±2% RH，精度 ±1%）及相鄰區(qū)域壓差（≥25Pa，精度 ±1Pa）。系統(tǒng)搭載的激光粒子計(jì)數(shù)器 小分辨率達(dá) 0.1μm，可捕捉極細(xì)微顆粒變化。通過(guò)與空調(diào)系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié)，當(dāng)溫濕度偏離設(shè)定值時(shí) 10 秒內(nèi)完成動(dòng)態(tài)補(bǔ)償，使光刻膠涂覆均勻度提升 30%。已在中芯國(guó)際、臺(tái)積電等企業(yè)應(yīng)用，符合 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境參數(shù)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)率 99.96%。蘇州百級(jí)環(huán)境監(jiān)測(cè)監(jiān)測(cè)