廣州江化微的蝕刻液剝離液銷售價(jià)格

來源: 發(fā)布時間:2025-08-22

光刻膠殘留大,殘留分布不均勻,并且產(chǎn)生邊緣聚集殘留。為了能夠進(jìn)一步地表示配方一和配方二之間的光刻膠殘留量對比,圖2中將多張單張檢測圖進(jìn)行疊加,可以更加清楚地看出兩者之間的區(qū)別,能夠明顯地看出使用配方一的剝離液,高世代面板邊緣光刻膠殘留量大。下面列舉更多剝離液組分實(shí)施例。表三:不同組分的剝離液表四:測試剝離性能時間30s50s70s90s1okokokok2okokokok3okokokok4okokokok5okokokok6okokokok7okokokok8okokokok9okokokok表三為9組不同組分的所制成的剝離液,9組不同組分的剝離液都進(jìn)行剝離性能測試,在50℃下分別放入切好的玻璃,進(jìn)行剝離性能測試,測試結(jié)果如表四所示,具有良好的剝離效果。通過上述,本實(shí)施方式中的剝離液采用酰胺、醇醚、環(huán)胺與鏈胺、緩蝕劑、潤濕劑制得,有效地提高了光刻膠的剝離效果,減少了光刻膠的殘留。對所公開的實(shí)施例的上述說明,使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實(shí)施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的,本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下,在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此,本發(fā)明將不會被限制于本文所示的這些實(shí)施例。剝離液可用于去除光刻膠;廣州江化微的蝕刻液剝離液銷售價(jià)格

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圖2為本申請實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本申請實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本申請實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺的第四種結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本申請實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺的工作方法的流程示意圖。具體實(shí)施方式目前剝離液機(jī)臺在工作時,如果過濾剝離光阻時產(chǎn)生的薄膜碎屑的過濾器被阻塞,則需要剝離液機(jī)臺內(nèi)的所有工作單元,待被阻塞的過濾器被清理后,才能重新進(jìn)行剝離制程,使得機(jī)臺需頻繁停線以更換過濾器,極大的降低了生產(chǎn)效率。請參閱圖1,圖1為本申請實(shí)施例提供的過濾液機(jī)臺100的種結(jié)構(gòu)示意圖。本申請實(shí)施例提供一種剝離液機(jī)臺100,包括:依次順序排列的多級腔室10、每一級所述腔室10對應(yīng)連接一存儲箱20;過濾器30,所述過濾器30的一端設(shè)置通過管道40與當(dāng)前級腔室101對應(yīng)的存儲箱20連接,所述過濾器30的另一端通過第二管道50與下一級腔室102連接;其中,至少在管道40或所述第二管道50上設(shè)置有閥門開關(guān)60。具體的,圖1所示出的是閥門開關(guān)60設(shè)置在管道40上的示例圖。當(dāng)當(dāng)前級別腔室101對應(yīng)的過濾器30被薄膜碎屑阻塞后,通過閥門開關(guān)60關(guān)閉當(dāng)前級別腔室101對應(yīng)的存儲箱20與過濾器30之間的液體流通。無錫哪家剝離液銷售廠剝離液,讓您的加工過程更加高效。

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其包含含有鉀鹽的第1液、和含有溶纖劑的第2液。再者,本發(fā)明涉及印刷布線板、半導(dǎo)體基板、平板顯示器或引線框的制造方法,其特征在于,在包括從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑的工序的印刷布線板、半導(dǎo)體基板、平板顯示器或引線框的制造方法中,使用上述抗蝕劑的剝離液進(jìn)行抗蝕劑的除去。發(fā)明效果本發(fā)明的抗蝕劑的剝離液即使是微細(xì)的布線間的抗蝕劑也能細(xì)小地粉碎。因此,本發(fā)明的抗蝕劑的剝離液適合于包括從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑的工序的印刷布線板、半導(dǎo)體基板、平板顯示器或引線框的制造方法。具體實(shí)施方式本發(fā)明的抗蝕劑的剝離液(以下,稱為“本發(fā)明剝離液”)含有氫氧化鉀和溶纖劑。本發(fā)明剝離液中的鉀鹽沒有特別限定,例如,可以舉出氫氧化鉀、碳酸鉀等。需要說明的是,鉀鹽中不含相當(dāng)于后述的硅酸鹽的硅酸鉀。這些之中推薦氫氧化鉀。另外,本發(fā)明剝離液中的鉀鹽的含量沒有特別限定,例如,推薦,更推薦,特別推薦。本發(fā)明剝離液中使用的溶纖劑是指乙二醇的醚類,例如,可以舉出異丙基溶纖劑、丁基溶纖劑、二甲基溶纖劑、苯基丁基溶纖劑、甲基溶纖劑、乙基溶纖劑、苯基溶纖劑、芐基溶纖劑、卡必醇溶纖劑、二乙基溶纖劑等。這些之中推薦異丙基溶纖劑。另外。

本發(fā)明采用一種選擇性剝離制備微納結(jié)構(gòu)的新方法,可制備出任意負(fù)性光刻膠所能制備的任意圖形且加工效率比傳統(tǒng)的加工方法提高了上萬倍(以直徑為105nm的結(jié)構(gòu)為例),特別是為跨尺度結(jié)構(gòu)的加工,為光學(xué)領(lǐng)域,電學(xué)領(lǐng)域,聲學(xué)領(lǐng)域,生物領(lǐng)域,mem制造,nems制造,集成電路等領(lǐng)域提供了一種新的解決方案。本發(fā)明的技術(shù)方案如下:一種選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法,包括以下步驟:步驟一、提供襯底,并清洗;步驟二、對襯底進(jìn)行修飾降低光刻膠與襯底的粘附力;步驟三、襯底上旋涂光刻膠得到薄膜;步驟四、在光刻膠上加工出所需結(jié)構(gòu)的輪廓;所述所需結(jié)構(gòu)包括若干**單元,**單元外周形成有閉合的縫隙;步驟五、在光刻膠上覆蓋一層黏貼層;步驟六、自所需結(jié)構(gòu)以外的光刻膠的邊沿處揭開黏貼層,黏貼層將所需結(jié)構(gòu)以外的光刻膠粘走,留下所需結(jié)構(gòu)即襯底上留下的微納結(jié)構(gòu);黏貼層與光刻膠的粘附力a大于光刻膠與襯底的粘附力b。進(jìn)一步的改進(jìn),在供體襯底表面修飾光刻膠抗粘層為高溫氣體修飾法或抽真空氣體修飾法;高溫氣體修飾法包括如下步驟:將襯底和光刻膠抗粘劑置于密閉空間中,其中,密閉空間的溫度控制在60℃-800℃之間,保溫1分鐘以上,直接取出襯底。剝離液分為溶劑型和水系兩種類別;

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該方法包括:步驟110、將多級腔室順序排列,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級向剝離基板提供剝離液;步驟120、將來自于當(dāng)前級腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲于當(dāng)前級腔室相應(yīng)的存儲箱中,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑;步驟130、使用當(dāng)前級腔室相應(yīng)的過濾器過濾來自當(dāng)前級腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級腔室;步驟140、若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,則關(guān)閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關(guān);步驟150、取出被阻塞的所述過濾器。若過濾器包括多個并列排布的子過濾器,則可以關(guān)閉被阻塞的子過濾器的閥門,因此,步驟140還可以包括:若所述過濾器包括多個并列排布的子過濾器,則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過濾器的管道上的閥門開關(guān)。在上述實(shí)施例中,對各個實(shí)施例的描述都各有側(cè)重,某個實(shí)施例中沒有詳述的部分,可以參見其他實(shí)施例的相關(guān)描述。以上對本申請實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)介紹,本文中應(yīng)用了具體個例對本申請的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述,以上實(shí)施例的說明只是用于幫助理解本申請的技術(shù)方案及其思想;本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改,或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換。哪家的剝離液價(jià)格比較低?杭州鋁鉬鋁蝕刻液剝離液哪里買

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高世代面板)表面上,或透入其表面,而把固體物料潤濕,剝離液親水性良好,能快速高效地剝離溶解光刻膠。因此,本申請中的高世代面板銅制程光刻膠剝離液由酰胺、醇醚、環(huán)胺與鏈胺、緩蝕劑、潤濕劑組成。其中,酰胺可以為n-甲基甲酰胺、n-甲基乙酰胺、n,n-二甲基甲酰胺中的任意一種或多種,酰胺是用于溶解光刻膠;n-甲基甲酰胺下面簡稱″nmf″醇醚為二乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚中的任意一種或多種,醇醚是用于潤濕、膨潤、溶解光刻膠的;二乙二醇丁醚下面簡稱″bdg″。環(huán)胺與鏈胺,用于滲透、斷開光刻膠分子間弱結(jié)合力;鏈胺:分子量的大小決定瞬間溶解力,分子量過大瞬間溶解力小,光刻膠未被完全溶解;分子量過小,對金屬的腐蝕性增強(qiáng),影響產(chǎn)品質(zhì)量。分子量一般在50g/mol-200g/mol,鏈胺為乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺、異丙醇胺、甲基二乙醇胺、amp-95中的任意一種或多種;環(huán)胺:溶解光刻膠中環(huán)狀結(jié)構(gòu)的樹脂,包括氨乙基哌嗪、羥乙基哌嗪、氨乙基嗎啉中的任意一種或多種;上述鏈胺與環(huán)胺的比例在4∶1-1∶4之間。緩蝕劑,用于降低對金屬的腐蝕速度,緩蝕劑為三唑類物質(zhì),具體為苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑中的任意一種。潤濕劑。廣州江化微的蝕刻液剝離液銷售價(jià)格