無塵室環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器

來源: 發(fā)布時間:2025-08-30

中源綠凈在電子封裝測試潔凈室環(huán)境監(jiān)測中,構(gòu)建了微粒 - 靜電 - 溫濕度三位一體管控體系。應(yīng)用場景:半導(dǎo)體封裝測試潔凈車間。針對 100 級封裝區(qū),采用每 2 平方米 1 個監(jiān)測終端的布局,實時監(jiān)測 0.3μm 微粒濃度(采樣流量 28.3L/min,數(shù)據(jù)更新周期 2 秒)、靜電電壓(量程 - 500~+500V,精度 ±5V)、溫度(22±1℃,精度 ±0.3℃)及濕度(40%~50% RH,精度 ±2%)。系統(tǒng)搭載的激光粒子計數(shù)器 小分辨率達(dá) 0.1μm,配合壓電式靜電傳感器,響應(yīng)時間均≤0.5 秒。通過與封裝設(shè)備聯(lián)動,當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時自動啟動局部凈化,使芯片封裝引線鍵合不良率下降 48%。已在長電科技、通富微電應(yīng)用,符合 JEDEC J-STD-033B 標(biāo)準(zhǔn),環(huán)境參數(shù)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)率 99.94%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測方案,助力 30 + 企業(yè)提升生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本!無塵室環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器

無塵室環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測

中源綠凈為食品無菌灌裝潔凈室定制的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng),強(qiáng)化了微生物與壓差的協(xié)同管控。應(yīng)用場景:液態(tài)食品無菌灌裝車間。針對 C 級無菌灌裝區(qū),部署防水型監(jiān)測終端,同步監(jiān)測沉降菌(每小時培養(yǎng) 1 次)、灌裝區(qū)與外界壓差(≥15Pa,精度 ±1Pa)、溫度(18~22℃,精度 ±0.5℃)及濕度(30%~40% RH)。采用膜過濾法微生物檢測技術(shù),結(jié)果出具時間縮短至 3 小時,準(zhǔn)確率達(dá) 99%。通過與灌裝線聯(lián)動控制,當(dāng)微生物超標(biāo)時立即停止灌裝并啟動環(huán)境消毒,使產(chǎn)品無菌合格率提升至 99.98%。已在伊利、蒙牛等企業(yè)應(yīng)用,符合 GB 19304 無菌食品生產(chǎn)規(guī)范,環(huán)境監(jiān)測數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率 100%。蘇州十級環(huán)境監(jiān)測檢測標(biāo)準(zhǔn)對照表中源綠凈為 35 + 制革廠監(jiān)測廢水,鉻含量去除率達(dá) 95%,環(huán)保達(dá)標(biāo)無憂!

無塵室環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測

中源綠凈在半導(dǎo)體薄膜沉積潔凈室潔凈度監(jiān)測中,推出了微粒 - 氣體純度聯(lián)動方案。應(yīng)用場景:半導(dǎo)體薄膜沉積潔凈車間。針對 10 級沉積區(qū),部署超高精度監(jiān)測終端,同步檢測 0.1μm 微粒濃度(采樣流量 100L/min)、沉積氣體純度(99.999%~99.9999%,精度 ±0.0001%)及腔體壓差(≥20Pa)。采用激光散射法與氣相色譜聯(lián)用技術(shù),氣體純度響應(yīng)時間≤1 秒,微粒檢測分辨率達(dá) 0.05μm。系統(tǒng)與沉積設(shè)備聯(lián)動,當(dāng)氣體雜質(zhì)或微粒超標(biāo)時自動切斷氣源,使薄膜沉積缺陷率下降 50%。已在中微公司、北方華創(chuàng)等企業(yè)應(yīng)用,符合 ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn),潔凈度穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.95%。

中源綠凈在光伏硅片清洗潔凈室環(huán)境監(jiān)測中,推出了粉塵 - 水質(zhì)雙維度方案。應(yīng)用場景:光伏硅片清洗潔凈車間。針對 1000 級清洗區(qū),配置防塵型監(jiān)測終端,同步監(jiān)測 0.3μm 粉塵濃度(檢測下限 0.001mg/m3)、清洗用水微粒(0.5μm 粒徑,10 粒 / L 以下)、溫度(20~25℃)及濕度(45%~55% RH)。采用 β 射線吸收法測塵技術(shù),響應(yīng)時間≤1 秒,數(shù)據(jù)采樣間隔 5 秒 / 次。系統(tǒng)對接清洗機(jī) PLC,水質(zhì)超標(biāo)時自動切換過濾單元,使硅片表面潔凈度達(dá)標(biāo)率提升 42%。已在隆基綠能、晶科能源應(yīng)用,符合 IEC 61215 標(biāo)準(zhǔn),環(huán)境管控達(dá)標(biāo)率 99.85%。中源綠凈為 30 + 企業(yè)提供環(huán)境監(jiān)測設(shè)備定期巡檢服務(wù),預(yù)防設(shè)備故障發(fā)生!

無塵室環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測

中源綠凈在生物疫苗凍干潔凈室環(huán)境監(jiān)測中,構(gòu)建了溫濕度 - 真空度 - 微生物多參數(shù)聯(lián)動體系。應(yīng)用場景:疫苗凍干生產(chǎn)潔凈室。針對 A 級凍干 區(qū),采用每 1 平方米 1 個監(jiān)測終端的超高密度布局,實時監(jiān)測凍干艙內(nèi)溫度(-50~30℃,精度 ±0.2℃)、真空度(0~100Pa,精度 ±1Pa)、浮游菌濃度(每 20 分鐘采樣 1 次,檢測下限 0.5CFU/m3)及相鄰區(qū)域壓差(≥30Pa)。系統(tǒng)搭載的低溫 傳感器在 - 80℃環(huán)境下仍保持穩(wěn)定性能,數(shù)據(jù)采樣頻率達(dá) 10 次 / 秒。通過與凍干機(jī)控制系統(tǒng)聯(lián)動,當(dāng)參數(shù)偏離工藝范圍時 5 秒內(nèi)觸發(fā)調(diào)節(jié),使疫苗凍干合格率提升 35%。已在國藥中生、科興中維等企業(yè)應(yīng)用,符合 WHO 疫苗生產(chǎn)規(guī)范,環(huán)境數(shù)據(jù)追溯通過率 100%。中源綠凈為 30 + 企業(yè)提供環(huán)境監(jiān)測設(shè)備維護(hù)服務(wù),延長設(shè)備使用壽命!深圳凈化車間環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范

中源綠凈為 30+3D 打印材料企業(yè)降低打印件缺陷率,提升產(chǎn)品質(zhì)量!無塵室環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器

中源綠凈在航空航天精密部件裝配潔凈室環(huán)境監(jiān)測中,推出了微振動 - 潔凈度雙維度方案。應(yīng)用場景:航天發(fā)動機(jī)部件裝配潔凈室。針對 8 級潔凈裝配區(qū),配置高精度監(jiān)測終端,同步監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度(檢測下限 1 粒 / 升)、環(huán)境振動(頻率范圍 1~1000Hz,測量精度 ±0.0005mm/s)、空氣流速(0.2~0.4m/s)及溫濕度。采用激光多普勒振動測量技術(shù),數(shù)據(jù)采樣率達(dá) 2000Hz,可捕捉微米級振動信號。通過振動源識別與隔離方案,使部件裝配精度(公差≤0.001mm)達(dá)標(biāo)率提升 45%。系統(tǒng)對接 MES 系統(tǒng)實現(xiàn)數(shù)據(jù)全追溯,已在航天科技集團(tuán)、中國商飛應(yīng)用,符合 AS9100 航空質(zhì)量管理體系,環(huán)境管控達(dá)標(biāo)率 99.92%。無塵室環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器