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中源綠凈在半導(dǎo)體光刻潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)中,打造了微粒 - 溫濕度 - 氣壓多參數(shù)協(xié)同體系。應(yīng)用場(chǎng)景:半導(dǎo)體光刻工藝潔凈室。針對(duì) 10 級(jí)光刻潔凈區(qū),采用每 1.5 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的高密度部署,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 0.1μm 微粒濃度(采樣流量 50L/min,數(shù)據(jù)更新周期 2 秒)、溫度(23±0.1℃,精度 ±0.05℃)、濕度(45±2% RH,精度 ±1%)及相鄰區(qū)域壓差(≥25Pa,精度 ±1Pa)。系統(tǒng)搭載的激光粒子計(jì)數(shù)器 小分辨率達(dá) 0.1μm,可捕捉極細(xì)微顆粒變化。通過(guò)與空調(diào)系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié),當(dāng)溫濕度偏離設(shè)定值時(shí) 10 秒內(nèi)完成動(dòng)態(tài)補(bǔ)償,使光刻膠涂覆均勻度提升 30%。已在中芯國(guó)際、臺(tái)積電等企業(yè)應(yīng)用,符合 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn),環(huán)境參數(shù)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)率 99.96%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng),能實(shí)現(xiàn) 100 + 監(jiān)測(cè)點(diǎn)數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)傳輸,數(shù)據(jù)延遲小于 1 秒,助力企業(yè)快速?zèng)Q策!在線環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器使用步驟
中源綠凈在化妝品無(wú)菌灌裝潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)中,構(gòu)建了微生物 - 微粒雙參數(shù)實(shí)時(shí)防控體系。應(yīng)用場(chǎng)景:化妝品無(wú)菌灌裝車(chē)間。針對(duì)妝字號(hào)無(wú)菌產(chǎn)品灌裝的 A 級(jí)潔凈區(qū),采用每 2 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的布局,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 0.5μm 微粒濃度(采樣流量 28.3L/min,每 5 秒更新一次數(shù)據(jù))、浮游菌數(shù)量(每 30 分鐘采樣一次,檢測(cè)下限 1CFU/m3)、環(huán)境溫濕度(溫度 20~25℃,精度 ±0.5℃;濕度 40%~60% RH,精度 ±2%)及灌裝區(qū)壓差(≥15Pa)。系統(tǒng)搭載的微生物快速檢測(cè)模塊采用 ATP 生物熒光技術(shù),檢測(cè)時(shí)間從傳統(tǒng) 48 小時(shí)縮短至 15 分鐘,準(zhǔn)確率達(dá) 98.5%。通過(guò)與灌裝線 PLC 聯(lián)動(dòng),當(dāng)參數(shù)超標(biāo)時(shí) 0.5 秒內(nèi)觸發(fā)停機(jī),使產(chǎn)品微生物不合格率下降 62%。已在完美、丸美等企業(yè)應(yīng)用,符合《化妝品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》,環(huán)境數(shù)據(jù)審計(jì)通過(guò)率 100%。百萬(wàn)級(jí)環(huán)境監(jiān)測(cè)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備,幫 65 + 醫(yī)用耗材廠監(jiān)測(cè),微生物限度達(dá)標(biāo)率 100%!
中源綠凈在食品凍干潔凈車(chē)間環(huán)境監(jiān)測(cè)中,推出了溫濕度 - 真空度多維度監(jiān)測(cè)方案。針對(duì)凍干食品生產(chǎn)的 C 級(jí)潔凈區(qū),配置了耐高溫監(jiān)測(cè)終端,同步監(jiān)測(cè)凍干艙內(nèi)溫度(-50~80℃,精度 ±0.5℃)、真空度(0~1000Pa,精度 ±5Pa)、車(chē)間微粒濃度及濕度。采用電容式真空傳感器實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定測(cè)量,數(shù)據(jù)更新周期為 5 秒 / 次,確保捕捉凍干關(guān)鍵階段的參數(shù)變化。系統(tǒng)對(duì)接凍干工藝管理軟件,自動(dòng)生成參數(shù)趨勢(shì)報(bào)告,使凍干食品水分含量合格率提升 50%。該系統(tǒng)已在好想你、三只松鼠等企業(yè)應(yīng)用,符合 GB 23790 凍干食品衛(wèi)生規(guī)范,環(huán)境監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率 100%。
中源綠凈在精密光學(xué)鍍膜潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)中,推出了微粒 - 氣體純度雙維度方案。應(yīng)用場(chǎng)景:光學(xué)鏡片鍍膜潔凈車(chē)間。針對(duì) 10 級(jí)鍍膜區(qū),配置超高精度監(jiān)測(cè)終端,同步監(jiān)測(cè) 0.1μm 微粒濃度(采樣流量 100L/min)、鍍膜氣體純度(99.999%~99.9999%)、溫度(20~25℃,精度 ±0.3℃)及濕度(30%~40% RH)。采用激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)檢測(cè)氣體純度,響應(yīng)時(shí)間≤1 秒,數(shù)據(jù)采樣頻率 10 次 / 秒。通過(guò)與鍍膜機(jī)聯(lián)動(dòng)控制,當(dāng)氣體純度不達(dá)標(biāo)時(shí)自動(dòng)切斷氣源,使鏡片鍍膜透光率達(dá)標(biāo)率提升 42%。已在舜宇光學(xué)、蔡司光學(xué)應(yīng)用,符合 ISO 10110 光學(xué)標(biāo)準(zhǔn),環(huán)境管控達(dá)標(biāo)率 99.95%。中源綠凈環(huán)境監(jiān)測(cè)服務(wù),使 55 + 診斷試劑廠潔凈監(jiān)測(cè),靈敏度穩(wěn)定性提 15%!
中源綠凈在制藥配液潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)中,打造了藥液制備全流程參數(shù)監(jiān)控體系。針對(duì)無(wú)菌配液的 A 級(jí)潔凈區(qū),采用每 1 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)點(diǎn)的超高密度部署,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)懸浮粒子(0.5μm 和 5μm 雙粒徑同時(shí)監(jiān)測(cè),采樣流量 50L/min)、微生物濃度(每 15 分鐘采樣一次)、環(huán)境溫濕度(溫度控制在 20~24℃,精度 ±0.5℃;濕度 45%~65% RH,精度 ±3%)及壓差( 區(qū)與緩沖區(qū)間壓差≥20Pa)。系統(tǒng)搭載的激光粒子計(jì)數(shù)器 小檢測(cè)粒徑達(dá) 0.3μm,數(shù)據(jù)存儲(chǔ)容量可滿足 365 天全量數(shù)據(jù)回溯。通過(guò)與配液系統(tǒng)聯(lián)動(dòng),當(dāng)參數(shù)超標(biāo)時(shí)自動(dòng)觸發(fā)配液暫停,使配液不合格率下降 65%。已在齊魯制藥、藥明康德等企業(yè)應(yīng)用,符合 GMP 附錄 1 無(wú)菌藥品要求,環(huán)境監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)審計(jì)通過(guò)率 100%。中源綠凈為 75 + 糧油廠做環(huán)境監(jiān)測(cè),倉(cāng)儲(chǔ)環(huán)境優(yōu)化,脂肪酸值升速降 15%!深圳百級(jí)環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器使用步驟
中源綠凈為 45 + 康復(fù)器械廠做環(huán)境監(jiān)測(cè),生產(chǎn)環(huán)境優(yōu),產(chǎn)品精度提 10%!在線環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器使用步驟
中源綠凈在生物制藥發(fā)酵潔凈車(chē)間環(huán)境監(jiān)測(cè)中,推出了溫濕度 - 氧氣濃度多維度方案。應(yīng)用場(chǎng)景:生物發(fā)酵罐潔凈區(qū)。針對(duì) 發(fā)酵的 B 級(jí)潔凈區(qū),配置防爆型監(jiān)測(cè)終端,同步監(jiān)測(cè)發(fā)酵車(chē)間溫度(25~30℃,精度 ±0.3℃)、濕度(50%~70% RH,精度 ±3%)、氧氣濃度(19%~21%,精度 ±0.1%)及懸浮粒子濃度。采用電化學(xué)氧氣傳感器實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),響應(yīng)時(shí)間≤10 秒,數(shù)據(jù)存儲(chǔ)容量支持 180 天全量回溯。系統(tǒng)對(duì)接發(fā)酵控制系統(tǒng),當(dāng)氧氣濃度偏離 范圍(20.5%±0.2%)時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)通風(fēng)量,使發(fā)酵單位產(chǎn)量提升 12%。通過(guò)微生物濃度趨勢(shì)分析,提前 8 小時(shí)預(yù)警污染風(fēng)險(xiǎn),使發(fā)酵染菌率下降 35%。已在華北制藥、聯(lián)邦制藥等企業(yè)應(yīng)用,符合 GMP 生物制品要求,環(huán)境監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率 100%。在線環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器使用步驟