中源綠凈針對半導(dǎo)體濕法刻蝕潔凈室的潔凈度監(jiān)測方案,聚焦于腐蝕性環(huán)境下的 監(jiān)測。應(yīng)用場景:半導(dǎo)體濕法刻蝕潔凈車間。針對 1000 級刻蝕區(qū),配置防腐蝕監(jiān)測終端,可耐受 Cl?、HF 等腐蝕性氣體環(huán)境,實(shí)時監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度(采樣流量 28.3L/min)、蝕刻液飛濺微粒及局部濕度(控制在 40%~50% RH±3%)。采用惰性材料封裝傳感器,檢測精度在腐蝕性環(huán)境中仍保持 ±10% 以內(nèi)。通過與蝕刻槽聯(lián)動控制,當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時自動啟動局部排風(fēng),使晶圓刻蝕均勻性不良率下降 45%。已服務(wù)于華虹半導(dǎo)體、士蘭微等企業(yè),符合 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn),潔凈度監(jiān)測準(zhǔn)確率 99.92%。中源綠凈為 35 + 制革廠監(jiān)測廢水,鉻含量去除率達(dá) 95%,環(huán)保達(dá)標(biāo)無憂!蘇州千級環(huán)境監(jiān)測監(jiān)測
中源綠凈針對醫(yī)療器械組裝無塵車間的環(huán)境監(jiān)測方案,聚焦于微粒與微生物的雙重管控。應(yīng)用場景:醫(yī)療器械無塵組裝車間。依據(jù) ISO 13485 醫(yī)療器械質(zhì)量管理體系,在 8 級潔凈組裝區(qū)部署監(jiān)測終端,同步監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度(采樣頻率 1 次 / 5 秒)、表面微生物(每 2 小時檢測 1 次)、工作臺面照度(≥300lux,精度 ±20lux)及溫濕度。采用接觸碟法微生物采樣技術(shù),檢測結(jié)果出具時間縮短至 2 小時,準(zhǔn)確率 99%。通過與組裝設(shè)備聯(lián)動,當(dāng)微生物超標(biāo)時自動鎖定作業(yè)區(qū)域,使醫(yī)療器械無菌合格率提升至 99.95%。已服務(wù)于邁瑞醫(yī)療、魚躍醫(yī)療等企業(yè),助力通過 FDA 現(xiàn)場核查,環(huán)境監(jiān)測合規(guī)率 100%。蘇州千級環(huán)境監(jiān)測監(jiān)測中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測設(shè)備,幫 25 + 調(diào)味品廠發(fā)酵監(jiān)測,風(fēng)味穩(wěn)定性提 12%!
中源綠凈在生物疫苗凍干潔凈室環(huán)境監(jiān)測中,構(gòu)建了溫濕度 - 真空度 - 微生物多參數(shù)聯(lián)動體系。應(yīng)用場景:疫苗凍干生產(chǎn)潔凈室。針對 A 級凍干 區(qū),采用每 1 平方米 1 個監(jiān)測終端的超高密度布局,實(shí)時監(jiān)測凍干艙內(nèi)溫度(-50~30℃,精度 ±0.2℃)、真空度(0~100Pa,精度 ±1Pa)、浮游菌濃度(每 20 分鐘采樣 1 次,檢測下限 0.5CFU/m3)及相鄰區(qū)域壓差(≥30Pa)。系統(tǒng)搭載的低溫 傳感器在 - 80℃環(huán)境下仍保持穩(wěn)定性能,數(shù)據(jù)采樣頻率達(dá) 10 次 / 秒。通過與凍干機(jī)控制系統(tǒng)聯(lián)動,當(dāng)參數(shù)偏離工藝范圍時 5 秒內(nèi)觸發(fā)調(diào)節(jié),使疫苗凍干合格率提升 35%。已在國藥中生、科興中維等企業(yè)應(yīng)用,符合 WHO 疫苗生產(chǎn)規(guī)范,環(huán)境數(shù)據(jù)追溯通過率 100%。
中源綠凈為半導(dǎo)體離子注入潔凈室定制的潔凈度監(jiān)測系統(tǒng),強(qiáng)化了高能環(huán)境下的監(jiān)測可靠性。應(yīng)用場景:半導(dǎo)體離子注入潔凈車間。依據(jù) SEMI F47 標(biāo)準(zhǔn),在 100 級注入?yún)^(qū)部署耐輻射監(jiān)測終端,可承受高能離子輻射環(huán)境,實(shí)時監(jiān)測 0.3μm 微粒濃度、注入?yún)^(qū)溫度(20~25℃±0.5℃)及靜電電位。采用防輻射涂層處理傳感器,在輻射環(huán)境下檢測精度衰減≤5%/ 年。通過與離子源設(shè)備聯(lián)動調(diào)節(jié),當(dāng)微粒濃度異常時自動優(yōu)化束流參數(shù),使離子注入摻雜不均勻率下降 42%。已在中芯寧波、聯(lián)電等企業(yè)應(yīng)用,通過半導(dǎo)體設(shè)備認(rèn)證,監(jiān)測數(shù)據(jù)追溯通過率 100%。中源綠凈環(huán)境監(jiān)測服務(wù),使 35 + 糖果廠濕度控制好,產(chǎn)品結(jié)塊率降 10%!
中源綠凈在精密光學(xué)儀器潔凈室潔凈度監(jiān)測中,推出了超微顆粒專項(xiàng)監(jiān)測方案。應(yīng)用場景:精密光學(xué)儀器裝配潔凈室。針對 10 級潔凈環(huán)境,配置超高精度監(jiān)測終端,可檢測 0.1μm 超微顆粒濃度(采樣流量 100L/min)、空氣流速(0.2~0.4m/s,精度 ±0.02m/s)及溫濕度(溫度 20~25℃±0.5℃,濕度 40%~60% RH±3%)。采用激光干涉測量技術(shù),數(shù)據(jù)采樣率達(dá) 1000Hz,確保捕捉微小顆粒變化。系統(tǒng)與光學(xué)檢測設(shè)備聯(lián)動,當(dāng)顆粒濃度超標(biāo)時自動暫停檢測流程,使光學(xué)鏡片表面潔凈度達(dá)標(biāo)率提升 42%。已在舜宇光學(xué)、蔡司光學(xué)等企業(yè)應(yīng)用,符合 ISO 10110 光學(xué)儀器標(biāo)準(zhǔn),潔凈度穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.95%。中源綠凈為 25 + 水產(chǎn)養(yǎng)殖場做環(huán)境監(jiān)測,水質(zhì)優(yōu)化,存活率提 20%!芯片半導(dǎo)體環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器品牌排行榜
中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測領(lǐng)域,為 50 + 企業(yè)提供環(huán)境監(jiān)測解決方案優(yōu)化服務(wù),持續(xù)提升效果!蘇州千級環(huán)境監(jiān)測監(jiān)測
中源綠凈為生物樣本庫潔凈室定制的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng),聚焦于低溫環(huán)境下的參數(shù)穩(wěn)定性監(jiān)測。針對 - 80℃超低溫冰箱存放區(qū)的 B 級潔凈區(qū),部署了耐低溫監(jiān)測終端,可在 - 40~50℃環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行,監(jiān)測參數(shù)包括空氣潔凈度(0.5μm 微粒濃度)、庫內(nèi)溫度(波動范圍 ±1℃)、濕度(≤45% RH)及氣壓差。采用鉑電阻溫度傳感器,在低溫環(huán)境下測量精度達(dá) ±0.3℃,數(shù)據(jù)傳輸采用低溫 電纜,確保 - 80℃環(huán)境下信號無衰減。系統(tǒng)具備雙路報警機(jī)制,溫度異常時 30 秒內(nèi)觸發(fā)聲光 + 短信報警,使樣本保存事故率下降 70%。已在國家基因庫、協(xié)和醫(yī)院樣本庫應(yīng)用,符合 ISO 20387 生物樣本庫要求,參數(shù)監(jiān)測準(zhǔn)確率 100%。蘇州千級環(huán)境監(jiān)測監(jiān)測