國內微光顯微鏡選購指南

致晟光電熱紅外顯微鏡采用高性能 InSb（銦銻）探測器，用于中波紅外波段（3–5 μm）熱輻射信號的高精度捕捉。InSb 材料具備優(yōu)異的光電轉換效率和極低本征噪聲，在制冷條件下可實現 nW 級熱靈敏度與優(yōu)于 20 mK 的溫度分辨率，支持高精度、非接觸式熱成像分析。該探測器在熱紅外顯微系統(tǒng)中的應用，不僅提升了空間分辨率（可達微米量級）與溫度響應線性度，還能對半導體器件和微電子系統(tǒng)中的局部發(fā)熱缺陷、熱點遷移及瞬態(tài)熱行為進行精細刻畫。結合致晟光電自主研發(fā)的高數值孔徑光學系統(tǒng)與穩(wěn)態(tài)熱控平臺，InSb 探測器可在多物理場耦合環(huán)境下實現高時空分辨的熱場成像，是先進電子器件失效分析、電熱耦合機理研究以及材料熱特性評估中的前沿技術。處理 ESD 閉鎖效應時，微光顯微鏡檢測光子可判斷其位置和程度，為研究機制、制定防護措施提供支持。國內微光顯微鏡選購指南

在半導體MEMS器件檢測領域，微光顯微鏡憑借超靈敏的感知能力，展現出不可替代的技術價值。MEMS器件的中心結構多以微米級尺度存在，這些微小部件在運行過程中產生的紅外輻射變化極其微弱——其信號強度往往低于常規(guī)檢測設備的感知閾值，卻能被微光顯微鏡捕捉。借助先進的光電轉換與信號放大技術，微光顯微鏡可將捕捉到的微弱紅外輻射信號轉化為直觀的動態(tài)圖像；搭配專業(yè)圖像分析工具，能進一步量化提取結構的位移幅度、振動頻率等關鍵參數。這種非接觸式檢測方式，從根本上規(guī)避了傳統(tǒng)接觸式測量對微結構的物理干擾，確保檢測數據真實反映器件運行狀態(tài)，為MEMS器件的設計優(yōu)化、性能評估及可靠性驗證提供了關鍵技術支撐。IC微光顯微鏡方案設計針對光器件，能定位光波導中因損耗產生的發(fā)光點，為優(yōu)化光子器件的傳輸性能、降低損耗提供關鍵數據。

EMMI的全稱是Electro-OpticalEmissionMicroscopy，也叫做光電發(fā)射顯微鏡。這是一種在半導體器件失效分析中常用的技術，通過檢測半導體器件中因漏電、擊穿等缺陷產生的微弱光輻射（如載流子復合發(fā)光），實現對微小缺陷的定位和分析，廣泛應用于集成電路、半導體芯片等的質量檢測與故障排查。

致晟光電該系列——RTTLITE20微光顯微分析系統(tǒng)（EMMI）是專為半導體器件漏電缺陷檢測而設計的高精度檢測系統(tǒng)。其中，實時瞬態(tài)鎖相熱分析系統(tǒng)采用鎖相熱成像(Lock-in Thermography)技術，通過調制電信號損升特征分辨率與靈敏度，結合軟件算法優(yōu)化信噪比，以實現顯微成像下的高靈敏度熱信號測量。

在實際開展失效分析工作前，通常需要準備好檢測樣品，并完成一系列前期驗證，以便為后續(xù)分析提供明確方向。通過在早期階段進行充分的背景調查與電性能驗證，工程師能夠快速厘清失效發(fā)生的環(huán)境條件和可能原因，從而提升分析的效率與準確性。

首先，失效背景調查是不可或缺的一步。它需要對芯片的型號、應用場景及典型失效模式進行收集和整理，例如短路、漏電、功能異常等。同時，還需掌握失效比例和使用條件，包括溫度、濕度和電壓等因素。

針對接面漏電，我司微光顯微鏡能偵測其光子定位位置，利于篩選不良品，為改進半導體制造工藝提供數據。

在致晟光電的微光顯微鏡系統(tǒng)中，光發(fā)射顯微技術憑借優(yōu)化設計的光學系統(tǒng)與制冷型 InGaAs 探測器，能夠捕捉低至皮瓦（pW）級別的微弱光子信號。這一能力使其在檢測柵極漏電、PN 結微短路等低強度發(fā)光失效問題時，展現出靈敏度與可靠性。同時，微光顯微鏡具備非破壞性的檢測特性，確保器件在分析過程中不受損傷，既適用于研發(fā)階段的失效分析，也滿足量產階段對質量管控的嚴苛要求。其亞微米級的空間分辨率，更讓微小缺陷無所遁形，為高精度芯片分析提供了有力保障。
具備“顯微”級空間分辨能力，能將熱點區(qū)域精確定位在數微米甚至亞微米尺度。制冷微光顯微鏡工作原理

微光顯微鏡能檢測半導體器件微小缺陷和失效點，及時發(fā)現隱患，保障設備可靠運行、提升通信質量。國內微光顯微鏡選購指南

隨后，通過去層處理逐步去除芯片中的金屬布線層和介質層，配合掃描電子顯微鏡（SEM）的高分辨率成像以及光學顯微鏡的細節(jié)觀察，進一步確認缺陷的具體形貌。這些缺陷可能表現為金屬線路的腐蝕、氧化層的剝落或晶體管柵極的損傷。結合實驗結果，分析人員能夠追溯出導致失效的具體機理，例如電遷移效應、熱載流子注入或工藝污染等。這樣的“定位—驗證—溯源”閉環(huán)過程，使PEM系統(tǒng)在半導體器件及集成電路的失效研究中展現了極高的實用價值，為工程師提供了可靠的分析手段。國內微光顯微鏡選購指南