所述液體入口1處設(shè)有減壓閥12,所述蒸汽出口5處設(shè)有真空泵13、除霧組件3及除沫組件4,所述除霧組件3用于過濾分離器中閃蒸的蒸汽中的含銅液體,所述除沫組件4用于將經(jīng)除霧組件3除霧的氣體進(jìn)行除沫。含銅蝕刻液在加熱器11中進(jìn)行加熱,達(dá)到閃蒸要求的溫度,輸送至分離器,通過減壓閥12減壓,真空泵13對分離器內(nèi)抽氣,使分離器內(nèi)處于低壓狀態(tài),含銅蝕刻液在分離器內(nèi)發(fā)生閃蒸,閃蒸產(chǎn)生大量蒸汽,蒸汽中攜帶著大小不等的液滴,大液滴中含有銅,通過除霧組件3和除沫組件4對蒸汽進(jìn)行分離過濾,也可以防止大液滴從蒸汽出口5飛出,減少產(chǎn)品損失。在一個實施例中,如圖1所示,所述除霧組件3為設(shè)有多個平行且曲折的通道的折流板。液體...
ITO蝕刻液的分類:已經(jīng)使用的蝕刻液類型有六種類型:酸性氯化銅、堿性氯化銅、氯化鐵、過硫酸銨、硫酸/鉻酸、硫酸/雙氧水蝕刻液。酸性氯化銅,工藝體系,根據(jù)添加不同的氧化劑又可細(xì)分為氯化銅+空氣體系、氯化銅+氯酸鈉體系、氯化銅+雙氧水體系三種蝕刻工藝,在生產(chǎn)過程中通過補(bǔ)加鹽酸+空氣、鹽酸加氯酸鈉、鹽酸+雙氧水和少量的添加劑來實現(xiàn)線路板板的連續(xù)蝕刻生產(chǎn)。ITO蝕刻液由氟化銨、草酸、硫酸鈉、氫氟酸、硫酸、硫酸銨、甘油、水組成。江蘇TIO去膜液生產(chǎn)商ITO顯影劑就是一種納米導(dǎo)光性能的材料合成的。什么樣的蝕刻液可以蝕刻鋁同時保護(hù)銅?佛山江化微的蝕刻液蝕刻液什么價格所述有機(jī)硫化合物具有作為還原劑及絡(luò)合劑(c...
上述硅烷系偶聯(lián)劑的選擇方法的特征在于,選擇上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應(yīng)位點(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)形態(tài)的分子量之后乘以。以下,通過實施例更加詳細(xì)地說明本發(fā)明。但是,以下的實施例用于更加具體地說明本發(fā)明,本發(fā)明的范圍并不受以下實施例的限定。實施例和比較例的蝕刻液組合物的制造參照以下表1(重量%),制造實施例和比較例的蝕刻液組合物。[表1]參照以下表2和圖5,利用實施例和比較例的蝕刻液組合物,對于包含作為氧化物膜sio2和作為上述氧化物膜上的氮化物膜sin的膜的、總厚度的膜進(jìn)行如下處理。在160℃用硅烷系偶聯(lián)劑%對上述膜處理10,000秒的情況下,...
ITO顯影劑也稱為造影劑或?qū)Ρ葎?,是一種X光無法穿透的藥劑,用于讓體內(nèi)組織在X光檢查時能看得更清楚。例如消化道攝影時,醫(yī)師會讓患者喝下一杯顯影劑溶液(大多含鋇),然后用各種角度照相,就能讓胃腸道看得很清楚。如果顯影只是在光強(qiáng)較大的地方產(chǎn)生游離銀,而對底片不做進(jìn)一步處理,則把它一拿出暗室,未顯影的鹵化銀就會立刻曝光。此后,幾乎任何還原劑都將使底片完全形成灰霧。為了克服這個問題,必須找到一種適當(dāng)?shù)奈镔|(zhì)以除去未還原的鹵化銀。黑白照相中較常用的定影液是硫代硫酸鈉溶液。其中的硫代硫酸根離子(S2O32-)與銀離子形成可溶于水的穩(wěn)定配合物,因而達(dá)到“固定”底片的目的。ITO顯影液的市場需求會隨著電子行業(yè)的...
將hno3、四甲基氫氧化銨、h2o2分別投入對應(yīng)的原料罐,備用;第三步:根據(jù)混酸配制表算出各個原料的添加量,按照純水→亞氨基二乙酸→氫氟酸→hno3→四甲基氫氧化銨→乙醇酸的順序依次將原料加入調(diào)配罐,將上述混料充分?jǐn)嚢?,攪拌時間為3~5h;第四步:在第三步的混料中再添加h2o2,繼續(xù)攪拌混勻,攪拌時間為3~5h,用磁力泵將混合液通過過濾器循環(huán)過濾。作為推薦的技術(shù)方案,所述磁力泵出口壓力≤,過濾器入口壓力≤。根據(jù)制備銅蝕刻液的原料確定磁力泵的出口壓力和過濾器的入口壓力,包裝原料可以被充分過濾。作為推薦的技術(shù)方案,所述調(diào)配罐內(nèi)的溫度設(shè)定在30~35℃。調(diào)配罐的溫度不能超過35℃,由于過氧化氫的密度...
ITO顯影劑也稱為造影劑或?qū)Ρ葎?,是一種X光無法穿透的藥劑,用于讓體內(nèi)組織在X光檢查時能看得更清楚。例如消化道攝影時,醫(yī)師會讓患者喝下一杯顯影劑溶液(大多含鋇),然后用各種角度照相,就能讓胃腸道看得很清楚。如果顯影只是在光強(qiáng)較大的地方產(chǎn)生游離銀,而對底片不做進(jìn)一步處理,則把它一拿出暗室,未顯影的鹵化銀就會立刻曝光。此后,幾乎任何還原劑都將使底片完全形成灰霧。為了克服這個問題,必須找到一種適當(dāng)?shù)奈镔|(zhì)以除去未還原的鹵化銀。黑白照相中較常用的定影液是硫代硫酸鈉溶液。其中的硫代硫酸根離子(S2O32-)與銀離子形成可溶于水的穩(wěn)定配合物,因而達(dá)到“固定”底片的目的。ITO顯影液的市場需求會隨著電子行業(yè)的...
內(nèi)嵌觀察窗402通過觀察窗翻折滾輪401內(nèi)嵌入裝置內(nèi)部,工作人員可通過內(nèi)嵌的透明窗對內(nèi)部的制備狀況進(jìn)行實時查看,從而很好的體現(xiàn)了該裝置的實時性。推薦的,鹽酸裝罐7的頂端嵌入連接有熱水流入漏斗9,在進(jìn)行制備時需要向鹽酸裝罐7內(nèi)倒入一定比例的熱水進(jìn)行均勻調(diào)和,由于熱水與鹽酸接觸會產(chǎn)生較為劇烈的反應(yīng),濺出容易傷害工作人員,通過設(shè)置熱水流入漏斗9,工作人員可沿著熱水流入漏斗9將熱水緩緩倒入鹽酸內(nèi),從而很好的減小了發(fā)生反應(yīng)的劇烈程度,很好的起到了保護(hù)作用。推薦的,裝置底座5的內(nèi)部兩側(cè)緊密焊接有加固支架10,由于制備裝置為一體化裝置,承載設(shè)備較多,質(zhì)量較重,對底座會產(chǎn)生較大的壓力,通過設(shè)置加固支架10,加...
銅蝕刻液近期成為重要的微電子化學(xué)品產(chǎn)品,廣泛應(yīng)用于平板顯示、LED制造及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。隨著新技術(shù)的不斷進(jìn)步,對該蝕刻液也有了更高的要求。并且之前市場上的銅蝕刻液成分普遍存在含氟、硝酸或高濃度雙氧水的情況。在此基礎(chǔ)上我司自主進(jìn)行了無氟,無硝酸,低雙氧水濃度銅蝕刻液的研發(fā),并可兼容于不同CuMo鍍膜厚度之工藝。產(chǎn)品特點:1.6%雙氧水濃度的銅蝕刻液lifetime可至7000ppm。2.末期銅蝕刻液工藝溫度(32)下可穩(wěn)定72H,常溫可穩(wěn)定120H;無暴沸現(xiàn)象。3.銅蝕刻液CD-Loss均一性良好,taper符合制程要求。4.銅蝕刻液可兼容MoCu結(jié)構(gòu)不同膜厚度的機(jī)種。天馬微電子用的哪家的蝕刻液...
也不能在回收結(jié)束后對裝置內(nèi)部進(jìn)行清理的問題。為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,包括裝置主體,所述裝置主體內(nèi)部中間位置固定安裝有分隔板,所述分隔板左端表面靠近中間位置固定安裝有承載板,所述承載板上端表面放置有電解池,所述電解池內(nèi)部中間位置設(shè)置有隔膜,所述裝置主體上端表面靠近右側(cè)安裝有進(jìn)液漏斗,所述進(jìn)液漏斗上設(shè)置有過濾網(wǎng),所述裝置主體內(nèi)部靠近頂端設(shè)置有進(jìn)液管,所述進(jìn)液管左端連接有伸縮管,所述伸縮管下端安裝有噴頭,所述裝置主體上端表面靠近左側(cè)固定安裝有液壓缸,所述液壓缸下端安裝有伸縮桿,所述伸縮桿下端固定安裝有圓環(huán)塊,所述圓環(huán)塊與噴頭之間固定連接有連接桿,所述分隔...
經(jīng)除霧組件3除霧后的氣體會夾帶著泡沫,泡沫中還是含有銅元素,為進(jìn)一步提高回收效率,需對氣體和泡沫進(jìn)行分離,泡沫與絲網(wǎng)碰撞時會吸附在絲網(wǎng)的細(xì)絲表面,細(xì)絲表面上泡沫不斷累積和泡沫的重力沉降,使泡沫形成較大的液滴沿細(xì)絲流至兩根絲的交點,當(dāng)液滴累積至其自身產(chǎn)生的重力超過氣體的上升力和液體表面張力合力時,液滴就從細(xì)絲上分離下落,氣體在通過絲網(wǎng)除沫后,基本上不含泡沫。在一個實施例中,如圖1所示,所述分離器設(shè)有液位計7、液位開關(guān)9、液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8。蒸汽從加熱器11到分離器會因分離器內(nèi)壓力小而發(fā)生閃蒸,產(chǎn)生二次蒸汽,使氣液分離的效率更高,所以要維持分離器內(nèi)的壓力不變,通過觀察液位計7來使用...
本實用新型涉及資源回收再利用領(lǐng)域,特別是涉及含銅蝕刻液氣液分離裝置。背景技術(shù):線路板生產(chǎn)工業(yè)中,會對已經(jīng)使用于蝕刻線路板的含銅蝕刻廢液進(jìn)行回收利用,在回收過程中,廢液在加熱器中通過蒸汽進(jìn)行換熱,換熱完的廢液在高溫狀態(tài)下進(jìn)入分離器,會在分離器中發(fā)生閃蒸,閃蒸產(chǎn)生的二次蒸汽中,攜帶有大小不等的液滴,現(xiàn)有技術(shù)因缺乏有效的分離氣液的手段,含有銅的液體隨著蒸汽被排走,導(dǎo)致了產(chǎn)品發(fā)生損失。技術(shù)實現(xiàn)要素:基于此,有必要針對現(xiàn)有技術(shù)氣液分離率低的問題,提供一種含銅蝕刻液氣液分離裝置。一種含銅蝕刻液氣液分離裝置,包括分離器及加熱器,所述分離器設(shè)有液體入口、蒸汽出口及濾液出口,所述液體入口用于將加熱器產(chǎn)生的液體輸...
鋁蝕刻液是鋁蝕刻液STM-AL100。根據(jù)查詢相關(guān)信息顯示:鋁蝕刻液STM-AL100是一款專為蝕刻鋁目的去設(shè)計的化學(xué)品,STM-AL100的組成有主要蝕刻化學(xué)品,添加劑,輔助化學(xué)品,對于控制蝕刻均勻以及穩(wěn)定的蝕刻速率一定的效果,在長效性的表現(xiàn)上更是無話可說.在化學(xué)特性上,鋁金屬容易受到酸性以及堿性的化學(xué)品攻擊,本化學(xué)品設(shè)計上為酸性配方且完全可被水溶解,故無須再花額外的成本在廢水處理上.用在生產(chǎn)的用途可以調(diào)整藥液溫度來調(diào)整蝕刻速率,所以本化學(xué)品對于初次使用者來說,是簡單容易上手。蘇州BOE蝕刻液的生產(chǎn)廠商。四川蝕刻液訂做價格將蝕刻液通過回流管抽入到一號排液管中,并由進(jìn)液管導(dǎo)入到伸縮管中,直至蝕...
使硝酸鉀儲罐21和其它儲罐的內(nèi)部形成一個密閉的空間,避免環(huán)境外部的雜質(zhì)進(jìn)入儲罐內(nèi),有效的提高了裝置使用的密封性;緊接著,將磷酸與醋酸在個攪拌倉23中充分?jǐn)嚢杌旌暇鶆?,然后在第二個攪拌倉23中與硝酸充分?jǐn)嚢杌旌暇鶆蚝螅龠M(jìn)入配料罐中混合,將陰離子表面活性劑和聚氧乙烯型非離子表面活性劑在第三個攪拌倉23混合后再進(jìn)入第四個攪拌倉23中,與氯化鉀、硝酸鉀、去離子水一起在第四個攪拌倉23中混合均勻,然后過濾后封裝,先檢查過濾板26進(jìn)行更換或安裝,過濾部件9的內(nèi)部兩側(cè)嵌入連接有過濾板26,常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合,其分散混合性能差,蝕刻液雜質(zhì)含量多,過濾板26能將蝕刻液內(nèi)部的...
內(nèi)部頂部兩側(cè)的震蕩彈簧件14,震蕩彈簧件14頂端的運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組13,運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組13頂端的控制面板15,內(nèi)部中間部位的致密防腐桿16和致密防腐桿16內(nèi)部內(nèi)側(cè)的攪動孔17共同組合而成,由于鹽酸硝酸具有較強(qiáng)的腐蝕性,常規(guī)的攪拌裝置容易被腐蝕,影響蝕刻液的質(zhì)量,用防腐蝕的聚四氟乙烯攪拌漿進(jìn)行攪拌,成本過高,且混合的效果不好,通過設(shè)置高效攪拌裝置2,該裝置通過運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組13驅(qū)動旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤12,使旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤12帶動高效攪拌裝置2進(jìn)行旋轉(zhuǎn)搖勻,同時設(shè)置的震蕩彈簧件14可通過驅(qū)動對高效攪拌裝置2進(jìn)行震蕩搖勻,高效攪拌裝置2內(nèi)部的蝕刻液通過內(nèi)置的致密防腐桿16,致密防腐桿16內(nèi)部的攪動孔17能夠使蝕刻液不斷細(xì)...
所述裝置主體的內(nèi)部底部中間部位固定連接有常閉式密封電磁閥,所述連接構(gòu)件的內(nèi)側(cè)固定連接有過濾部件,所述裝置主體的內(nèi)部底端另一側(cè)固定連接有收集倉,所述收集倉的另一側(cè)底部固定連接有密封閥門,所述過濾部件的頂端兩側(cè)活動連接有滑動蓋,所述過濾部件的內(nèi)部中間兩側(cè)固定連接有收縮彈簧管,所述連接構(gòu)件的內(nèi)側(cè)兩端嵌入連接有螺紋管,所述連接構(gòu)件的內(nèi)部中間兩側(cè)活動連接有活動軸,所述連接構(gòu)件的內(nèi)側(cè)中間兩側(cè)嵌入連接有密封軟膠層。推薦的,所述硝酸鉀儲罐的頂部嵌入連接有密封環(huán)。推薦的,所述連接構(gòu)件的兩側(cè)嵌入連接有海綿層。推薦的,所述支撐腿的底端嵌入連接有防滑紋。推薦的,所述過濾部件的內(nèi)部兩側(cè)嵌入連接有過濾板。推薦的,所述過濾...
避免連接構(gòu)件11的兩側(cè)與操作人員的手接觸的時候,會因操作人員的手沾濕出現(xiàn)手滑的情況,有效的保證了裝置內(nèi)部構(gòu)件的連接工作能正常的進(jìn)行。推薦的,支撐腿2的底端嵌入連接有防滑紋6,在制備蝕刻液的時候,需要將裝置固定的特定的位置,通過支撐腿2將裝置主體1進(jìn)行支撐固定,在支撐腿2與固定位置的接觸面接觸時,防滑紋6能增大支撐腿2的底端與固定接觸面的摩擦力,使裝置主體1能有足夠的抓地力固定在固定位置上,有效的提高了裝置固定的防滑性。推薦的,過濾部件9的內(nèi)部兩側(cè)嵌入連接有過濾板26,常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合,其分散混合性能差,蝕刻液雜質(zhì)含量多,過濾板26能將蝕刻液內(nèi)部的雜質(zhì)進(jìn)行過...
本發(fā)明涉及一種用來在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法。背景技術(shù):以往,在蝕刻鈦時一直使用含有氫氟酸或過氧化氫的蝕刻液。例如專利文獻(xiàn)1中提出了一種鈦的蝕刻液,該鈦的蝕刻液是用來在銅或鋁的存在下蝕刻鈦,并且該蝕刻液的特征在于:利用由10重量%至40重量%的過氧化氫、%至5重量%的磷酸、%至%的膦酸系化合物及氨所構(gòu)成的水溶液將pH值調(diào)整為7至9。但是,含有氫氟酸的蝕刻液存在毒性高的問題,含有過氧化氫的蝕刻液存在缺乏保存穩(wěn)定性的問題?,F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本特許第4471094號說明書。技術(shù)實現(xiàn)要素:發(fā)明所要解決的問題本發(fā)明是鑒于所述實際情況而成,其目的在于提供一種...
12、伸縮桿;13、圓環(huán)塊;14、連接桿;15、回流管;16、增壓泵;17、一號排液管;18、一號電磁閥;19、抽氣泵;20、排氣管;21、集氣箱;22、二號排液管;23、二號電磁閥;24、傾斜板;25、活動板;26、蓄水箱;27、進(jìn)水管;28、抽水管;29、三號電磁閥;30、控制面板。具體實施方式下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒景l(fā)明中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。請參閱圖1-5,本發(fā)明提供一種技術(shù)方案:一種...
提高反應(yīng)體系的穩(wěn)定性。當(dāng)體系中加入過氧化氫后有助于提高過氧化氫的穩(wěn)定性,避免由于過氧化氫分解而引發(fā)的,提高生產(chǎn)的安全性。具體實施方式下面結(jié)合實施例,對本發(fā)明的具體實施方式作進(jìn)一步描述。以下實施例用于更加清楚地說明本發(fā)明的技術(shù)方案,而不能以此來限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。一種酸性銅蝕刻液的生產(chǎn)工藝,所述工藝包括以下步驟:第一步:將純水進(jìn)行低溫處理,使純水溫度≤10℃在純水罐中備用;純水罐中設(shè)有通過電路控制的電磁閥,當(dāng)純水溫度高于10℃時,電磁閥無法打開。第二步:配制和準(zhǔn)備原料,將亞氨基二乙酸、氫氟酸和乙醇酸分別投入對應(yīng)的原料罐中,經(jīng)過過濾器循環(huán)過濾,備用;將hno3、四甲基氫氧化銨、h2o2分別投入對...
所述液位計7安裝于所述分離器的外表面。液位計7安裝在方便工作人員查看的位置,有利于提高工作人員工作的效率。在一個實施例中,如圖1所示,所述液位開關(guān)9為控制閥,設(shè)置于所述濾液出口2處??刂崎y為內(nèi)螺紋截止閥,通過旋轉(zhuǎn)操縱盤實現(xiàn)閥門的開關(guān),這種閥結(jié)構(gòu)簡單,維修方便,工作行程小,啟閉時間短,使用壽命長。在一個實施例中,如圖2所示,所述分離器的側(cè)壁上設(shè)有多個視鏡10。分離器側(cè)壁上設(shè)置的視鏡10可以幫助工作人員輔助判斷液位計7的工作狀況。在一個實施例中,如圖1所示,所述加熱器11為盤管式加熱器。盤管式加熱器的受熱更加均勻,加熱效率更高。在一個實施例中,如圖1所示,所述分離器底部為錐體形狀。分離器底部設(shè)置成...
本實用新型有關(guān)于一種擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備,尤其是指一種適用于濕式蝕刻機(jī)的擋液排液功能且增加其透氣性以降低產(chǎn)品損耗的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備。背景技術(shù):請參閱圖1所示,為傳統(tǒng)擋液板結(jié)構(gòu)的整體設(shè)置示意圖,其中一實心pvc板態(tài)樣的擋液板結(jié)構(gòu)a設(shè)置于一濕式蝕刻機(jī)(圖式未標(biāo)示)內(nèi),主要用以阻擋一蝕刻藥液(圖式未標(biāo)示)對設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)a下方的基板(圖式未標(biāo)示)的噴濺而造成蝕刻不均勻的現(xiàn)象,并且在濕式蝕刻的制程步驟中,該基板設(shè)置于二風(fēng)刀b之間,當(dāng)該基板設(shè)置于一輸送裝置(圖式未標(biāo)示)而由該擋液板結(jié)構(gòu)a的左方接受蝕刻藥液蝕刻后移動至風(fēng)刀b之間,該等風(fēng)刀b再噴出一氣體c到該基板的表面以將該基板...
也很難保證拖車在地磅頂部不移動。在地磅的頂部平臺中設(shè)置有兩條卡塊40,卡塊與平臺之間形成一插槽,在地磅的頂部設(shè)置有包括氣缸50和壓緊塊60的氣動夾緊機(jī)構(gòu),壓緊塊位于插槽中,氣缸的伸縮桿與壓緊塊固連。拖車的邊緣沿插槽插入后,氣缸帶動壓緊塊下行將拖車緊緊壓在地磅的頂部。實施例二本實施例基于實施例一。如圖2所示,在拖車的頂部設(shè)置有一圈圍設(shè)在儲存罐外部的護(hù)欄70,以防止其它物品碰撞儲存罐。實施例三本實施例基于實施例一。如圖3所示,在拖車的頂部設(shè)置有一集液盒,儲存罐安裝在集液盒80中,過濾器的出液管及灌裝頭的快速接頭從儲存罐中拔出時滴落的鋁蝕刻液,由集液盒進(jìn)行收集。實施例四本實施例基于實施例一。...
鋁板面蝕刻用:酸、堿都行。(鋁板是兩性材料,既能與酸反應(yīng),又能與堿反應(yīng),所以腐蝕液有的用堿性材料腐蝕,有的用酸性材料腐蝕,一般情況下,以酸性材料腐蝕的為多,堿性材料可以洗白。下好料的鋁板用棗木碳研磨,去掉油膩、劃痕,磨出啞光表面。然后用絲網(wǎng)版印上紋樣,油墨型號為80-39、80-59、80-49等。這種耐腐蝕油墨細(xì)膩,印出的紋樣質(zhì)量高。印完紋樣后放進(jìn)電爐內(nèi)烘干,然后用即時貼封住后面,用膠帶封邊,進(jìn)入腐蝕工藝。鋁板的腐蝕液配方如下:三氯化鐵50%硫酸銅50%水適量,波美度15~20°之間,鋁板腐蝕時應(yīng)平放,在腐蝕的過程中紋樣上溢出赭紅色的滓渣,應(yīng)隨時用毛刷去掉,鋁面上冒出大量泡泡,滓渣隨泡泡浮起...
當(dāng)該風(fēng)刀裝置40的***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42為了減少該基板20上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時,該氣體43碰到該擋液板結(jié)構(gòu)10后部分會往該復(fù)數(shù)個宣泄孔121流動,并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出,除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的蝕刻不均現(xiàn)象,亦可達(dá)到以破真空的原理避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問題;此外,為了避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題,因此,該復(fù)數(shù)個宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,即可因毛細(xì)現(xiàn)象的作用,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內(nèi)的夾角θ等于該水滴與...
內(nèi)嵌觀察窗402通過觀察窗翻折滾輪401內(nèi)嵌入裝置內(nèi)部,工作人員可通過內(nèi)嵌的透明窗對內(nèi)部的制備狀況進(jìn)行實時查看,從而很好的體現(xiàn)了該裝置的實時性。推薦的,鹽酸裝罐7的頂端嵌入連接有熱水流入漏斗9,在進(jìn)行制備時需要向鹽酸裝罐7內(nèi)倒入一定比例的熱水進(jìn)行均勻調(diào)和,由于熱水與鹽酸接觸會產(chǎn)生較為劇烈的反應(yīng),濺出容易傷害工作人員,通過設(shè)置熱水流入漏斗9,工作人員可沿著熱水流入漏斗9將熱水緩緩倒入鹽酸內(nèi),從而很好的減小了發(fā)生反應(yīng)的劇烈程度,很好的起到了保護(hù)作用。推薦的,裝置底座5的內(nèi)部兩側(cè)緊密焊接有加固支架10,由于制備裝置為一體化裝置,承載設(shè)備較多,質(zhì)量較重,對底座會產(chǎn)生較大的壓力,通過設(shè)置加固支架...
為本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其二較佳實施例的宣泄孔排列示意圖,以及其三較佳實施例的宣泄孔排列示意圖,在本實用新型其二較佳實施例中,開設(shè)于該第二擋板12上的宣泄孔121亦呈千鳥排列的直通孔態(tài)樣,且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離,例如:圖4中所示的w1,其中w1大于圖3的w或圖5的w2,其中w2大于w,而該宣泄孔121的一孔徑a0亦小于3mm,以使該宣泄孔121的孔洞內(nèi)產(chǎn)生毛細(xì)現(xiàn)象,若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現(xiàn)時,則該水滴不至于經(jīng)由該宣泄孔121落至下表面,但仍舊可以提供空氣宣泄的管道,以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上、下二端部的壓力。此外,請參閱圖6與圖7所示...
技術(shù)實現(xiàn)要素:本實用新型的目的在于提供高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,以解決上述背景技術(shù)中提出密封性差,連接安裝步驟繁瑣的問題。為實現(xiàn)上述目的,本實用新型提供如下技術(shù)方案:高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,包括裝置主體、支撐腿、電源線和單片機(jī),所述裝置主體的底端固定連接有支撐腿,所述裝置主體的后面一側(cè)底部固定連接有電源線,所述裝置主體的一側(cè)中間部位固定連接有控制器,所述裝置主體的內(nèi)部底端一側(cè)固定連接有單片機(jī),所述裝置主體的頂部一端固定連接有去離子水儲罐,所述裝置主體的頂部一側(cè)固定連接有磷酸儲罐,所述磷酸儲罐的底部固定連接有攪拌倉,所述攪拌倉的內(nèi)部頂部固定連接有攪拌電機(jī),所述攪...
銅蝕刻液近期成為重要的微電子化學(xué)品產(chǎn)品,廣泛應(yīng)用于平板顯示、LED制造及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。隨著新技術(shù)的不斷進(jìn)步,對該蝕刻液也有了更高的要求。并且之前市場上的銅蝕刻液成分普遍存在含氟、硝酸或高濃度雙氧水的情況。在此基礎(chǔ)上我司自主進(jìn)行了無氟,無硝酸,低雙氧水濃度銅蝕刻液的研發(fā),并可兼容于不同CuMo鍍膜厚度之工藝。產(chǎn)品特點:1.6%雙氧水濃度的銅蝕刻液lifetime可至7000ppm。2.末期銅蝕刻液工藝溫度(32)下可穩(wěn)定72H,常溫可穩(wěn)定120H;無暴沸現(xiàn)象。3.銅蝕刻液CD-Loss均一性良好,taper符合制程要求。4.銅蝕刻液可兼容MoCu結(jié)構(gòu)不同膜厚度的機(jī)種。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司專...
鋁蝕刻液是鋁蝕刻液STM-AL100。根據(jù)查詢相關(guān)信息顯示:鋁蝕刻液STM-AL100是一款專為蝕刻鋁目的去設(shè)計的化學(xué)品,STM-AL100的組成有主要蝕刻化學(xué)品,添加劑,輔助化學(xué)品,對于控制蝕刻均勻以及穩(wěn)定的蝕刻速率一定的效果,在長效性的表現(xiàn)上更是無話可說.在化學(xué)特性上,鋁金屬容易受到酸性以及堿性的化學(xué)品攻擊,本化學(xué)品設(shè)計上為酸性配方且完全可被水溶解,故無須再花額外的成本在廢水處理上.用在生產(chǎn)的用途可以調(diào)整藥液溫度來調(diào)整蝕刻速率,所以本化學(xué)品對于初次使用者來說,是簡單容易上手。選擇博洋蝕刻液,提升蝕刻效率,降低成本。佛山銀蝕刻液蝕刻液銷售電話 對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完...
負(fù)的值表示厚度減小。上述蝕刻液組合物以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征,上述氧化物膜推薦包含sio2,上述氮化物膜推薦包含sin。上述蝕刻液組合物用于3dnand閃存制造工序,能夠使上述氮化物膜去除工序中發(fā)生的副反應(yīng)氧化物的殘留和氧化物膜損傷不良問題**少化。本發(fā)明的蝕刻液組合物包含如上選擇的添加劑,在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜時,能夠使因副反應(yīng)氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良(參照圖2)以及氮化物膜雖被完全去除但也造成氧化物膜損傷(damage)的工序不良(參照圖3)的發(fā)生**少化。因副反應(yīng)氧化物的殘留時間變長而氮化物...