銅蝕刻液近期成為重要的微電子化學品產(chǎn)品,廣泛應用于平板顯示、LED制造及半導體制造領域。隨著新技術的不斷進步,對該蝕刻液也有了更高的要求。并且之前市場上的銅蝕刻液成分普遍存在含氟、硝酸或高濃度雙氧水的情況。在此基礎上我司自主進行了無氟,無硝酸,低雙氧水濃度銅蝕刻液的研發(fā),并可兼容于不同CuMo鍍膜厚度之工藝。產(chǎn)品特點:1.6%雙氧水濃度的銅蝕刻液lifetime可至7000ppm。2.末期銅蝕刻液工藝溫度(32)下可穩(wěn)定72H,常溫可穩(wěn)定120H;無暴沸現(xiàn)象。3.銅蝕刻液CD-Loss均一性良好,taper符合制程要求。4.銅蝕刻液可兼容MoCu結構不同膜厚度的機種。天馬微電子用的哪家的蝕刻液?池州哪家蝕刻液蝕刻液按需定制
更推薦滿足。參照圖4,在添加劑(硅烷系偶聯(lián)劑)的aeff處于,能夠使因副反應氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良**少化,在硅烷系偶聯(lián)劑的aeff處于,能夠使氧化物膜損傷不良**少。因此,在利用上述范圍所重疊范圍(規(guī)格(spec)滿足區(qū)間)即aeff為2以上,能夠使因副反應氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良以及氧化物膜損傷不良**少化。在上述添加劑的aeff值處于上述范圍內(nèi)的情況下,上述添加劑可以具有適宜水平的防蝕能力,由此,即使沒有消耗費用和時間的實際的實驗過程,也能夠選擇具有目標防蝕能力的硅烷系偶聯(lián)劑等添加劑。本發(fā)明的上述硅烷系偶聯(lián)劑等添加劑推薦按照保護對象膜(氧化物膜)的蝕刻程度(etchingamount,e/a)滿足以上以下的范圍的濃度來添加。例如,對于包含氧化物膜(例如,sio2)和上述氧化物膜上的氮化物膜(例如,sin)的膜在160℃以添加劑濃度1000ppm基準處理10,000秒的情況下,推薦按照保護對象膜的蝕刻程度(etchingamount,e/a)滿足以上以下的范圍的濃度添加。本發(fā)明的添加劑的防蝕能力可以通過上述添加劑的aeff值與濃度之積來計算,由蝕刻程度(etchingamount,e/a)來表示。蝕刻程度的正的值表示蝕刻工序后厚度增加。綿陽格林達蝕刻液批量定制平板顯示用的蝕刻液有哪些;
可以充分的將蝕刻液中的亞銅離子電解轉(zhuǎn)化為金屬銅,起到循環(huán)電解蝕刻液的作用;裝置主體1左端表面靠近上端固定安裝有抽氣泵19,抽氣泵19下方設置有集氣箱21,集氣箱21與抽氣泵19之間連接有排氣管20,電解池4下端連接有二號排液管22,二號排液管22內(nèi)部上端設置有二號電磁閥23,裝置主體1內(nèi)部底端靠近左側設置有傾斜板24,裝置主體1前端表面靠近左上邊角位置設置有活動板25,分隔板2右端放置有蓄水箱26,蓄水箱26上端靠近右側連接有進水管27,回流管15下端連接有抽水管28,抽水管28內(nèi)部上端設置有三號電磁閥29,裝置主體1前端表面靠近右側安裝有控制面板30,傾斜板24的傾斜角度設計為10°,活動板25前端設置有握把,活動板25與裝置主體1之間設置有鉸鏈,且活動板25通過鉸鏈活動安裝在裝置主體1前端,控制面板30的輸出端分別與增壓泵16、一號電磁閥18、二號電磁閥23和三號電磁閥29的輸入端呈電性連接,通過設置有集氣箱21與蓄水箱26,能夠在電解蝕刻液結束后,啟動抽氣泵19,將電解池4中產(chǎn)生的有害氣體抽入到排氣管20并導入到集氣箱21中,實現(xiàn)有害氣體的清理,接著啟動增壓泵16并打開三號電磁閥29,將蓄水箱26中的清水通過抽水管28抽入到進液管8中。
本實用新型涉及一種鋁蝕刻液生產(chǎn)設備。背景技術:鋁蝕刻液生產(chǎn)設備主要包括混合罐、過濾器和儲存罐,將蝕刻液中的各組份在混合罐混合均勻,由過濾器濾去雜質(zhì)后投入儲存罐中暫存,然后分裝銷售。以往,鋁蝕刻液的分裝由人工操作,隨著自動化技術的興起,全自動灌裝線在鋁蝕刻液生產(chǎn)企業(yè)得到廣泛應用,但是,我司的鋁蝕刻液生產(chǎn)車間面積較小,無法放置自動灌裝線,所以需要對現(xiàn)有的生產(chǎn)設備進行改造,以實現(xiàn)鋁蝕刻液的全自動灌裝。技術實現(xiàn)要素:本實用新型提出了一種鋁蝕刻液生產(chǎn)設備,以解決上述背景技術中提出的問題。為達前述目的,本實用新型提供的技術方案如下:鋁蝕刻液生產(chǎn)設備,包括混合罐、過濾器、數(shù)個儲存罐、數(shù)輛液壓升降式拖車和地磅,所述混合罐通過液管與所述過濾器連接,所述過濾器的出液口處安裝有氣動升降式出液管,每個所述儲存罐固定在對應的拖車頂部,所述儲存罐的進液口和出液口處安裝有單向液動閥,所述地磅位于所述過濾器的下方,所述地磅的頂部設置有將所述拖車固定的氣動夾緊機構。在本技術方案中,載有空儲存罐的拖車置于地磅上方,過濾器的出液管自動下行插入儲存罐的進液口中,當?shù)匕跛鶞y得的重量達到系統(tǒng)預設重量時。蝕刻液的主要成分是什么?
將蝕刻液通過回流管抽入到一號排液管中,并由進液管導入到伸縮管中,直至蝕刻液由噴頭重新噴到電解池中,可以充分的將蝕刻液中的亞銅離子電解轉(zhuǎn)化為金屬銅,起到循環(huán)電解蝕刻液的作用;該回收處理裝置通過設置有伸縮管與伸縮桿,能夠在蝕刻液通過進液管流入到電解池中時,啟動液壓缸帶動伸縮桿向上移動,從而通過圓環(huán)塊配合伸縮管帶動噴頭向上移動,進而將蝕刻液緩慢的由噴頭噴入到電解池中,避免蝕刻液對電解池造成沖擊而影響其使用壽命,具有保護電解池的功能;該回收處理裝置通過設置有集氣箱與蓄水箱,能夠在電解蝕刻液結束后,啟動抽氣泵,將電解池中產(chǎn)生的有害氣體抽入到排氣管并導入到集氣箱中,實現(xiàn)有害氣體的清理,接著啟動增壓泵并打開三號電磁閥,將蓄水箱中的清水通過抽水管抽入到進液管中,將裝置主體內(nèi)部的蝕刻液進行清洗,具有很好的清理作用。附圖說明圖1為本發(fā)明的整體結構示意圖;圖2為本發(fā)明的內(nèi)部結構示意圖;圖3為本發(fā)明圖2中a的示意圖;圖4為本發(fā)明圖3的整體示意圖;圖5為本發(fā)明電解池的結構示意圖。圖中:1、裝置主體;2、分隔板;3、承載板;4、電解池;5、隔膜;6、進液漏斗;7、過濾網(wǎng);8、進液管;9、伸縮管;10、噴頭;11、液壓缸。哪家的蝕刻液蝕刻效果好?成都蝕刻液私人定做
蝕刻液的分類有哪些;池州哪家蝕刻液蝕刻液按需定制
所述制備裝置主體的內(nèi)部中間部位活動連接有高效攪拌裝置,所述制備裝置主體的一側中間部位嵌入連接有翻折觀察板,所述制備裝置主體的底端固定連接有裝置底座,所述裝置底座的內(nèi)部底部固定連接有成品罐,所述裝置底座的頂端一側固定連接有鹽酸裝罐,所述裝置底座的頂端另一側固定連接有硝酸裝罐,所述高效攪拌裝置的內(nèi)部頂部中間部位活動連接有旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤,所述高效攪拌裝置的內(nèi)部頂部兩側活動連接有震蕩彈簧件,所述震蕩彈簧件的頂端固定連接有運轉(zhuǎn)電機組,所述運轉(zhuǎn)電機組的頂端電性連接有控制面板,所述高效攪拌裝置的內(nèi)部中間部位固定連接有致密防腐桿,所述致密防腐桿的內(nèi)部內(nèi)側貫穿連接有攪動孔,所述鹽酸裝罐的內(nèi)部一側嵌入連接有嵌入引流口,所述嵌入引流口的一端固定連接有負壓引流器,所述負壓引流器的一端固定連接有注入量控制容器,所述注入量控制容器的內(nèi)部內(nèi)側固定連接有注入量觀察刻度線,所述注入量控制容器的一側嵌入連接有限流銷。推薦的,所述翻折觀察板的內(nèi)部頂部活動連接有觀察窗翻折滾輪,所述觀察窗翻折滾輪的底端活動連接有內(nèi)嵌觀察窗。推薦的,所述鹽酸裝罐的頂端嵌入連接有熱水流入漏斗。推薦的,所述裝置底座的內(nèi)部兩側緊密焊接有加固支架。池州哪家蝕刻液蝕刻液按需定制