實(shí)時(shí)測(cè)量:可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和數(shù)據(jù)采集,適合動(dòng)態(tài)測(cè)量。廣泛應(yīng)用:廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、機(jī)械工程、光學(xué)測(cè)量、精密制造等領(lǐng)域。工作原理:雙頻激光干涉儀的基本原理是利用激光的相干性和干涉現(xiàn)象。當(dāng)兩束不同頻率的激光光束經(jīng)過(guò)分束器分開后,經(jīng)過(guò)被測(cè)物體的反射或透射后再合并,形成干涉條紋。通過(guò)分析干涉條紋的變化,可以得到被測(cè)物體的位移信息。結(jié)論:雙頻激光干涉儀是一種高精度、高靈敏度的測(cè)量工具,適用于各種科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用。隨著激光技術(shù)和數(shù)據(jù)處理技術(shù)的發(fā)展,雙頻激光干涉儀的應(yīng)用范圍和測(cè)量精度將不斷提高。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源,由于它的相干長(zhǎng)度很大,干涉儀的測(cè)量范圍可以擴(kuò)展;吳中區(qū)定制雙頻激光干涉儀維保
多普勒效應(yīng):當(dāng)測(cè)量鏡移動(dòng)時(shí),測(cè)量光的頻率變?yōu)閒1±Δf,與參考光f2干涉后形成差頻信號(hào)|(f1±Δf)-f2|,該信號(hào)反映出位移引起的頻率變化。信號(hào)檢測(cè):光電探測(cè)器將光信號(hào)轉(zhuǎn)為電信號(hào),經(jīng)電路處理提取差頻變化量,然后通過(guò)相位比較或脈沖計(jì)數(shù)來(lái)計(jì)算位移。二、主要特點(diǎn)精度高:雙頻激光干涉儀以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量,即使不做細(xì)分也可達(dá)到微米(μm)量級(jí),細(xì)分后更可達(dá)到納米(nm)量級(jí)。應(yīng)用范圍廣:雙頻激光干涉儀可用于長(zhǎng)度的精密測(cè)量,配上適當(dāng)?shù)母郊€可測(cè)量角度、直線度、平面度、振動(dòng)距離及速度等。吳中區(qū)定制雙頻激光干涉儀維保現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測(cè)速普遍達(dá)到1m/s,有的甚至于十幾m/s,適于高速動(dòng)態(tài)測(cè)量。
激光干涉儀具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,包括但不限于:科學(xué)研究:用于檢測(cè)引力波、測(cè)量微小位移和振動(dòng)等。工業(yè)制造:用于精密機(jī)械加工、質(zhì)量控制和機(jī)床校準(zhǔn)等。在機(jī)床校準(zhǔn)中,激光干涉儀能夠測(cè)量機(jī)床的線性定位誤差、直線度誤差、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角等,以及速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù),并評(píng)估機(jī)床的動(dòng)態(tài)特性。計(jì)量學(xué):用于長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)的校準(zhǔn)。通信:用于光纖傳感和信號(hào)處理。四、主要特點(diǎn)高精度:激光干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)的測(cè)量精度,非常適合各種高精度測(cè)量應(yīng)用。
1. 同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器3. 可選的無(wú)線遙控傳感器**長(zhǎng)的控制距離可到25米4. 可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù),并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性5. 全套系統(tǒng)重量*15公斤,設(shè)計(jì)緊湊、體積小,測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架6. 集成干涉鏡與激光器于一體,簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟,減少了調(diào)整時(shí)間7、激光干涉儀可以同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角等,以及測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù),并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性等。雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。
反射光和透射光分別垂直入射到全反射鏡M1和M2,它們經(jīng)反射后回到G1(左)的半透半反射膜處,再分別經(jīng)過(guò)透射和反射后,來(lái)到觀察區(qū)域E。G2(右)為補(bǔ)償板,它與G1為相同材料,有相同的厚度,且平行安裝,目的是要使參加干涉的兩光束經(jīng)過(guò)玻璃板的次數(shù)相等,兩束光在到達(dá)觀察區(qū)域E時(shí)沒(méi)有因玻璃介質(zhì)而引入額外的光程差。當(dāng)M2和M1'嚴(yán)格平行時(shí),表現(xiàn)為等傾干涉的圓環(huán)形條紋,移動(dòng)M2時(shí),會(huì)不斷從干涉的圓環(huán)中心“吐出”或向中心“吞進(jìn)”圓環(huán)。兩平面鏡之間的“空氣間隙”距離增大時(shí),中心就會(huì)“吐出”一個(gè)個(gè)條紋;反之則“吞進(jìn)”。M2和M1'不嚴(yán)格平行時(shí),則表現(xiàn)為等厚干涉條紋,移動(dòng)M2時(shí),條紋不斷移過(guò)視場(chǎng)中某一標(biāo)記位置,M2平移距離 d 與條紋移動(dòng)數(shù) N 的關(guān)系滿足:d=Nλ/2,λ為入射光波長(zhǎng)。利用多普勒效應(yīng),計(jì)數(shù)器計(jì)頻率差的變化,不受激光強(qiáng)度和磁場(chǎng)變化的影響。工業(yè)園區(qū)購(gòu)買雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)
光束分割:通過(guò)分束器將激光束分成兩部分,通常稱為參考光束和測(cè)量光束。吳中區(qū)定制雙頻激光干涉儀維保
干涉儀是一種使用干涉測(cè)量技術(shù)的光學(xué)計(jì)量?jī)x器,其思想在于利用波的疊加性來(lái)獲取波的相位信息,從而獲得實(shí)驗(yàn)所關(guān)心的物理量。以下是對(duì)干涉儀的詳細(xì)介紹:一、基本原理具有固定相位差的兩列準(zhǔn)單色波的疊加將導(dǎo)致振幅發(fā)生變化,從而可以通過(guò)測(cè)量較容易測(cè)量的振幅來(lái)獲取波的相位信息。由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數(shù),這種幅度的變化有時(shí)候在空間表現(xiàn)為周期性的條紋,即干涉條紋?;緲?gòu)成干涉儀一般由光源、分束器、反射鏡、干涉屏(或檢測(cè)器)等組成。光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)分束器被分成兩束,分別經(jīng)由反射鏡反射回來(lái),并在干涉屏(或檢測(cè)器)上產(chǎn)生干涉圖樣。其中,各元件的功能如下:吳中區(qū)定制雙頻激光干涉儀維保
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