昆山安裝雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

來源: 發(fā)布時間:2025-08-27

干涉儀是一種使用干涉測量技術的光學計量儀器,其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息,從而獲得實驗所關心的物理量。以下是對干涉儀的詳細介紹:一、基本原理具有固定相位差的兩列準單色波的疊加將導致振幅發(fā)生變化,從而可以通過測量較容易測量的振幅來獲取波的相位信息。由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數(shù),這種幅度的變化有時候在空間表現(xiàn)為周期性的條紋,即干涉條紋?;緲嫵筛缮鎯x一般由光源、分束器、反射鏡、干涉屏(或檢測器)等組成。光源發(fā)出的光經(jīng)過分束器被分成兩束,分別經(jīng)由反射鏡反射回來,并在干涉屏(或檢測器)上產(chǎn)生干涉圖樣。其中,各元件的功能如下:用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源,由于它的相干長度很大,干涉儀的測量范圍可以擴展;昆山安裝雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

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反射光和透射光分別垂直入射到全反射鏡M1和M2,它們經(jīng)反射后回到G1(左)的半透半反射膜處,再分別經(jīng)過透射和反射后,來到觀察區(qū)域E。G2(右)為補償板,它與G1為相同材料,有相同的厚度,且平行安裝,目的是要使參加干涉的兩光束經(jīng)過玻璃板的次數(shù)相等,兩束光在到達觀察區(qū)域E時沒有因玻璃介質(zhì)而引入額外的光程差。當M2和M1'嚴格平行時,表現(xiàn)為等傾干涉的圓環(huán)形條紋,移動M2時,會不斷從干涉的圓環(huán)中心“吐出”或向中心“吞進”圓環(huán)。兩平面鏡之間的“空氣間隙”距離增大時,中心就會“吐出”一個個條紋;反之則“吞進”。M2和M1'不嚴格平行時,則表現(xiàn)為等厚干涉條紋,移動M2時,條紋不斷移過視場中某一標記位置,M2平移距離 d 與條紋移動數(shù) N 的關系滿足:d=Nλ/2,λ為入射光波長。蘇州本地雙頻激光干涉儀維保常見的類型包括邁克爾遜干涉儀、法布里-佩涉儀和激光位移傳感器等。

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(1)幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。(2)位置精度的檢測及其自動補償 可檢測數(shù)控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節(jié)省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數(shù),使機床達到比較好精度,另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。

激光干涉儀具有廣泛的應用領域,包括但不限于:科學研究:用于檢測引力波、測量微小位移和振動等。工業(yè)制造:用于精密機械加工、質(zhì)量控制和機床校準等。在機床校準中,激光干涉儀能夠測量機床的線性定位誤差、直線度誤差、偏擺角、俯仰角和滾動角等,以及速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機床的動態(tài)特性。計量學:用于長度標準的校準。通信:用于光纖傳感和信號處理。四、主要特點高精度:激光干涉儀能夠實現(xiàn)亞納米級的測量精度,非常適合各種高精度測量應用。起初用于高精度的磨床、鏜床和坐標測量機上,以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中。

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環(huán)境適應力強即使光強衰減90%,仍然可以得到有效的干涉信號。由于這一特點,雙頻激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內(nèi)檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準器和坐標測量機,也可以在普通的車間內(nèi)為大型的機床的刻度進行標定。實時動態(tài)測速高現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s,有的甚至于十幾m/s,適于高速動態(tài)測量。雙頻激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀**終擺脫了計量室的束縛,更為廣泛的應用于工業(yè)生產(chǎn)和科學研究中因此,對于雙頻激光干涉儀的研究有利于提高對該儀器的了解,以致于改進其性能,使其在計量方面有著更加廣泛的應用,具有重大意義。光程傳播:參考光束和測量光束分別經(jīng)過不同的路徑,可能會經(jīng)過被測物體或介質(zhì)。吳中區(qū)安裝雙頻激光干涉儀單價

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發(fā)展的一種外差式干涉儀。昆山安裝雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

另一方面,當可動棱鏡移動時,前者的干涉信號是在**亮和**暗之間緩慢變化的信號,而后者的干涉信號是使原有的交流信號頻率增加或減少了△f,結果依然是一個交流信號。因而對于雙頻激光干涉儀來說,可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進行放大,這樣,即使光強衰減90%,依然可以得到合適的電信號。精度高雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。即使不做細分也可達到μm量級,細分后更可達到nm量級。應用范圍廣雙頻激光干涉儀除了可用于長度的精密測量外,配上適當?shù)母郊€可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等等昆山安裝雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

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