渦輪分子泵機(jī)組是目前能夠達(dá)到超高真空的主要設(shè)備之一,其較高真空度可達(dá)10?11Pa。渦輪分子泵通過高速旋轉(zhuǎn)的葉片(轉(zhuǎn)速可達(dá)24000-60000r/min)與氣體分子發(fā)生碰撞,將氣體分子推向排氣口,實(shí)現(xiàn)抽氣。由于其工作不依賴工作介質(zhì)的密封,而是通過分子動(dòng)量傳遞,理論上可以達(dá)到極高的真空度。渦輪分子泵機(jī)組通常需要旋片泵或干泵作為前級(jí)泵,前級(jí)泵先將系統(tǒng)壓力抽到10?1Pa以下,為渦輪分子泵的啟動(dòng)和穩(wěn)定運(yùn)行創(chuàng)造條件。在實(shí)際應(yīng)用中,渦輪分子泵機(jī)組的較高真空度還受到系統(tǒng)放氣、材料出氣等因素的影響,但在經(jīng)過充分烘烤除氣等處理的系統(tǒng)中,完全可以達(dá)到10?11Pa的超高真空,滿足半導(dǎo)體芯片制造、高能物理實(shí)驗(yàn)、航天模擬等品質(zhì)領(lǐng)域的需求。華中真空設(shè)備始終秉承“誠信為本,敬業(yè)至上”的企業(yè)中心價(jià)值觀。甘肅螺桿真空機(jī)組價(jià)格
單級(jí)旋片泵的抽氣速率一般為1-200L/s,雙級(jí)泵可達(dá)0.5-100L/s,其抽速曲線在103-10?1Pa區(qū)間保持穩(wěn)定。旋片泵的抽速受泵油狀態(tài)影響較大,油污染會(huì)導(dǎo)致抽速下降——當(dāng)油中含水量超過5%時(shí),抽速可降低20%以上。在實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)中,旋片機(jī)組因結(jié)構(gòu)緊湊、抽速穩(wěn)定被廣泛應(yīng)用。某材料實(shí)驗(yàn)室的真空燒結(jié)爐采用雙級(jí)旋片泵(抽速20L/s),配合擴(kuò)散泵組成高真空系統(tǒng),在10?3Pa時(shí)仍能保持穩(wěn)定抽速,滿足陶瓷材料燒結(jié)的工藝要求。但在處理含氧量高的氣體時(shí),需選用抗氧化泵油,否則會(huì)因油膜失效導(dǎo)致抽速衰減。山西水環(huán)真空機(jī)組價(jià)格山東華中以客戶的利益為出發(fā)點(diǎn),滿足客戶個(gè)性化的要求,為客戶創(chuàng)造更多價(jià)值。
高真空,10?1Pa-10??Pa,深度抽除殘余氣體,控制氣體分子碰撞,擴(kuò)散泵機(jī)組、渦輪分子泵-旋片泵組合機(jī)組,真空鍍膜(10?3-10??Pa)、電子束焊接(10?3-10??Pa)、真空冶煉(10?2-10??Pa)。超高真空,<10??Pa,降低氣體分子密度,控制材料放氣,渦輪分子泵-離子泵組合機(jī)組、低溫泵機(jī)組,半導(dǎo)體光刻(10??-10?1?Pa)、航天環(huán)境模擬(10??-10?11Pa)、量子物理實(shí)驗(yàn)(10?1?-10?12Pa)。這種適配關(guān)系源于機(jī)組的重點(diǎn)性能——水環(huán)泵在10?-103Pa區(qū)間抽速穩(wěn)定但受限于水蒸氣壓;羅茨泵在10?-10?Pa可明顯提升抽速;渦輪分子泵則在10?1Pa以下展現(xiàn)優(yōu)勢。
控制系統(tǒng)根據(jù)設(shè)定真空度值,通過調(diào)節(jié)泵轉(zhuǎn)速、閥門開度等方式,精確控制氣體抽出速率,維持系統(tǒng)真空度穩(wěn)定在特定值。如在半導(dǎo)體制造設(shè)備中,需將真空度穩(wěn)定維持在10^-9Pa,控制系統(tǒng)會(huì)根據(jù)測量裝置反饋,實(shí)時(shí)調(diào)整分子泵轉(zhuǎn)速與相關(guān)閥門狀態(tài),保證生產(chǎn)過程中真空環(huán)境穩(wěn)定。低真空機(jī)組:對(duì)于低真空度要求(10^5-10^2Pa),常見配置為單級(jí)旋片泵或水環(huán)泵。如食品真空包裝機(jī),單級(jí)旋片泵通過旋片旋轉(zhuǎn)抽氣,將包裝腔內(nèi)空氣抽出,達(dá)到約-0.1MPa(接近10^5Pa)真空度,完成食品包裝。工作時(shí),泵持續(xù)運(yùn)行,保持包裝腔內(nèi)真空度穩(wěn)定,防止外界空氣進(jìn)入影響食品保質(zhì)期。面對(duì)變幻莫測的市場,只有客戶的價(jià)值得到體現(xiàn),才是華中真空設(shè)備的體現(xiàn)。
需要注意的是,抽氣速率是壓強(qiáng)的函數(shù),同一臺(tái)泵在不同壓強(qiáng)下的抽氣速率存在明顯差異,這也是理解抽氣速率的關(guān)鍵前提。抽氣速率與入口壓強(qiáng)的關(guān)系曲線(S-P曲線)是直觀反映真空機(jī)組性能的重要工具。典型的S-P曲線呈現(xiàn)三段特征:在大氣壓強(qiáng)至103Pa區(qū)間,抽氣速率隨壓強(qiáng)降低快速上升并趨于穩(wěn)定;在103-10?1Pa區(qū)間,抽氣速率保持基本恒定(稱為額定抽氣速率);當(dāng)壓強(qiáng)低于10?1Pa后,抽氣速率隨壓強(qiáng)降低逐漸下降,直至達(dá)到極限真空度時(shí)趨于零。華中真空設(shè)備與客戶攜手共進(jìn),合作共贏,創(chuàng)造更加美好的明天!甘肅螺桿真空機(jī)組價(jià)格
山東華中愿意與所有合作伙伴一同努力,在真空設(shè)備行業(yè)中與時(shí)俱進(jìn)、不斷超越。甘肅螺桿真空機(jī)組價(jià)格
各類機(jī)組的抽氣機(jī)制存在本質(zhì)差異:羅茨泵和旋片泵屬于“容積式”,通過改變腔室體積實(shí)現(xiàn)抽氣;水環(huán)泵屬于“液環(huán)式”,利用液體形成的動(dòng)態(tài)密封腔抽氣;渦輪分子泵屬于“動(dòng)量傳遞式”,通過分子碰撞轉(zhuǎn)移氣體。這種區(qū)別導(dǎo)致它們對(duì)氣體類型的適應(yīng)性不同:容積式機(jī)組不適合含大量水汽的氣體(易導(dǎo)致密封失效),液環(huán)式適合濕氣體但受介質(zhì)限制,動(dòng)量傳遞式對(duì)氣體分子量敏感但潔凈度高。例如在鋰電池干燥工藝中,水環(huán)機(jī)組可處理電極材料釋放的大量水汽,但無法達(dá)到100Pa以下真空;旋片機(jī)組能達(dá)到1Pa但油蒸氣會(huì)污染電極;而渦輪分子機(jī)組雖潔凈但抽速不足,實(shí)際應(yīng)用中常采用“水環(huán)粗抽+羅茨提速+干式螺桿泵精抽”的組合方案,兼顧效率與潔凈度。甘肅螺桿真空機(jī)組價(jià)格