江蘇抽真空機組

來源: 發(fā)布時間:2025-08-27

渦輪分子泵-離子泵組合機組,適配真空度:10??-10?11Pa(極限約10?11Pa),重點優(yōu)勢:渦輪分子泵負責(zé)抽氣初期,離子泵維持超高真空(無油、無振動),典型應(yīng)用:半導(dǎo)體光刻(需10??-10?1?Pa)、量子芯片制備(需10??-10?11Pa),選型注意:需烘烤除氣(150-200℃持續(xù)24小時),離子泵需在10??Pa以下啟動。低溫泵-渦輪分子泵組合機組,適配真空度:10??-10?12Pa(極限約10?12Pa),重點優(yōu)勢:抽速大(對水蒸氣抽速可達10?L/s),適合快速建立超高真空,典型應(yīng)用:航天空間環(huán)境模擬艙(需10??-10?11Pa)、X射線望遠鏡(需10?1?-10?12Pa),選型注意:需液氮供應(yīng)(消耗約10L/h),再生周期約100小時(需備用機組)。淄博華中真空設(shè)備有限公司產(chǎn)品制造精良,配置檔次高,售后服務(wù)及時。江蘇抽真空機組

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真空度的科學(xué)分級是選型的基礎(chǔ)。根據(jù)國際通用標(biāo)準(zhǔn),真空環(huán)境按壓強范圍分為四級,每級對應(yīng)特定的機組類型及應(yīng)用場景:真空度等級,壓強范圍,重點需求特征,典型適用機組,代表性應(yīng)用場景,低真空。101325Pa-100Pa,快速建立粗真空,耐受大量氣體負載,水環(huán)真空泵機組、單級旋片泵機組、羅茨泵-水環(huán)泵組合機組,食品真空包裝(10?-103Pa)、真空成型(10?-10?Pa)、真空過濾(10?-103Pa)。中真空,100Pa-10?1Pa,穩(wěn)定維持中等真空,需平衡抽速與真空度,雙級旋片泵機組、羅茨泵-旋片泵組合機組、干式螺桿泵機組,真空鍍膜預(yù)處理(102-10?Pa)、真空干燥(103-101Pa)、真空釬焊(101-10?1Pa)。東營羅茨螺桿真空機組華中真空多年來“以質(zhì)量為先導(dǎo),以微利求生存”,重合同,守信用。

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前級泵的抽氣速率也需要與主泵相匹配。如果前級泵的抽氣速率過小,無法及時將主泵排出的氣體抽出,會導(dǎo)致主泵排氣口壓力升高,影響主泵的正常工作。因此,在選擇前級泵時,需要根據(jù)主泵的排氣量和極限真空度要求,選擇合適抽氣速率和極限真空度的前級泵,以保證兩者的良好匹配。環(huán)境因素也會對真空機組的較高真空度產(chǎn)生一定的影響,主要包括環(huán)境溫度、濕度和大氣壓力等。環(huán)境溫度的變化會影響系統(tǒng)內(nèi)氣體的壓強和材料的放氣率。溫度升高時,氣體分子的熱運動加劇,系統(tǒng)內(nèi)氣體壓強會升高。

同時,材料的放氣率也會增加,從而增加氣體負載,不利于較高真空度的實現(xiàn)。因此,在高精度真空應(yīng)用中,通常需要對真空機組和系統(tǒng)進行恒溫控制,以減少溫度變化對真空度的影響。環(huán)境濕度較高時,空氣中的水蒸氣含量大,這些水蒸氣會進入真空系統(tǒng),增加可凝性氣體的負載。水蒸氣在系統(tǒng)內(nèi)凝結(jié)后,還會影響密封性能和泵的工作效率。因此,在潮濕環(huán)境中,需要在真空機組的進氣口安裝干燥裝置,去除空氣中的水分,以提高系統(tǒng)的真空性能。大氣壓力的變化對真空機組的較高真空度影響相對較小,但在一些對真空度精度要求極高的場合(如計量標(biāo)準(zhǔn)裝置),需要考慮大氣壓力變化對測量結(jié)果的影響,并進行相應(yīng)的修正。山東華中本著誠信、品質(zhì)、服務(wù)的經(jīng)營理念,不斷開拓創(chuàng)新,與時俱進,深獲廣大用戶的贊揚。

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渦輪分子泵-旋片泵組合機組,適配真空度:10?1-10??Pa(極限約10??Pa),重點優(yōu)勢:可抽除輕氣體(氫氣抽速為氮氣的30%),無油污染(適合精密工藝),典型應(yīng)用:半導(dǎo)體濺射鍍膜(需10??-10??Pa)、電子顯微鏡(需10??-10??Pa),選型注意:轉(zhuǎn)速需達24000r/min以上(保證分子碰撞效率),前級真空需≤10?1Pa。超高真空是嚴苛的真空環(huán)境,需將氣體分子密度降至10?-103個/cm3(標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下約2.7×101?個/cm3)。選型重點要求:極限真空:主泵極限需<10??Pa(如渦輪分子泵極限10?11Pa);較低放氣率:機組材料需選不銹鋼(放氣率<10??Pa?m3/(s?m2)),并經(jīng)電化學(xué)拋光;長期穩(wěn)定性:連續(xù)運行30天真空度波動<±20%。華中真空技術(shù)力量雄厚:始終堅持“優(yōu)良的產(chǎn)品、優(yōu)良的服務(wù)、優(yōu)良的質(zhì)量、良好的信譽”為宗旨服務(wù)于客戶。東營羅茨螺桿真空機組

華中真空積極引進國內(nèi)外先進設(shè)備及技術(shù),以確保產(chǎn)品質(zhì)量高標(biāo)準(zhǔn)。江蘇抽真空機組

對于需要前級泵的真空機組(如羅茨真空泵機組、渦輪分子泵機組),前級泵的性能及其與主泵的匹配性對機組的較高真空度有著重要影響。前級泵的作用是為主泵提供合適的前置真空環(huán)境,將主泵排氣口的壓力維持在其允許的范圍內(nèi),以保證主泵能夠正常工作并發(fā)揮出較好性能。如果前級泵的極限真空度較低,無法將主泵排氣口的壓力降至其要求的水平,主泵的抽氣效率會大幅下降,從而影響機組的較高真空度。例如,羅茨泵如果搭配水環(huán)泵作為前級泵,由于水環(huán)泵的極限真空度較低,羅茨泵無法充分發(fā)揮其增壓作用,機組的較高真空度會受到限制;而搭配旋片泵作為前級泵,由于旋片泵的極限真空度較高,能夠為主泵提供更好的前置真空,從而使機組達到更高的真空度。江蘇抽真空機組