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深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷(xiāo)售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開(kāi)關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展,世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷(xiāo)售機(jī)構(gòu),分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。本實(shí)用新型涉及真空焊接系統(tǒng),特別涉及一種高壓二極管硅疊中頻真空焊接系統(tǒng),屬于高壓二極管生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù):高壓二極管的管芯由多個(gè)pn結(jié)組成,制造過(guò)程中是通過(guò)將園硅片(一片硅片形成一個(gè)pn結(jié))和焊片逐層疊放形成再經(jīng)過(guò)焊接形成圓餅狀硅疊,此過(guò)程由高周波合金爐進(jìn)行超純氮?dú)獗Wo(hù)焊接完成。此焊接方式下要求對(duì)被焊接硅疊放在焊接密封石英罩中,先在石英罩充滿超純氮?dú)膺M(jìn)行保護(hù),防止氧化,然后利用高頻電源進(jìn)行高頻加熱,當(dāng)加熱溫度和熔化厚度達(dá)到一定要求時(shí),停止加熱,并用超純氮?dú)膺M(jìn)行冷卻和保護(hù),溫度下降到一定值時(shí),取出被焊接硅疊。此過(guò)程對(duì)超純氮?dú)獾募兌纫蠛芨?。硅光電二極管廠家就找世華高。湖南進(jìn)口硅光電二極管型號(hào)
硅光二極管的光譜響應(yīng)范圍與其材料特性和結(jié)構(gòu)有關(guān)。一般來(lái)說(shuō),硅光二極管對(duì)可見(jiàn)光和近紅外光具有較好的響應(yīng),但對(duì)紫外光和遠(yuǎn)紅外光的響應(yīng)則較弱。因此,在選擇硅光二極管時(shí),需要根據(jù)實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景的光譜特性進(jìn)行匹配,以獲得好的光電轉(zhuǎn)換效果。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷(xiāo)售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開(kāi)關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷(xiāo)售機(jī)構(gòu),分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。隨著生產(chǎn)規(guī)模的不斷擴(kuò)大和產(chǎn)品種類(lèi)的豐富,公司的銷(xiāo)售業(yè)績(jī)穩(wěn)步提升。北京硅光電二極管電池濱松光電二極可選世華高。
將上述sr摻雜batio3/znte工作電極放入光電化學(xué)反應(yīng)器內(nèi),與鉑片對(duì)電極組裝成兩電極體系,將該電極在+,所用溶液為碳酸丙烯酯,用去離子水清洗后,將光電極在真空條件下50℃干燥10h。之后,采用上海辰華chi660e電化學(xué)工作站,將極化后的sr摻雜batio3/znte工作電極和飽與鉑片對(duì)電極、飽和甘汞電極組裝成典型的三電極體系,電解質(zhì)溶液為。光電流測(cè)試前,往電解質(zhì)溶液中鼓co2半個(gè)小時(shí),使溶液中的氧氣排盡,co2濃度達(dá)到飽和。圖4為本實(shí)施例制備的sr摻雜batio3/znte工作電極和水熱法制備的znte薄膜電極在。由圖可知,單獨(dú)的znte光電催化難以產(chǎn)生co產(chǎn)物,說(shuō)明znte光陰極的大部分載流子不能與co2發(fā)生相互作用,導(dǎo)致界面載流子嚴(yán)重復(fù)合,co產(chǎn)生量很低。但是,sr摻雜batio3/znte工作電極的co產(chǎn)量明顯增加,說(shuō)明sr摻雜batio3增加了znte表面的載流子濃度,間接證實(shí)了sr摻雜batio3的載流子分離作用。
具體實(shí)施方式下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)描述,所述是對(duì)本發(fā)明的解釋而不是限定,一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管,包括背面設(shè)有背面電極108的襯底107;襯底107正面依次設(shè)有高反層(109、外延層101、注入層、氧化硅層、氮化硅層和正面金屬電極106;所述的高反層109上開(kāi)設(shè)有用于形成電流路徑的刻蝕孔,以及與正面金屬電極106相對(duì)應(yīng)的刻蝕區(qū);所述的注入層包括保護(hù)環(huán)102以及設(shè)在其內(nèi)的有源區(qū)103;所述的正面金屬電極106還貫穿氧化硅層、氮化硅層與有源區(qū)103相連接。進(jìn)一步的,所述的襯底107為電阻率20~100為ohm·cm的硅基襯底,襯底背面直接做金屬化處理形成背面電極108。所述的外延層101淀積在高反層109上;在外延層101上分別以n型離子注入形成保護(hù)環(huán)102,以p型離子注入形成有源區(qū)103;所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層104,所述的氮化硅層為淀積生長(zhǎng)的si3n4層105;所述的正面金屬電極106是在濺射后經(jīng)刻蝕成形。參見(jiàn)圖2所示的光電二極管等效電路示意圖,rsh為光電二極管關(guān)斷阻抗,rsh=∞,rs為光電二極管串聯(lián)電阻。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷(xiāo)售工作。濱松光電二極管選世華高半導(dǎo)體。
世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷(xiāo)售機(jī)構(gòu),分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。并通過(guò)型號(hào)為suk2n-1412mr/mt的plc控制器4開(kāi)啟型號(hào)為vton的氮?dú)怆姶砰y11和型號(hào)為sast的氮?dú)獬錃獗?2,向石英玻璃罩1內(nèi)部充入小流量氮?dú)鈱?duì)高壓二極管硅疊進(jìn)行冷卻和保護(hù),溫度下降到一定值時(shí),取出被焊接高壓二極管硅疊,本真空焊接系統(tǒng)設(shè)計(jì)合理,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單易于實(shí)現(xiàn),不改變?cè)性O(shè)備的主要結(jié)構(gòu),只增加少量部件和對(duì)控制程序的改造,改造費(fèi)用增加很少,以很少的設(shè)備投資,既減少了產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中氮?dú)馐褂贸杀?,又提高了系統(tǒng)的可靠性。在本實(shí)用新型的描述中,需要理解的是,指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系,是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作,因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。在本實(shí)用新型中,除非另有明確的規(guī)定和限定,例如,可以是固定連接,也可以是可拆卸連接,或成一體;可以是機(jī)械連接,也可以是電連接;可以是直接相連,也可以通過(guò)中間媒介間接相連。硅光電二極管具有體積小、功能多、壽命長(zhǎng)、精度高、響應(yīng)速度快-世華高。濱松硅光電二極管供應(yīng)
專(zhuān)業(yè)硅光電二極管生產(chǎn)廠家就找深圳世華高。湖南進(jìn)口硅光電二極管型號(hào)
本發(fā)明具有以下有益的技術(shù)效果:本發(fā)明提供的高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管,通過(guò)適當(dāng)減小耗盡區(qū)寬度和減小擴(kuò)散區(qū)電阻率,耗盡區(qū)寬度減小導(dǎo)致響應(yīng)度的降低,本發(fā)明通過(guò)增加高反層使得光子在耗盡區(qū)中二次吸收來(lái)補(bǔ)償;高反層的形成使得器件保持對(duì)長(zhǎng)波響應(yīng)度的同時(shí),降低響應(yīng)時(shí)間;由于擴(kuò)散區(qū)(耗盡區(qū)以外的區(qū)域)材料電阻率很低,擴(kuò)散區(qū)阻抗很小,因此擴(kuò)散時(shí)間很短;從而實(shí)現(xiàn)硅基光電二極管高響應(yīng)度與高響應(yīng)速度同時(shí)提升。本發(fā)明提供的高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管,由于通過(guò)低阻材料降低了擴(kuò)散區(qū)電阻,縮短了擴(kuò)散時(shí)間;而高反層的設(shè)置提高了長(zhǎng)波的吸收效率,降低了耗盡區(qū)的物理厚度,縮短了漂移時(shí)間,并且在其上開(kāi)孔減小了擴(kuò)散區(qū)的阻抗;襯底采用低電阻率材料,背面不用進(jìn)行減薄注入,直接背面金屬化形成背面電極,避免了加工過(guò)程中碎片的情況。附圖說(shuō)明圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)圖示意圖;圖2為本發(fā)明的等效電路示意圖;圖3為本發(fā)明的高反層原理示意圖;圖4為多孔結(jié)構(gòu)高反層的示意圖;圖5-1~圖5-7分別為本發(fā)明的逐層制備示意圖。圖6為本發(fā)明的硅基光電二極管的響應(yīng)度測(cè)試曲線;圖7為本發(fā)明的硅基光電二極管的頻率特性測(cè)試曲線。湖南進(jìn)口硅光電二極管型號(hào)