通過2CU、R-1-、R-2-的電流很小，因此R-2-兩端電壓很小，使BG-1-截止。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年。總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發(fā)展。世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總...

該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發(fā)展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。所述控制面板的一側固定設有電磁鐵開關、溫度檢測儀開關、熔深檢測儀開關和感應線圈開關，所述電磁鐵、溫度檢測儀、熔深檢測儀分別通過電磁鐵開關、溫度檢測儀開關、熔深檢測儀開關和感應線圈開關與外接電源電性連接，所述感應線圈通過感應線圈開關與高頻加熱電源電...

硅光二極管的光譜響應范圍與其材料特性和結構有關。一般來說，硅光二極管對可見光和近紅外光具有較好的響應，但對紫外光和遠紅外光的響應則較弱。因此，在選擇硅光二極管時，需要根據實際應用場景的光譜特性進行匹配，以獲得好的光電轉換效果。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷...

該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發(fā)展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。由襯底107與外延層101體電阻組成)，cj為光電二極管結電容(主要由p+有源區(qū)103與外延層101構成二極管的勢壘電容組成)，rl為系統(tǒng)等效負載(50ω)；rs＝ρ(wo-wd)/aj+rc，其中，wo為襯底厚度，wd為耗盡區(qū)寬度，aj為結面積...

2CU型或2DU型硅光電二極管在性能上都有以下二個特點，我們在使用中應予以注意。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發(fā)展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。深圳市世華高半導體有限公司。。硅光電二極管廠家就找世華高。無錫硅光電...

反應結束，取出fto電極，水洗3次，60℃下真空干燥8h；干燥后，將薄膜放入管式爐內，氮氣保護條件下煅燒一定時間，即可得sr摻雜batio3/znte光電極。地，步驟1所述乙酸鋇的濃度為5-100mmol/l，乙酸鍶的濃度為5-100ummol/l，鈦酸四丁酯的濃度與乙酸鋇一致。地，步驟1所述乙酸、乙醇和水的體積比為1:3:3-1:10:10。地，步驟2所述靜電紡絲工藝參數為：注射器推進速度1-5mm/h。深圳市世華高半導體有限公司成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線...

硅光二極管在光電子學領域的重要性不言而喻。作為光電轉換的基本單元，它在光信號的接收、處理和傳輸中發(fā)揮著關鍵作用。隨著光電子技術的飛速發(fā)展，硅光二極管不僅在傳統(tǒng)的通信領域得到廣泛應用，還在新興的光計算、光存儲等領域展現(xiàn)出巨大的潛力。其優(yōu)異的性能和穩(wěn)定性使其成為光電子器件中的佼佼者。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。世華高半導體已成為...

在光探測領域，硅光二極管也被廣泛應用。它可以用于檢測微弱的光信號，如生物發(fā)光、化學發(fā)光和激光等。通過測量硅光二極管產生的光電流，可以實現(xiàn)對光信號的定量分析和實時監(jiān)測。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。...

具體實施方式下面結合實施例對本發(fā)明做進一步詳細描述，所述是對本發(fā)明的解釋而不是限定，一種高速高響應度的硅基光電二極管，包括背面設有背面電極108的襯底107；襯底107正面依次設有高反層(109、外延層101、注入層、氧化硅層、氮化硅層和正面金屬電極106；所述的高反層109上開設有用于形成電流路徑的刻蝕孔，以及與正面金屬電極106相對應的刻蝕區(qū)；所述的注入層包括保護環(huán)102以及設在其內的有源區(qū)103；所述的正面金屬電極106還貫穿氧化硅層、氮化硅層與有源區(qū)103相連接。進一步的，所述的襯底107為電阻率20～100為ohm·cm的硅基襯底，襯底背面直接做金屬化處理形成背面電極108。所...

具體實施方式下面結合實施例對本發(fā)明做進一步詳細描述，所述是對本發(fā)明的解釋而不是限定，一種高速高響應度的硅基光電二極管，包括背面設有背面電極108的襯底107；襯底107正面依次設有高反層(109、外延層101、注入層、氧化硅層、氮化硅層和正面金屬電極106；所述的高反層109上開設有用于形成電流路徑的刻蝕孔，以及與正面金屬電極106相對應的刻蝕區(qū)；所述的注入層包括保護環(huán)102以及設在其內的有源區(qū)103；所述的正面金屬電極106還貫穿氧化硅層、氮化硅層與有源區(qū)103相連接。進一步的，所述的襯底107為電阻率20～100為ohm·cm的硅基襯底，襯底背面直接做金屬化處理形成背面電極108。所...

一般含氧量不超過。使用量比較高，在生產過程對超純氮氣的純度和壓力發(fā)生變化非常敏感，經常會因氮氣純度不好，壓力不夠造成停產和產品的報廢；現(xiàn)有焊接系統(tǒng)長時間使用后會降低石英罩與下固定板之間的密封性，造成石英罩內部進入其它氣體，導致石英罩內部氣壓失衡，造成產品的報廢，從而降低焊接系統(tǒng)的實用性。技術實現(xiàn)要素：本實用新型的目的在于提供一種高壓二極管硅疊中頻真空焊接系統(tǒng)，以解決上述背景技術中提出的現(xiàn)有焊接系統(tǒng)常因壓力不夠而造成停產和產品的報廢的問題。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種高壓二極管硅疊中頻真空焊接系統(tǒng)，包括石英玻璃罩，所述石英玻璃罩的頂部通過上密封圈與上固定板的底端固定連...

結構簡單易于實現(xiàn)，不改變原有設備的主要結構，只增加少量部件和對控制程序的改造，改造費用增加很少，以很少的設備投資，既減少了產品生產過程中氮氣使用成本，又提高了系統(tǒng)的可靠性；本真空焊接系統(tǒng)通過電磁鐵和磁環(huán)進行磁性連接，可有效提升石英玻璃罩與下固定板之間的密封性能，以保證生產產品的品質，從而提高真空焊接系統(tǒng)的實用性。附圖說明圖1為本實用新型正面結構示意圖。圖2為本實用新型下固定板的結構示意圖。圖3為本實用新型模塊圖。圖中：1、石英玻璃罩；2、上密封圈；3、上固定板；4、plc控制器；5、下密封圈；6、電磁鐵；7、下固定板；8、耐高溫傳輸管道；9、真空電磁閥；10、微型真空泵；11、氮氣電磁...

二、2DU型硅光電二極管：2DU型硅光電二極管是用P型硅單晶制作的，從外形上分有2DUA，2DUB等類型，其中2DUA型管子體積較小些（見圖1（b））。2DU型硅光電二極管目前多采用陶瓷樹脂封裝，入射光的窗口不帶透鏡。這類管子引線共有三條，分別稱作前極、后極、環(huán)極（見圖1（b））。前極即光敏區(qū)（N型區(qū)）的引線；后極為襯底（P型區(qū)）的引線；環(huán)極是為了減小光電管的暗電流和提高管子的穩(wěn)定性而設計的另一電極。光電管的暗電流是指光電二極管在無光照、高工作電壓下的反向漏電流。我們要求暗電流越小越好。這樣的管子性能穩(wěn)定，同時對檢測弱光的能力也越強。為什么加了環(huán)極后就可以減小2DU型硅光電二極管的暗電...

深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發(fā)展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)?？字睆綖?5um，孔間距35um；也可以為同心環(huán)結構，該同心環(huán)中心與金屬電極106中心重合，個環(huán)直徑與金屬電極106直徑相同，相鄰環(huán)間距10...

本發(fā)明屬于光電催化技術領域，具體涉及一種sr摻雜batio3/znte光陰極材料的制備方法，可以實現(xiàn)znte光生載流子的定向分離，并加速界面co2還原反應的活性。背景技術：能源危機和溫室效應是人類目前急需解決的關鍵科學難題，以太陽能驅動的co2還原為解決這些問題提供了一個理想的途徑，該反應綠色、**，條件溫和，吸引了多國和科研人員的目光。光電催化反應技術整合光催化和電催化技術的優(yōu)勢,從而實現(xiàn)對co2還原更高的效率和更理想的選擇性。目前，光電催化co2還原的效率依然很低，太陽能到化學能的轉化效率遠低于工業(yè)應用所需的10％效率，根本原因在于載流子復合嚴重，界面反應動力學緩慢。為了推進光電催...

深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發(fā)展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。據外媒報道，韓國浦項工科大學（PohangUniversityofScienceandTechnology）的一組研究人員已經研發(fā)出近紅外（...

主要負責研發(fā)和銷售工作該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發(fā)展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。BG-2-也截止，繼電器觸點釋放，這樣的線路起到了光電控制作用。圖⑥（b）是暗通的光控線路，與圖⑥（a）相比電路中2CU與R-2-的位置對調了。當有光照時2CU內阻變小，它兩端的壓降減小，這樣使BG-1-截止，BG-...

2CU-3-型管子二條引線中較長一根是“＋”極。2CU型硅光電二極管使用時電原理圖見圖⑤（b）。圖中E為反向工作電壓的電源，R-L-是負載電阻，電信號就從它的兩端輸出。當無光照時，R-L-兩端的電壓很小；當有光照時，R-L-兩端的電壓增高，R-L-兩端電壓大小隨光照強弱作相應的變化，這樣就將光信號變成了電信號。圖⑥所示是實際應用中的簡單的光電控制線路。其中圖⑥（a）是亮通的光控線路。圖中2CU管是光電接收元件，三極管BG-1-和BG-2-直接耦合組成一級射極跟隨器。“J”表示繼電器，它的型號是JRXB－1型。圖中D-1-是2CP-10-型二極管，它的作用是保護BG-2-三極管的。當有光...

就是硅光電二極管的反向工作電壓必須大于10伏的原因所在。2．硅光電二極管的光電流、暗電流隨溫度的變化均有變化。在環(huán)境溫度0℃以上，反向工作電壓不變的條件下，環(huán)境溫度變化（25～30）℃時，硅光電二極管的暗電流將變化10倍，光電流變化10％左右，所以在要求穩(wěn)定性高的電路中要考慮溫度補償的問題。二、2CU型硅光電二極管在電路中接法：2CU型硅光電二極管在接入電路前先要按產品說明書所述來分清“＋”、“（-）”極。例如2CU-1-和2CU-2-型管子。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產基地，負...

設置靜電紡絲工藝參數：注射器推進速度3mm/h，紡絲電壓12kv，接收距離10cm，滾筒轉速300r/min，在固定于滾筒上的fto玻璃上接收固化的復合纖維，150℃烘箱中干燥過夜，烘干后置于650℃馬弗爐中煅燒2h，熱分解后即可獲得sr摻雜batio3薄膜電極；配制30ml濃度為4mmol/l硝酸鋅、4mmol/l碲酸鈉和，攪拌均勻，轉入50ml水熱反應釜中；將sr摻雜batio3薄膜電極放入反應釜內，fto導電面朝下，密封水熱反應釜，置于恒溫干燥箱中，150℃水熱反應6h；反應結束，取出fto電極，水洗3次，60℃下真空干燥8h；干燥后，將薄膜放入管式爐內，氮氣保護條件下煅燒，控制...

本發(fā)明屬于光電催化技術領域，具體涉及一種sr摻雜batio3/znte光陰極材料的制備方法，可以實現(xiàn)znte光生載流子的定向分離，并加速界面co2還原反應的活性。背景技術：能源危機和溫室效應是人類目前急需解決的關鍵科學難題，以太陽能驅動的co2還原為解決這些問題提供了一個理想的途徑，該反應綠色、**，條件溫和，吸引了多國和科研人員的目光。光電催化反應技術整合光催化和電催化技術的優(yōu)勢,從而實現(xiàn)對co2還原更高的效率和更理想的選擇性。目前，光電催化co2還原的效率依然很低，太陽能到化學能的轉化效率遠低于工業(yè)應用所需的10％效率，根本原因在于載流子復合嚴重，界面反應動力學緩慢。為了推進光電催...

通過2CU、R-1-、R-2-的電流很小，因此R-2-兩端電壓很小，使BG-1-截止。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年?？偛吭O在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發(fā)展。世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于200...

世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。并通過型號為suk2n-1412mr/mt的plc控制器4開啟型號為vton的氮氣電磁閥11和型號為sast的氮氣充氣泵12，向石英玻璃罩1內部充入小流量氮氣對高壓二極管硅疊進行冷卻和保護，溫度下降到一定值時，取出被焊接高壓二極管硅疊，本真空焊接系統(tǒng)設計合理，結構簡單易于實現(xiàn)，不改變原有設備的主要結構，只增加少量部件和對控制程序的改造，改造費用增加很少，以很少的設備投資，既減少了產品生產過程中氮氣使用成本，又提高了系統(tǒng)的可靠性。在本實用新型的描述中，需要理...

其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發(fā)展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。因此擴散時間很短；從而實現(xiàn)硅基光電二極管高響應度與高響應速度同時提升。該結構中，襯底材料107不用進行背面處理，直接與金屬形成良好的歐姆接觸；外延層厚度取決于耗盡區(qū)寬度。進一步的，所述外延層101的電阻率為500～1000ohm·cm，外延層101厚度wepi根據耗盡區(qū)寬度wd確定：wepi≈wd，而...

提高硅基光電二極管響應速度變得越來越迫切。高阻材料雖然可以提高響應度，同時它也會引入三個方面的缺點：一是耗盡區(qū)寬度變寬，使得光生載流子漂移時間變長，響應速度變慢；二是耗盡區(qū)變寬，需要材料厚度相應的變厚，而對于某些應用場景，需要芯片厚度在150um左右，這種情況下，寬耗盡區(qū)并未帶來響應度的明顯提升；三是由于材料為高阻材料，擴散區(qū)電阻率太高，導致擴散時間變長，從而導致響應速度變慢?？梢钥闯觯瑸榱说玫礁唔憫?，材料厚度需要做厚，電阻率選用高阻；為了得到高響應速度。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作...

該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發(fā)展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。所述方法由以下步驟組成：1)以乙酸鋇、乙酸鍶和鈦酸四丁酯為原料，溶解于乙酸、乙醇和水的混合溶液中，加入質量分數為10-30％的聚乙烯吡絡烷酮，攪拌24h，得到紡絲溶液；2)采用靜電紡絲機制備sr摻雜batio3納米纖維薄膜電極：將步驟1所...

以p型離子注入形成有源區(qū)；所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層，所述的氮化硅層為淀積生長的si3n4層；所述的正面金屬電極是在濺射后經刻蝕成形。所述外延層的電阻率為500～1000ohm·cm，外延層厚度wepi根據耗盡區(qū)寬度wd確定：wepi≈wd，而wd≥w入/2，其中w入＝f(λ)，w入為入射光入射深度，λ為入射光波長。一種高速高響應度的硅基光電二極管的制備方法，包括以下操作：1)在襯底上濺射生成高反層；2)高反層開設刻蝕孔；3)高反層上通過淀積的方法生長外延層；4)在外延層上通過離子注入分別形成保護環(huán)和有源區(qū)；5)在保護環(huán)和有源區(qū)上生成sio2層，然后在sio2層上方生成si3...

深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發(fā)展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產基地...

控制煅燒溫度為350℃，煅燒時間為3h，即可得sr摻雜batio3/znte光電極。圖1為sr摻雜batio3納米纖維的掃描電鏡圖，可以看到sr摻雜batio3納米纖維表面很光滑，纖維直徑在400nm左右，長度可達幾十微米，纖維之間相互交疊，形成三維網狀結構。圖2為znte水熱生長在sr摻雜batio3納米纖維表面后的掃描電鏡圖，由圖可知。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元...

技術實現(xiàn)要素：本發(fā)明解決的技術問題在于提供高速高響應度的硅基光電二極管及其制備方法，在不影響光電二極管響應度的前提下，解決了硅基光電二極管響應速度慢的問題，實現(xiàn)硅基光電二極管高響應度與高響應速度同時提升。本發(fā)明是通過以下技術方案來實現(xiàn)：一種高速高響應度的硅基光電二極管，包括背面設有背面電極的襯底；襯底正面依次設有高反層、外延層、注入層、氧化硅層、氮化硅層和正面金屬電極；所述的高反層上開設有用于形成電流路徑的刻蝕孔，以及與正面金屬電極相對應的刻蝕區(qū)；所述的注入層包括保護環(huán)以及設在其內的有源區(qū)；所述的正面金屬電極還貫穿氧化硅層、氮化硅層與有源區(qū)相連接。所述的襯底為電阻率20～100為ohm...