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馬波斯錠材切片機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)有著許多應(yīng)用。錠材切片(硅錠,藍(lán)寶石錠,碳化硅錠,氮化鎵錠)是芯片制造的第一步。高速線鋸將錠材切成“圓晶”,然后打磨,使圓晶達(dá)到鏡面光潔度。錠材切片中,如果金剛石線斷線,必須立即停止切片機(jī)。事實(shí)上,錠材緩慢下降并被線鋸切成圓晶片,這個(gè)過(guò)程長(zhǎng)達(dá)數(shù)小時(shí)。用更細(xì)的金剛石線線鋸切片是未來(lái)趨勢(shì),可比較大限度減小鋸縫寬度,讓單個(gè)錠材產(chǎn)出更多圓晶,顯著提高生產(chǎn)速度。如果在錠材線鋸過(guò)程中,金剛石線斷線,必須立即停止切片機(jī)運(yùn)動(dòng)。馬波斯集團(tuán)Hetech品牌一直致力于泄漏檢測(cè)系統(tǒng)領(lǐng)域的研究,也是這一嶄新市場(chǎng)生產(chǎn)商的有力合作伙伴。機(jī)床零件檢測(cè)
MARPOSS泄漏測(cè)試是電池pack裝配過(guò)程中的基本要求,用于檢查電池pack的氣密性,以防止水、濕氣、灰塵或其他外部污染物進(jìn)入,導(dǎo)致電池pack內(nèi)部的高壓零部件出現(xiàn)短路。嗅探法對(duì)電池PACK進(jìn)行泄漏測(cè)試可以帶有一個(gè)或多個(gè)機(jī)器人嗅探裝置的全自動(dòng)泄漏測(cè)試工站,進(jìn)行100%在線檢測(cè)手動(dòng)嗅探工站,用于離線檢查維修站中的測(cè)試不良品可提供用于冷卻回路泄漏測(cè)試的定制化空氣法方案(壓降法或質(zhì)量流量法)。嗅探法對(duì)電池PACK進(jìn)行泄漏測(cè)試可以利用手動(dòng)或自動(dòng)解決方案,高可靠性低使用成本,檢測(cè)泄漏精度高達(dá)10-4SCC/sec。電機(jī)性能測(cè)試馬波斯齒輪產(chǎn)品線包括多種類型齒輪尺寸測(cè)量,如用于DOB檢查的量規(guī),雙嚙和單嚙齒輪滾子測(cè)量的量規(guī)測(cè)量系統(tǒng)。
電池pack是電動(dòng)汽車動(dòng)力總成中的要素之一,該組件的性能是PHEV和BEV汽車未來(lái)商業(yè)化成功的關(guān)鍵。該組件體現(xiàn)了電動(dòng)汽車的價(jià)值,因此,必須在整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈上提供足夠的質(zhì)量和過(guò)程控制來(lái)保證比較高的質(zhì)量水平。馬波斯關(guān)于電池pack組裝的方案集中在如下關(guān)鍵工序成品電池pack和冷卻回路的泄漏測(cè)試。在用嗅探法對(duì)電池PACK進(jìn)行泄漏測(cè)試時(shí),泄漏測(cè)試是電池pack裝配過(guò)程中的基本要求,用于檢查電池pack的氣密性,以防止水、濕氣、灰塵或其他外部污染物進(jìn)入,導(dǎo)致電池pack內(nèi)部的高壓零部件出現(xiàn)短路。
描述凡是使用有機(jī)電解液的電芯,均可通過(guò)這項(xiàng)技術(shù)來(lái)檢測(cè)(紐扣電芯、圓柱電芯、方形電芯或軟包電芯)。這項(xiàng)技術(shù)可跟蹤鋰離子電芯中常用的多種不同成分,例如碳酸二甲酯(DMC),碳酸二乙酯(DEC),碳酸甲乙酯(EMC),丙酸丙酯(PP)等。這項(xiàng)技術(shù)可在不同工藝階段檢測(cè)電芯:如,注液和密封后檢測(cè),化成后檢測(cè),degassing和**終密封后檢測(cè),還可在EOL測(cè)試中檢測(cè)。測(cè)試期間電芯置于真空箱內(nèi)。如果電芯外殼泄漏,電解液部分成分將氣化,逸出電芯進(jìn)入真空箱內(nèi)。這項(xiàng)檢測(cè)的基本原理就是:用四極質(zhì)譜儀示蹤電解液蒸汽,以此測(cè)量泄漏情況。此檢測(cè)方法可用于大批量生產(chǎn)的生產(chǎn)線,檢測(cè)速度快且全程自動(dòng)化,滿足電芯生產(chǎn)的高節(jié)拍要求。我們針對(duì)這項(xiàng)檢測(cè)開(kāi)發(fā)了一系列不同的工藝方式(專利申請(qǐng)中),可以有效縮短周期。根據(jù)電芯的類型(紐扣、圓柱、方形或軟包)及尺寸不同,可對(duì)真空箱的尺寸和形狀、真空箱內(nèi)的電芯數(shù)量、測(cè)試周期等進(jìn)行定制化設(shè)計(jì)。首頁(yè)圖片為采用電解液示蹤技術(shù)自動(dòng)檢測(cè)電芯泄漏的方案,,該方案運(yùn)用于紐扣電芯的自動(dòng)化高節(jié)拍量產(chǎn)。為避免電芯污染真空箱,首先需要進(jìn)行了一次大漏測(cè)試,以排除有明顯泄漏缺陷的電芯。無(wú)損探測(cè)以渦流為基礎(chǔ),渦流是由時(shí)變磁場(chǎng)在導(dǎo)電材料內(nèi)引起的小電流回路。
對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)來(lái)說(shuō),圓晶測(cè)量和缺陷檢測(cè)都是半導(dǎo)體生產(chǎn)的關(guān)鍵環(huán)節(jié),檢測(cè)和控制生產(chǎn)中的每一步生產(chǎn)質(zhì)量。為了顯微測(cè)量,馬波斯提供2D光譜共焦線掃相機(jī)。在超高分辨率和超大景深應(yīng)用中,可在Z軸上準(zhǔn)確聚焦。因此,這是檢測(cè)圓晶缺陷的理想選擇,例如,圓晶沿的檢測(cè)和封裝期間的檢測(cè)。這些傳感器都允許集成在測(cè)量和檢測(cè)設(shè)備中。馬波斯和STIL在數(shù)十年的發(fā)展中積累了豐富的經(jīng)驗(yàn),可為用戶提供量身定制解決方案和的光學(xué)設(shè)計(jì)。馬波斯的小橫向分辨率為0.4μm*0.4μm,大傾斜角為+/-45°,0.75數(shù)值孔徑。馬波斯電機(jī)檢測(cè)解決方案旨在通過(guò)使用識(shí)別電機(jī)內(nèi)部潛在趨勢(shì)的設(shè)備來(lái)檢查電機(jī)的完整性。電機(jī)性能測(cè)試
Marposs可為機(jī)電組件的整體裝配提供靈活的解決方案,如逆變器和電池充電器等。機(jī)床零件檢測(cè)
馬波斯除了可以在線測(cè)量鋰離子電池的電極極片,還能夠進(jìn)行方形電芯的電氣檢測(cè)。馬波斯在電芯測(cè)量方面,能夠提供EOL(電芯生產(chǎn))或BOL(模組組裝)階段智能方形電芯檢測(cè)臺(tái)以供測(cè)量。智能方形電芯檢測(cè)臺(tái)的檢測(cè)范圍很多,可以包括外形尺寸測(cè)量、電性能和絕緣性能檢測(cè)以及電解液泄漏示蹤檢測(cè)。從特征的角度來(lái)看,一方面,馬波斯智能方形電芯檢測(cè)臺(tái)可以適應(yīng)不同類型方形電芯的檢測(cè)要求,同時(shí),測(cè)量過(guò)程中可以提供手動(dòng)和自動(dòng)上料解決方案。與此同時(shí),設(shè)備的電性能檢測(cè)范圍廣,可分容。機(jī)床零件檢測(cè)