渦輪分子泵-旋片泵組合機(jī)組,適配真空度:10?1-10??Pa(極限約10??Pa),重點(diǎn)優(yōu)勢:可抽除輕氣體(氫氣抽速為氮?dú)獾?0%),無油污染(適合精密工藝),典型應(yīng)用:半導(dǎo)體濺射鍍膜(需10??-10??Pa)、電子顯微鏡(需10??-10??Pa),選型注意:轉(zhuǎn)速需達(dá)24000r/min以上(保證分子碰撞效率),前級(jí)真空需≤10?1Pa。超高真空是嚴(yán)苛的真空環(huán)境,需將氣體分子密度降至10?-103個(gè)/cm3(標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下約2.7×101?個(gè)/cm3)。選型重點(diǎn)要求:極限真空:主泵極限需<10??Pa(如渦輪分子泵極限10?11Pa);較低放氣率:機(jī)組材料需選不銹鋼(放氣率<10??Pa?m3/(s?m2)),并經(jīng)電化學(xué)拋光;長期穩(wěn)定性:連續(xù)運(yùn)行30天真空度波動(dòng)<±20%。華中真空設(shè)備依托先進(jìn)的生產(chǎn)技術(shù)、強(qiáng)大的科研隊(duì)伍、健全的銷售網(wǎng)絡(luò)和完善的售后服務(wù)。西藏真空機(jī)組
高真空,擴(kuò)散泵機(jī)組、渦輪分子泵-旋片組合機(jī)組,真空鍍膜(1×10?3-1×10??Pa)、電子束焊接(1×10??-5×10??Pa),<1×10??Pa,超高真空,渦輪分子泵-離子泵組合機(jī)組、低溫泵機(jī)組,半導(dǎo)體光刻(1×10??-1×10?1?Pa)、航天環(huán)境模擬(1×10??-1×10?11Pa),這種對(duì)應(yīng)關(guān)系的本質(zhì)是機(jī)組的“有效工作區(qū)間”——每種機(jī)組都有其壓力-抽速曲線的穩(wěn)定段,如羅茨泵在1000-1Pa區(qū)間抽速波動(dòng)小于10%,而在10000Pa以上抽速會(huì)明顯下降。山東水環(huán)式真空機(jī)組批發(fā)華中真空不斷改善和改進(jìn)質(zhì)量管理體系,牢固樹立“質(zhì)量是企業(yè)生命”的觀念。
水環(huán)真空泵機(jī)組以水環(huán)泵為主泵,多數(shù)情況下無需額外前級(jí)泵(特殊高真空需求時(shí)可搭配羅茨泵),系統(tǒng)構(gòu)成包括泵體、葉輪、水箱、汽水分離器及管路附件。重點(diǎn)部件水環(huán)泵的葉輪偏心安裝在圓柱形泵體內(nèi),工作時(shí)需注入一定量的循環(huán)水作為工作介質(zhì),形成動(dòng)態(tài)密封的“液體活塞”。這種結(jié)構(gòu)使其天然具備處理濕蒸氣的能力,液體介質(zhì)既能密封間隙又能冷卻泵體,適合含大量水汽或腐蝕性氣體的工況。水環(huán)真空泵機(jī)組的工作基于“液環(huán)容積變化”原理。啟動(dòng)后,葉輪旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力使工作水在泵體內(nèi)壁形成旋轉(zhuǎn)水環(huán),水環(huán)與葉輪輪轂之間形成若干個(gè)周期性變化的月牙形腔室。
定期對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行烘烤除氣和檢漏,去除系統(tǒng)內(nèi)的殘留氣體和發(fā)現(xiàn)潛在的泄漏點(diǎn)。對(duì)于長期停用的真空機(jī)組,在重新啟用前,需要進(jìn)行詳細(xì)的檢查和處理,以保證其能夠正常工作并達(dá)到規(guī)定的真空度。當(dāng)處理含有腐蝕性、易燃易爆等特殊氣體時(shí),需要采取相應(yīng)的防護(hù)措施,防止氣體對(duì)泵和系統(tǒng)造成損壞,同時(shí)保證操作安全。處理腐蝕性氣體時(shí),選擇耐腐蝕的泵和管道材料(如不銹鋼、聚四氟乙烯等),并在系統(tǒng)中設(shè)置氣體凈化和中和裝置;處理易燃易爆氣體時(shí),采用防爆型真空機(jī)組,并嚴(yán)格遵守操作規(guī)程,防止發(fā)生安全事故。淄博華中真空設(shè)備有限公司擁有豐富的專業(yè)化施工隊(duì)伍,更好的為客戶提供系統(tǒng)化的服務(wù)。
在系統(tǒng)中設(shè)置吸附裝置(如低溫吸附阱、分子篩吸附器等),利用吸附材料對(duì)氣體分子的吸附作用,去除系統(tǒng)內(nèi)的殘余氣體。低溫吸附阱通常采用液氮作為冷卻介質(zhì),能夠有效吸附水蒸氣、二氧化碳等氣體;分子篩吸附器則對(duì)氮?dú)狻⒀鯕獾葰怏w具有良好的吸附效果。對(duì)真空機(jī)組的工作環(huán)境進(jìn)行控制,保持環(huán)境溫度、濕度的穩(wěn)定。安裝恒溫恒濕控制系統(tǒng),將環(huán)境溫度控制在(25±1)℃,相對(duì)濕度控制在50%±5%以內(nèi)。在真空機(jī)組的進(jìn)氣口設(shè)置空氣過濾和干燥裝置,去除空氣中的塵埃、水分和油蒸氣等雜質(zhì),減少進(jìn)入系統(tǒng)的氣體負(fù)載。淄博華中真空設(shè)備有限公司是以集品質(zhì)、服務(wù)于一身的真空設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)。青島螺桿真空機(jī)組
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排氣速率:泵出口處的氣體排放速率,與抽氣速率在數(shù)值上差異較大(因氣體被壓縮),主要用于前級(jí)泵的匹配計(jì)算。抽氣速率的測量需遵循國際標(biāo)準(zhǔn)(如ISO1607-1986),重點(diǎn)方法為“定壓法”:在泵入口處連接已知容積的真空容器,通過閥門控制進(jìn)氣量使容器內(nèi)壓強(qiáng)保持恒定,此時(shí)抽氣速率S=Q/P,其中Q為進(jìn)氣流量(可通過標(biāo)準(zhǔn)漏孔精確控制),P為容器內(nèi)穩(wěn)定壓強(qiáng)。具體操作分為三個(gè)步驟:預(yù)抽真空:將系統(tǒng)抽至低于測量點(diǎn)壓強(qiáng)一個(gè)數(shù)量級(jí)的狀態(tài);穩(wěn)定進(jìn)氣:通過微調(diào)閥門使容器內(nèi)壓強(qiáng)穩(wěn)定在目標(biāo)值(波動(dòng)不超過±5%);計(jì)算速率:根據(jù)穩(wěn)定時(shí)的進(jìn)氣流量和壓強(qiáng)計(jì)算抽氣速率。西藏真空機(jī)組