含有的胺化合物的質(zhì)量分為:1%-2%。進(jìn)一步技術(shù)方案中,所述的添加劑中含有醇醚化合物的質(zhì)量分為:30%-50%;含有胺化合物的質(zhì)量分為:35%-55%;含有緩蝕劑的質(zhì)量分為:6%-12%;含有潤濕劑的質(zhì)量分為:1%-7%。進(jìn)一步技術(shù)方案中,所述的步驟s1中剝離液廢液所含的酰胺化合物以及步驟s2中添加劑所含的酰胺化合物均為n-甲基甲酰胺(nmf)、n-甲基乙酰胺、n,n-二甲基甲酰胺中的一種或者多種。進(jìn)一步技術(shù)方案中,所述的步驟s1中剝離液廢液所含的醇醚化合物以及步驟s2中添加劑所含的醇醚化合物均為二乙二醇丁醚(bdg)、二乙二醇甲醚、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚中的一種或多種。進(jìn)一步技術(shù)方案中,所述的步驟s1中剝離液廢液所含的胺化合物以及步驟s2中添加劑所含的胺化合物為環(huán)胺與鏈胺。進(jìn)一步技術(shù)方案中,所述的環(huán)胺為氨乙基哌嗪、羥乙基哌嗪、氨乙基嗎啉中的一種或多種;所述的鏈胺為乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺、異丙醇胺、甲基二乙醇胺、amp-95中的一種或多種。進(jìn)一步技術(shù)方案中,所述的三唑類化合物,具體為苯并三氮唑(bta)、甲基苯并三氮唑(tta)中的任意一種。進(jìn)一步技術(shù)方案中,所述的潤濕劑為含羥基化合物,具體為為聚乙二醇、甘油中的任意一種。使用剝離液,輕松剝離各種材料。惠州ITO蝕刻液剝離液推薦貨源
剝離液是一種通用濕電子化學(xué)品,主要用于去除金屬電鍍或者蝕刻加工完成后的光刻膠和殘留物質(zhì),同時防止對襯底層造成破壞。剝離液是集成電路、分立器件、顯示面板、太陽能電池等生產(chǎn)濕法工藝制造的關(guān)鍵性電子化工材料,下游應(yīng)用領(lǐng)域,但整體應(yīng)用需求較低,因此市場規(guī)模偏小。剝離液應(yīng)用在太陽能電池中,對于剝離液的潔凈度要求較低,需達(dá)到G1等級,下游客戶主要要天合、韓華、通威等;應(yīng)用到面板中,通常要達(dá)到G2、G3等級,且高世代線對于剝離液的要求要高于低世代線,下游客戶有京東方、中星光電;在半導(dǎo)體中的應(yīng)用可分等級,在8英寸及以下的晶圓制造中,對于剝離液的要求達(dá)到G3、G4水平,大硅片、12英寸晶元等產(chǎn)品要達(dá)到G5水平。蕪湖鋁鉬鋁蝕刻液剝離液溶劑如何挑選一款適合自己公司的剝離液?
本發(fā)明涉及剝離液技術(shù)領(lǐng)域:,更具體的說是涉及一種光刻膠剝離液再生方法。背景技術(shù)::電子行業(yè)飛速發(fā)展,光刻膠應(yīng)用也越來越***。在半導(dǎo)體元器件制造過程中,經(jīng)過涂敷-顯影-蝕刻過程,在底層金屬材料上蝕刻出所需線條之后,必須在除去殘余光刻膠的同時不能損傷任何基材,才能再進(jìn)行下道工序。因此,光刻膠的剝離質(zhì)量也有直接影響著產(chǎn)品的質(zhì)量。而隨著電子行業(yè)的發(fā)展以及高世代面板的面世,光刻膠剝離液的使用越來越多。剝離液廢液中含有光刻膠樹脂、水和某些金屬雜質(zhì),而剝離液廢液的處理主要是通過焚燒或者低水平回收,其大量的使用但不能夠有效地回收,對環(huán)境、資源等都造成了比較大的影響。有鑒于此,申請人研發(fā)出以下的對使用后的光刻膠剝離液回收及再生方法。技術(shù)實現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的是提供一種光刻膠剝離液再生方法。為了實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:本申請公開了一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液,包括以下質(zhì)量組分:光刻膠剝離液再生方法,包括以下步驟:s1:回收剝離液新液使用后的剝離液廢液,將剝離液廢液經(jīng)過蒸餾、加壓工序,得出剝離液廢液的純化液體;純化液體中含有酰胺化合物、醇醚化合物以及胺化合物;s2:制備添加劑。
形成帶有沉淀物的固液混合物,打開一級過濾罐進(jìn)料管路上的電磁閥18,固液混合物進(jìn)入一級過濾罐16的過濾筒中,先由一級過濾罐16的過濾筒過濾得到一級線性酚醛樹脂,濾液由提升泵6送往攪拌釜的循環(huán)料口7,往復(fù)3次數(shù)后,一級線性酚醛樹脂回收完成,關(guān)閉一級過濾罐進(jìn)料管路上的電磁閥18,利用提升泵6將一級過濾罐16中濾液抽取到攪拌釜10內(nèi)備用;2、向攪拌釜10中輸入酸性溶液,與前述濾液充分?jǐn)嚢杌旌显俅挝龀龀恋砦铮炊壘€性酚醛樹脂,利用ph計檢測溶液ph值,當(dāng)達(dá)到5-7范圍內(nèi)即可,打開二級過濾罐13進(jìn)料管路上的電磁閥17,帶有沉淀物的混合液進(jìn)入二級過濾罐13中,由其中的過濾筒過濾得到二級線性酚醛樹脂,廢液二級過濾罐底部的廢液出口20流出,送往剝離成分處理系統(tǒng)。上述過濾得到的一級線性酚醛樹脂可用于光刻膠產(chǎn)品的原料,而二級線性酚醛樹脂可用于其他場合。剝離液蝕刻后如何判斷好壞 ?
IC去除剝離液MSDS1.產(chǎn)品屬性產(chǎn)品形式:混合溶液產(chǎn)品名稱:ANS-908產(chǎn)品功能描述:用于COG重工,使IC與玻璃無損傷分離2.組成成份化學(xué)名稱CASNo含量%(v)1-METHYL-2-PYRROLIDINONE872-50-445~90N,N-DIMETHYLACETAMIDE127-19-510~58Other12~45SurfactantThickener3.危險識別可燃性液體和蒸汽警示標(biāo)識外觀:透明或微黃氣味:類氨對人類和環(huán)境的危害:對眼睛和皮膚有刺激性吸入:會引起呼吸道受刺激,肝臟、腎受傷害,對系統(tǒng)有影響攝取:會引起呼吸道和消化道刺激長期接觸:會引起皮膚傷害4.緊急處理吸入:移至空氣新鮮處,呼吸困難時輸氧、看醫(yī)生攝?。貉杆賴I吐或者看醫(yī)生皮膚接觸:用大量水沖洗15分鐘以上,更換衣服、鞋,或者看醫(yī)生眼睛接觸:用大量水沖洗15分鐘以上,嚴(yán)重時看醫(yī)生5.防火措施合適的滅火裝置:水槍、泡沫滅火器、干粉滅火器、CO2滅火器特別防護(hù)措施:穿戴防護(hù)面罩閃點:>110℃自燃溫度:>340℃6.意外泄漏注意事項人員:避免吸入,避免皮膚、眼睛、衣物的接觸,霧狀時戴防護(hù)面罩環(huán)境:迅速移除火源,避免吸入和接觸清潔方法:大量泄漏應(yīng)截流并泵入容器,用吸附材料吸掉殘余物;少量泄漏用水沖洗7.存儲和搬運搬運:遠(yuǎn)離火源、煙霧;不要吸入蒸汽。剝離液的配方是什么?廣州ITO蝕刻液剝離液聯(lián)系方式
剝離液,高效去除光刻膠,不留痕跡。惠州ITO蝕刻液剝離液推薦貨源
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,特別是涉及一種用于包括但不限于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中光刻膠去除步驟的光刻膠剝離去除方法。背景技術(shù):光刻膠是一大類具有光敏化學(xué)作用(或?qū)﹄娮幽芰棵舾?的高分子聚合物材料,是轉(zhuǎn)移紫外曝光或電子束曝照圖案的媒介。光刻膠的也稱為光致抗蝕劑、光阻等,其作用是作為抗刻蝕層保護(hù)襯底表面。光刻膠廣泛應(yīng)用于集成電路(ic)、封裝(packaging)、微機(jī)電系統(tǒng)(mems)、光電子器件光子器件(optoelectronics/photonics)、平板顯示其(led、lcd、oled)和太陽能光伏(solarpv)等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,離子注入層光刻膠(參考圖2)在經(jīng)過高劑量或大分子量的源種注入后(參考圖3),會在光刻膠的外層形成一層硬殼(參考圖4)本發(fā)明命名為主要光刻膠層?,F(xiàn)有的離子注入層光刻膠在經(jīng)過氧氣灰化干法剝離時,由于等離子氧與光刻膠反應(yīng)速率很高,會有一部分等離子氧先穿透主要光刻膠層到達(dá)第二光刻膠層,在與第二光刻膠層反應(yīng)后在內(nèi)部產(chǎn)生大量氣體,第二層光刻膠膨脹(參考圖5),主要光刻膠層終因承受不住內(nèi)層巨大的氣壓而爆裂,爆裂的光刻膠有一定的概率掉落在臨近的光刻膠上(參考圖6),導(dǎo)致此交疊的光刻膠不能法剝離干凈。在經(jīng)過后續(xù)批作業(yè)的濕法剝離后會產(chǎn)生殘余物?;葜軮TO蝕刻液剝離液推薦貨源