立式爐設(shè)備的溫度控制精度和均勻性如何保障？

廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-05-29

采用多段單獨(dú)控溫技術(shù)（至多可達(dá) 16 段），搭配高精度熱電偶和智能 PID 算法，溫度控制精度達(dá) ±1℃，均勻性≤±2.5℃（空爐測試）。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的立式爐配備 3D 熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，通過導(dǎo)流板和風(fēng)扇轉(zhuǎn)速動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)，確保不同高度工位的溫度一致性。

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