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立式爐支持哪些氣體工藝？氣體流量控制精度如何？

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廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-05-29

支持氮?dú)?、氧氣、氬氣、氫氣等多種氣體的單一或混合通入，氣體流量控制精度達(dá) ±1% FS。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的設(shè)備配備質(zhì)量流量控制器（MFC）和氣體混配系統(tǒng)，可根據(jù)工藝需求實(shí)時(shí)調(diào)整氣體成分，滿(mǎn)足氧化、退火、擴(kuò)散等多種工藝場(chǎng)景。

本回答由 廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司 提供

廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
簡(jiǎn)介：廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司主營(yíng)真空固晶回流焊、熱風(fēng)氮?dú)夂附釉O(shè)備及無(wú)氧銀漿烤箱等設(shè)備。
簡(jiǎn)介： 廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司主營(yíng)真空固晶回流焊、熱風(fēng)氮?dú)夂附釉O(shè)備及無(wú)氧銀漿烤箱等設(shè)備。
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廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

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網(wǎng)   址： http://www.hxvaet.com/

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廣東省東莞市市轄區(qū)廣東省東莞市松山湖園區(qū)中集產(chǎn)城數(shù)字科技產(chǎn)業(yè)園中區(qū)2棟3單元
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