上海SIC甩干機公司

晶圓甩干機專為半導(dǎo)體制造打造干燥晶圓。它運用離心力原理，當晶圓放置在甩干機的旋轉(zhuǎn)平臺上高速旋轉(zhuǎn)時，表面液體在離心力作用下被甩出。甩干機結(jié)構(gòu)設(shè)計注重細節(jié)，旋轉(zhuǎn)平臺平整度高，與晶圓接觸良好且不會損傷晶圓。驅(qū)動電機動力強勁，調(diào)速精 zhun ，能根據(jù)不同工藝要求調(diào)整轉(zhuǎn)速。控制系統(tǒng)智能化程度高，可方便地設(shè)定甩干時間、轉(zhuǎn)速等參數(shù)，并實時顯示設(shè)備運行狀態(tài)。在半導(dǎo)體制造流程中，清洗后的晶圓經(jīng)甩干機處理，去除殘留液體，防止液體殘留對后續(xù)光刻、蝕刻等工藝造成干擾，如影響光刻圖案的轉(zhuǎn)移精度，為制造高質(zhì)量芯片提供干燥的晶圓。雙腔甩干機低耗水量設(shè)計，只需少量清水即可完成漂脫流程。上海SIC甩干機公司

甩干機工作原理一、離心力作用原理晶圓甩干機的he心工作原理是離心力。當設(shè)備的轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時，放置在轉(zhuǎn)子內(nèi)的晶圓隨之做圓周運動。根據(jù)離心力公式2（其中為離心力，是液體質(zhì)量，是角速度，是旋轉(zhuǎn)半徑），液體在強大離心力的作用下，克服與晶圓表面的附著力以及自身的表面張力，沿著轉(zhuǎn)子壁的切線方向被甩出。為了產(chǎn)生足夠的離心力，電機驅(qū)動轉(zhuǎn)子以較高的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。不同型號的晶圓甩干機轉(zhuǎn)速不同，但一般都能達到數(shù)千轉(zhuǎn)每分鐘甚至更高，以確保有效去除晶圓表面的各種液體。二、輔助干燥機制除了離心力甩干，許多晶圓甩干機還配備了通風(fēng)系統(tǒng)。在甩干過程中，清潔、干燥的空氣被引入轉(zhuǎn)子內(nèi)部。一方面，氣流可以幫助帶走被離心力甩出的液體；另一方面，氣流在晶圓表面流動，加速液體的蒸發(fā)。對于一些揮發(fā)性較低的液體殘留，通風(fēng)系統(tǒng)的作用尤為重要。部分先進的晶圓甩干機還會采用加熱或超聲等輔助技術(shù)。加熱可以提高液體的溫度，加快其蒸發(fā)速度；超聲技術(shù)則通過高頻振動破壞液體的表面張力，使液體更容易從晶圓表面脫離，進一步增強干燥效果。河北芯片甩干機批發(fā)雙腔甩干機高速旋轉(zhuǎn)時保持穩(wěn)定，避免因不平衡導(dǎo)致的停機。

晶圓甩干機是半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵設(shè)備，基于離心力實現(xiàn)晶圓干燥。電機驅(qū)動旋轉(zhuǎn)部件高速運轉(zhuǎn)，使附著在晶圓表面的液體在離心力作用下脫離晶圓。從結(jié)構(gòu)上看，它的旋轉(zhuǎn)軸要求極高精度，減少振動對晶圓損傷；旋轉(zhuǎn)盤與晶圓接觸，表面處理避免刮傷晶圓。驅(qū)動電機動力強勁且調(diào)速精 zhun ，控制系統(tǒng)能讓操作人員便捷設(shè)置參數(shù)。在半導(dǎo)體制造中，清洗后的晶圓經(jīng)甩干機處理，去除殘留的清洗液，防止液體殘留導(dǎo)致的雜質(zhì)污染、氧化等問題，保證后續(xù)工藝順利，對提高芯片質(zhì)量起著重要作用。

晶圓甩干機是專為半導(dǎo)體制造設(shè)計的專業(yè)干燥設(shè)備?；陔x心力原理，當晶圓被放入甩干機并高速旋轉(zhuǎn)時，表面液體在離心力作用下被甩出，實現(xiàn)快速干燥。該設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊且功能強大，旋轉(zhuǎn)平臺具備高精度和高平整度，確保晶圓在旋轉(zhuǎn)過程中保持穩(wěn)定。驅(qū)動電機動力強勁，調(diào)速范圍廣，能滿足不同工藝對轉(zhuǎn)速的要求。控制系統(tǒng)智能化程度高，可實時監(jiān)控甩干過程，并對參數(shù)進行調(diào)整。在半導(dǎo)體制造流程中，清洗后的晶圓經(jīng)甩干機處理，去除殘留液體，避免因液體殘留導(dǎo)致的氧化、雜質(zhì)沉積等問題，為后續(xù)光刻、蝕刻等工藝提供干燥、潔凈的晶圓，保障半導(dǎo)體制造工藝的順利進行。多模式適配：預(yù)設(shè)多種甩干程序（如輕柔、標準、強力），適配不同材質(zhì)物料。

晶圓甩干機常見故障及解決方法

一、甩干機轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定故障原因：可能是電機故障、傳動皮帶松動或控制系統(tǒng)出現(xiàn)問題。解決方法：檢查電機是否有異常發(fā)熱、噪音等情況，如有則需維修或更換電機；調(diào)整傳動皮帶的松緊度，若皮帶磨損嚴重應(yīng)及時更換；檢查控制系統(tǒng)的參數(shù)設(shè)置，如有必要，重新校準或升級控制程序。

二、甩干后晶圓表面有殘留液體故障原因：可能是甩干時間不足、轉(zhuǎn)速不夠、晶圓放置不平衡或設(shè)備腔體密封性不好。解決方法：適當延長甩干時間或提高轉(zhuǎn)速；重新放置晶圓，確保其在甩干桶中處于平衡狀態(tài)；檢查設(shè)備腔體的密封膠條，如有老化、損壞，及時更換。

三、設(shè)備運行時出現(xiàn)異常噪音故障原因：可能是機械部件磨損、松動，或者有異物進入設(shè)備內(nèi)部。解決方法：停機檢查各個機械部件，如軸承、甩干轉(zhuǎn)子等，對磨損嚴重的部件進行更換，對松動的部件進行緊固；清理設(shè)備內(nèi)部的異物。 靜音設(shè)計的雙腔甩干機運行平穩(wěn)，減少對生活環(huán)境的干擾。河北芯片甩干機批發(fā)

雙腔甩干機透明觀察窗便于隨時查看脫水狀態(tài)，無需中途停機。上海SIC甩干機公司

在國際上，一些發(fā)達國家如美國、日本等在立式甩干機的研發(fā)和制造領(lǐng)域具有 lead 優(yōu)勢。這些國家的 zhi ming企業(yè)擁有先進的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗，其生產(chǎn)的甩干機在gao duan 芯片制造生產(chǎn)線中占據(jù)著較大的市場份額。例如，美國的某些企業(yè)生產(chǎn)的甩干機在轉(zhuǎn)速控制精度、干燥效果和自動化程度等方面處于世界 ling xian 水平，能夠滿足前沿的芯片制造工藝（如 5nm 及以下制程）的苛刻要求；日本的企業(yè)則在設(shè)備的可靠性、穩(wěn)定性和精細制造工藝方面表現(xiàn)出色，其產(chǎn)品在全球半導(dǎo)體制造行業(yè)中享有很高的聲譽。這些國際 gao duan  企業(yè)不斷投入大量的研發(fā)資源，致力于新技術(shù)、新材料的應(yīng)用和新功能的開發(fā)，以保持其在市場競爭中的優(yōu)勢地位。上海SIC甩干機公司