氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做？1.對氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)進(jìn)行保養(yǎng)時，由于常見氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級機(jī)械泵組成，因此在常規(guī)檢測時通常由前級機(jī)械泵對被檢件預(yù)抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到規(guī)定壓力后，再進(jìn)入真空系統(tǒng)部分；被檢件在檢測前會被要求進(jìn)行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng)。否則將直接污染真空系統(tǒng)，甚至造成真空泵損壞。因此，對被檢件的前處理以及對設(shè)備自身的保養(yǎng)清理十分重要。2.除了上述氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)需要保養(yǎng)之外，還需要進(jìn)行前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)，以及電磁閥組的超聲清洗，此外質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù)，避免因設(shè)備保養(yǎng)不及時導(dǎo)致設(shè)備使用壽命縮短。利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。分體式氦氣檢測儀
氦質(zhì)譜檢漏儀性能試驗(yàn)方法：1、反應(yīng)時間、消除時間及其測定，反應(yīng)時間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號為零(或補(bǔ)償?shù)搅?時，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時間，記為τR。消除時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到固定值后，停止送氦，其訊號下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時間，記為τC。2、工作真空、極限真空及入口處抽速，質(zhì)譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。舟山妤林氦氣檢測設(shè)備氦檢模塊氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運(yùn)動時，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時，打開入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空，當(dāng)P1降至20Pa時，入口閥2關(guān)閉，入口閥3打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時間縮短，此時檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。
便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀的明顯優(yōu)點(diǎn)：1、性價比高：便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀是一款實(shí)用的檢漏儀，可覆蓋廣大的應(yīng)用領(lǐng)域，競爭性的價格及較低的使用成本，大抽速前級泵的設(shè)計，可縮短抽氣時間，提高使用效率；2、自我保護(hù)功能：在突然暴露大氣和突然斷電時具有保護(hù)功能，系統(tǒng)的逆擴(kuò)散設(shè)計保護(hù)了質(zhì)譜室的清潔、真空，且不需要液氮；3、結(jié)構(gòu)靈活：可采用主機(jī)與前級泵單獨(dú)采買，前級泵可使用油封式旋片泵或渦卷式干泵，對于便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀，既可選擇帶有連接配件的主機(jī)形式，也可選擇安裝在兩輪小車上的整體形式。氦質(zhì)譜檢漏儀在運(yùn)行過程中不能移動。
選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時主要考慮以下問題：1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設(shè)置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應(yīng)選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認(rèn)真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染，就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大，必須選用抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預(yù)抽泵。氦質(zhì)譜檢漏儀的維護(hù)方法及常見故障的處理要求是什么？江蘇妤林氦檢儀售后服務(wù)
氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的優(yōu)點(diǎn)。分體式氦氣檢測儀
氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進(jìn)行動態(tài)檢漏時所能檢測出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到穩(wěn)定值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時間不大于3s。所謂“可檢率”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認(rèn)定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內(nèi)輸出儀表的較大的波動量，能較方便地估計檢漏效果。分體式氦氣檢測儀
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