氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)參數(shù):可檢漏率:5×10-12Pa·m3/s;漏率顯示范圍:1×10-3~1×10-12Pa·m3/s;啟動(dòng)時(shí)間:≤5min;響應(yīng)時(shí)間:<2S;檢漏口壓力:300Pa;極限真空:5×10-4Pa;外形尺寸:560(W)×420(D)×300(H);重量:46KG。優(yōu)勢(shì)特點(diǎn):1.采用便攜式設(shè)計(jì);2.設(shè)備外型美觀小巧;3.采用液晶觸摸屏設(shè)計(jì);4.有通訊接口;5.可以方便地將檢漏數(shù)據(jù)輸出。使用環(huán)境:環(huán)境溫度:5~35℃;相對(duì)濕度:<80%;供電電壓:?jiǎn)蜗嘟涣?20V±10%,50Hz;工作電流:10A。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。江蘇分體式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)
氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)譜室故障及處理:1、燈絲無(wú)法正常啟動(dòng),在確認(rèn)機(jī)械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后,若燈絲仍無(wú)法發(fā)射離子流,則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍,檢查離子源航空插座與接線柱是否開(kāi)路,若開(kāi)路,需要更換燈絲,若不開(kāi)路,檢查其接線柱與其他接頭是否導(dǎo)通,消除短路現(xiàn)象。2、本底信號(hào)處于雜亂無(wú)章的波動(dòng)狀態(tài)且大小遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)氦質(zhì)譜檢漏儀故障自身的本底噪聲,需要考慮放大器是否故障。質(zhì)譜室出現(xiàn)故障一般用戶(hù)無(wú)法解決,只需對(duì)故障進(jìn)行定位,交由維修ZX處理。3、檢漏鍵無(wú)效(綠色指示燈亮),檢查燈絲是否啟動(dòng)。如果燈絲沒(méi)有啟動(dòng)或者燈絲斷,按檢漏鍵將沒(méi)有反應(yīng)。浙江自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀單位可檢漏率即氦質(zhì)譜檢漏儀所能檢出的漏孔的漏率。
氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇:首先要考慮到靈敏度必需充分滿(mǎn)足要求,選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)。但也不是越高越好。便攜式檢漏儀適于檢小件,靈敏度也較高,移動(dòng)方便。由于本機(jī)真空系統(tǒng)很小,抽氣能力有限,所以檢大容器時(shí)就不得不靠較大輔助真空系統(tǒng)抽氣,由于氣體分流、靈敏度將降低。檢大容器時(shí),一般選逆擴(kuò)散型檢漏儀,因被檢件接在分子泵錢(qián)級(jí)與機(jī)械泵連接管道上,要求真空度不高,而順檢型檢漏儀被檢件接在質(zhì)譜室上,要求真空度高,否則儀器不能工作,所以抽氣時(shí)間要長(zhǎng)。如果在流水線上測(cè)振儀可選用特定檢漏儀或作簡(jiǎn)單工裝使用。若平時(shí)被檢件什么樣的都可能有,可以選用基本型氦質(zhì)譜檢漏儀,以降低成本。
氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W。儀器應(yīng)安裝在符合儀器使用的環(huán)境要求的場(chǎng)所,特別是儀器的電源插座,應(yīng)符合要求,要有良好的地線,左右要留有30CM的通風(fēng)間距。放置好檢漏儀,以避免儀器有傾斜或傾倒的危險(xiǎn)。檢漏儀的底部有安裝孔,可以將其固定在桌子或支架上。在儀器運(yùn)行前要確保真空泵中的機(jī)械泵油是否足夠,機(jī)械泵油必須用特定的針對(duì)機(jī)械泵型號(hào)的油。氦質(zhì)譜檢漏儀的機(jī)械泵有足夠的機(jī)械泵油;保證機(jī)體內(nèi)分子泵、機(jī)械泵、真高空組件各連接順暢;電源線線路沒(méi)有破損,有良好的接地。氦質(zhì)譜檢漏儀要放平穩(wěn),不能傾斜,檢漏儀底面要有一層防靜電布。氦質(zhì)譜檢漏儀雖然是因?yàn)檫x用氦氣作為示漏氣體而得名。
氦質(zhì)譜檢漏儀可采用干式泵,達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果,為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。5.檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不但可檢測(cè)氦氣,而且能檢測(cè)其它氣體。在獲得氦氣信號(hào)值的基礎(chǔ)上,通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)的泄漏量比較,可以得到氦氣的泄漏量。氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專(zhuān)門(mén)用于檢漏的儀器。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,用得比較普遍的檢漏儀器。在使用氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)產(chǎn)品檢漏前首先要對(duì)工件的結(jié)構(gòu)和制造工業(yè)有所了解。江蘇分體式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)
氦質(zhì)譜檢漏儀作為一種測(cè)量?jī)x器。江蘇分體式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)
氦質(zhì)譜檢漏儀是基于質(zhì)譜法原理,以氦氣作為檢漏儀器。質(zhì)譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計(jì)、氣體萃取系統(tǒng)和電氣部分組成。質(zhì)譜法室中燈絲發(fā)射的電子在室內(nèi)來(lái)回振蕩,與室內(nèi)氣體碰撞,氦氣泄漏進(jìn)入室內(nèi),電離成正離子,正離子在加速電場(chǎng)的作用下進(jìn)入人體磁場(chǎng),當(dāng)洛倫茲力效應(yīng)偏轉(zhuǎn)時(shí),電弧形成,加速電壓的變化使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收槽到達(dá)接收極而被探測(cè)到。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,用得比較普遍的檢漏儀器。江蘇分體式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)
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