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Kashiyama 干式真空泵攻克濕熱環(huán)境難題，東南亞半導(dǎo)體
2025 年 4 月，日本 Kashiyama 株式會社宣布其干式真空泵在東南亞半導(dǎo)體市場占有率突破 28%，超越日本荏原成為區(qū)域***。這一突破源于其針對 95% 濕度環(huán)境優(yōu)化的螺桿真空泵，通過陶瓷涂層轉(zhuǎn)子和防潮密封設(shè)計(jì)，在馬來西亞依斯干達(dá)晶圓廠實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)行 18000 小時(shí)無故障，顆粒捕集率達(dá) 99.99%。
技術(shù)突破：應(yīng)對極端工況的三重防護(hù)
該設(shè)備采用空冷式結(jié)構(gòu)，無需冷卻水系統(tǒng)，節(jié)省廠房空間 30%。其**的氣鎮(zhèn)（Gas Ballast）技術(shù)，使水蒸氣排出性能提升 10%，在新加坡某存儲芯片廠的刻蝕工序中，將晶圓缺陷率從 1.2% 降至 0.5%。更具顛覆性的是，設(shè)備維護(hù)周期長達(dá) 6 年（潔凈環(huán)境下），較傳統(tǒng)油潤滑泵降低運(yùn)維成本 80%。
市場擴(kuò)張：本土化與智能化雙輪驅(qū)動
Kashiyama 在印尼雅加達(dá)新建的組裝廠已投產(chǎn)，本地化率提升至 60%，產(chǎn)品交付周期縮短至 15 天。其與新加坡國立大學(xué)合作開發(fā)的 AI 預(yù)測維護(hù)系統(tǒng)，通過振動傳感器和機(jī)器學(xué)習(xí)算法，可提** 個(gè)月預(yù)警軸承磨損，將計(jì)劃外停機(jī)減少 90%。目前該技術(shù)已獲臺積電、聯(lián)電等企業(yè)千臺級采購訂單，在越南半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園的市占率達(dá) 35%。
行業(yè)影響：干式技術(shù)重塑競爭格局
全球半導(dǎo)體真空泵市場中，干式泵占比已從 2020 年的 45% 提升至 2025 年的 68%。Kashiyama 的成功標(biāo)志著亞洲企業(yè)在**真空設(shè)備領(lǐng)域的崛起，其碳化硅轉(zhuǎn)子技術(shù)（壽命 10 年）和寬電壓自適應(yīng)設(shè)計(jì)（100V-200V 自動切換），正在重新定義行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。據(jù) Global Market Insights 預(yù)測，東南亞半導(dǎo)體真空泵市場規(guī)模將在 2030 年達(dá) 22 億美元，干式技術(shù)將占據(jù)主導(dǎo)地位。
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