采用垂直單向流與水平單向流混合送風(fēng)模式,在電芯堆疊區(qū)設(shè)置0.45m/s勻速氣流屏障。通過CFD模擬優(yōu)化送風(fēng)面布局,使≥0.5μm顆粒物濃度始終≤3520個/m3。電芯注液工序采用隔離操作箱,內(nèi)置氮?dú)獗Wo(hù)系統(tǒng),將氧含量控制在10ppm以下,防止電解液氧化。針對光刻工序?qū)諝夥肿游廴疚铮ˋMC)的嚴(yán)苛要求,配置化學(xué)過濾機(jī)組,對硼、磷、硫等氣態(tài)雜質(zhì)去除效率達(dá)99.999%。采用VOC在線監(jiān)測系統(tǒng),實(shí)時檢測NH3、SO2等關(guān)鍵指標(biāo),結(jié)合FFU風(fēng)機(jī)過濾單元的三級過濾體系,確保ISO1級潔凈環(huán)境。無塵車間配備在線粒子計數(shù)器,實(shí)時監(jiān)測≥0.1μm顆粒,數(shù)據(jù)可追溯。醫(yī)藥無塵車間參考
電子制造行業(yè)中,芯片、電路板等產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝極其精密。芯片內(nèi)部電路線寬可達(dá)納米級別,微小的塵埃粒子一旦落在芯片上,就可能造成電路短路、斷路等問題,嚴(yán)重影響產(chǎn)品性能和可靠性。例如,在智能手機(jī)芯片制造過程中,哪怕是極其細(xì)微的雜質(zhì)都可能導(dǎo)致芯片運(yùn)行不穩(wěn)定,出現(xiàn)卡頓、發(fā)熱等現(xiàn)象。而且電子產(chǎn)品集成度越來越高,對無塵車間潔凈度的要求也隨之提升。電路板生產(chǎn)中,塵埃污染可能使焊點(diǎn)虛焊,影響電路板的電氣性能。所以,電子制造行業(yè)對無塵車間潔凈度要求極高,以保障產(chǎn)品質(zhì)量。中國臺灣PCB單層無塵車間工程光學(xué)纖維對接在無塵車間進(jìn)行,插入損耗≤0.2dB,信號傳輸穩(wěn)定。
鋰電池拆解過程易產(chǎn)生粉塵污染,對無塵車間的粉塵控制要求極高。設(shè)計的無塵車間,采用了先進(jìn)的下吸式集塵裝置和防爆型真空吸塵器,將粉塵濃度控制在1mg/m3以下。同時,楚嶸公司還注重環(huán)保處理,對收集的粉塵進(jìn)行專業(yè)處理,確保符合環(huán)保要求。車間內(nèi)還設(shè)置了氣體檢測儀和緊急排風(fēng)系統(tǒng),確保拆解過程的安全性和環(huán)保性。光刻工序?qū)o塵車間的潔凈度要求極高,直接影響光刻精度。設(shè)計的半導(dǎo)體光刻無塵車間,采用了先進(jìn)的空氣凈化系統(tǒng)和化學(xué)過濾機(jī)組,對0.1μm顆粒過濾效率達(dá)99.9995%。在光刻機(jī)臺周圍,楚嶸公司設(shè)置了單獨(dú)的百級潔凈罩,通過層流送風(fēng)維持正壓環(huán)境,確保了光刻膠涂布與曝光過程的潔凈度。同時,車間內(nèi)還配備了在線監(jiān)測系統(tǒng),實(shí)時監(jiān)測潔凈度等關(guān)鍵參數(shù),確保光刻精度的穩(wěn)定性。
半導(dǎo)體制造是無塵車間應(yīng)用特別的領(lǐng)域之一。在芯片生產(chǎn)過程中,微小的塵埃顆?;蛭廴疚锒伎赡軐?dǎo)致電路短路、漏電或性能下降,甚至使整個芯片報廢。因此,半導(dǎo)體制造對無塵車間的潔凈度要求極高,通常需要達(dá)到ISO 1級或更高的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。無塵車間通過高效的空氣過濾系統(tǒng)、嚴(yán)格的氣流組織設(shè)計和精密的環(huán)境控制,為半導(dǎo)體制造提供了一個幾乎無塵、無菌的生產(chǎn)環(huán)境。在半導(dǎo)體制造中,無塵車間面臨著諸多技術(shù)挑戰(zhàn)。首先,隨著芯片特征尺寸的不斷縮小,對潔凈度的要求也越來越高。VOCs排放≤10mg/m3,環(huán)保達(dá)標(biāo),助力綠色生產(chǎn)。
光學(xué)儀器和航空航天部件的制造需要極高的精度和可靠性,無塵車間可以減少灰塵和顆粒物的存在,保證光學(xué)產(chǎn)品的清晰度和精度。在光學(xué)制造領(lǐng)域,無塵車間是保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵因素。無塵車間確保了航空航天零部件的制造過程中不受污染,提高了產(chǎn)品的整體質(zhì)量和安全性。航空航天產(chǎn)品的制造對環(huán)境要求極為嚴(yán)格,無塵車間為零部件制造提供了潔凈、穩(wěn)定的環(huán)境,保障了航空航天事業(yè)的發(fā)展。無塵車間在科研實(shí)驗室中的應(yīng)用,可以減少實(shí)驗過程中的污染和誤差,提高實(shí)驗結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。無論是生物學(xué)、化學(xué)、物理學(xué)還是材料科學(xué)等領(lǐng)域的研究,都需要在潔凈、無塵的環(huán)境中進(jìn)行。無塵車間為科學(xué)研究提供了良好的實(shí)驗環(huán)境,推動了科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步。航空航天零件加工中,無塵車間通過振動隔離技術(shù),確保加工精度達(dá)0.001mm。醫(yī)藥無塵車間參考
無塵車間采用智能門禁系統(tǒng),人員著裝違規(guī)自動報警,合規(guī)率100%。醫(yī)藥無塵車間參考
無塵無菌車間施工全過程執(zhí)行ISO 14644 - 1潔凈室分級標(biāo)準(zhǔn),采用無塵化裝配工藝,關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)進(jìn)行懸浮粒子濃度檢測??⒐r需達(dá)到動態(tài)條件下每立方米空氣中≥0.5μm粒子數(shù)不超過3,520個(對應(yīng)ISO 8級)的標(biāo)準(zhǔn)。嚴(yán)格的施工質(zhì)量控制保證了車間建設(shè)的質(zhì)量和性能。無塵車間在醫(yī)療設(shè)備制造過程中同樣重要,能避免生產(chǎn)過程中的污染,保障設(shè)備的精度和可靠性。醫(yī)療設(shè)備的生產(chǎn)對環(huán)境潔凈度要求極高,無塵車間為設(shè)備制造提供了可靠的環(huán)境保障,確保設(shè)備能夠正常運(yùn)行,為醫(yī)療事業(yè)提供支持。醫(yī)藥無塵車間參考