中源綠凈為精密儀器裝配潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng),重點(diǎn)解決了微振動(dòng)與潔凈度的同步管控問題。針對(duì)光學(xué)儀器、精密量具的裝配 100 級(jí)潔凈區(qū),配置了一體化監(jiān)測(cè)終端,可同步采集 0.3μm 微粒濃度(采樣頻率 1 次 / 10 秒)、環(huán)境振動(dòng)(頻率范圍 1~1000Hz,測(cè)量精度 ±0.001mm/s)、空氣流速(0.2~0.4m/s)等參數(shù)。采用壓電式振動(dòng)傳感器實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量,數(shù)據(jù)采樣率達(dá) 1000Hz,確保捕捉細(xì)微振動(dòng)信號(hào)。搭配振動(dòng)源定位算法,能快速識(shí)別設(shè)備運(yùn)行引發(fā)的振動(dòng)超標(biāo),使精密儀器裝配精度提升 40%。該系統(tǒng)已適配蔡司、徠卡等企業(yè)的生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn),在 顯微鏡裝配車間應(yīng)用中,環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率保持在 99.92% 以上。中源綠凈環(huán)境監(jiān)測(cè)服務(wù),使 25 + 牧場(chǎng)監(jiān)測(cè)更科學(xué),牛奶合格率提 10%!十萬級(jí)環(huán)境監(jiān)測(cè)在線監(jiān)測(cè)
中源綠凈在半導(dǎo)體晶圓光刻潔凈室潔凈度監(jiān)測(cè)中,打造了超微顆粒 管控體系。應(yīng)用場(chǎng)景:半導(dǎo)體晶圓光刻潔凈車間。針對(duì) 10 級(jí)光刻 區(qū),采用每 1.5 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的高密度部署,可實(shí)時(shí)采集 0.1μm、0.3μm、0.5μm 多粒徑微粒濃度,采樣流量達(dá) 50L/min,數(shù)據(jù)更新周期為 1 秒 / 次。系統(tǒng)搭載激光誘導(dǎo)擊穿光譜粒子計(jì)數(shù)器, 小檢測(cè)粒徑達(dá) 0.05μm,檢測(cè)精度誤差≤±5%。通過與光刻設(shè)備聯(lián)動(dòng),當(dāng) 0.1μm 微粒濃度超過 35 粒 / 升時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)曝光環(huán)境,配合微粒溯源算法快速定位污染源,使晶圓光刻缺陷率下降 52%。已在中芯國際、臺(tái)積電等企業(yè)應(yīng)用,符合 SEMI F21 潔凈度標(biāo)準(zhǔn),連續(xù)運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示潔凈度達(dá)標(biāo)率達(dá) 99.96%。無塵室環(huán)境監(jiān)測(cè)在線監(jiān)測(cè)中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備,已在 30 + 汽車零部件廠穩(wěn)定運(yùn)行 3 年 +,性能可靠!
中源綠凈在食品無菌灌裝潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)中,構(gòu)建了微生物 - 氣壓雙閉環(huán)監(jiān)測(cè)體系。針對(duì)果汁、乳制品無菌灌裝的 C 級(jí)潔凈區(qū),采用每 2.5 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的布局,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)沉降菌(檢測(cè)頻率 1 次 / 小時(shí))、浮游菌(采樣流量 100L/min)、相鄰區(qū)域壓差(控制梯度≥10Pa,精度 ±1Pa)等參數(shù)。系統(tǒng)搭載的生物傳感器采用熒光染色技術(shù),微生物檢測(cè)響應(yīng)時(shí)間≤30 分鐘,較傳統(tǒng)培養(yǎng)法效率提升 90%。通過與灌裝設(shè)備聯(lián)動(dòng)控制,當(dāng)微生物濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)觸發(fā)灌裝暫停,使產(chǎn)品微生物不合格率下降 55%。已在農(nóng)夫山泉、光明乳業(yè)等企業(yè)應(yīng)用,符合 GB 14881 食品生產(chǎn)衛(wèi)生規(guī)范,環(huán)境監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)通過率 100%。?
中源綠凈在電子元器件潔凈車間潔凈度監(jiān)測(cè)中,構(gòu)建了多粒徑微粒全流程管控體系。應(yīng)用場(chǎng)景:電子元器件生產(chǎn)潔凈車間。針對(duì) 100 級(jí)至 1000 級(jí)潔凈環(huán)境,采用每 2 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的高密度部署,可實(shí)時(shí)采集 0.3μm、0.5μm、1μm、5μm 多粒徑微粒濃度,采樣流量達(dá) 50L/min,數(shù)據(jù)更新周期為 2 秒 / 次。系統(tǒng)搭載激光散射式粒子計(jì)數(shù)器, 小檢測(cè)粒徑達(dá) 0.1μm,檢測(cè)精度誤差≤±10%。通過自研的微粒溯源算法,能快速定位污染源位置,當(dāng)微粒濃度超過閾值時(shí)自動(dòng)聯(lián)動(dòng) FFU 風(fēng)機(jī)過濾單元調(diào)節(jié)風(fēng)速,使元器件表面微粒附著率下降 58%。已在富士康、立訊精密等企業(yè)應(yīng)用,符合 ISO 14644-1 潔凈室標(biāo)準(zhǔn),連續(xù)運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示潔凈度達(dá)標(biāo)率達(dá) 99.94%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)方案,助力 30 + 企業(yè)實(shí)現(xiàn)綠色生產(chǎn),符合環(huán)保要求!
中源綠凈在電子元器件組裝無塵車間環(huán)境監(jiān)測(cè)中,構(gòu)建了微粒 - 靜電 - 氣流多參數(shù)協(xié)同體系。應(yīng)用場(chǎng)景:電子元器件無塵組裝車間。針對(duì) 1000 級(jí)組裝區(qū),采用每 3 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的布局,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 0.5μm 微粒濃度(采樣流量 28.3L/min,數(shù)據(jù)更新周期 3 秒)、靜電電壓(量程 - 1000~+1000V,精度 ±10V)、氣流速度(0.2~0.4m/s,精度 ±0.02m/s)及溫濕度(溫度 20~25℃,濕度 40%~60% RH)。系統(tǒng)搭載的激光粒子計(jì)數(shù)器 小檢測(cè)粒徑達(dá) 0.3μm,配合非接觸式靜電傳感器,響應(yīng)時(shí)間均≤1 秒。通過與流水線聯(lián)動(dòng)控制,當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)局部凈化裝置,使元器件焊接不良率下降 45%。已在華為終端、小米電子等企業(yè)應(yīng)用,符合 IPC-A-610 電子組件標(biāo)準(zhǔn),環(huán)境參數(shù)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)率 99.91%。中源綠凈為 20 + 骨科植入物生產(chǎn)企業(yè)保障生產(chǎn)潔凈度,產(chǎn)品微粒檢測(cè)合格率提升!深圳在線環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程
中源綠凈為 30 + 企業(yè)提供環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備定期巡檢服務(wù),預(yù)防設(shè)備故障發(fā)生!十萬級(jí)環(huán)境監(jiān)測(cè)在線監(jiān)測(cè)
中源綠凈針對(duì)醫(yī)療器械組裝無塵車間的環(huán)境監(jiān)測(cè)方案,聚焦于微粒與微生物的雙重管控。應(yīng)用場(chǎng)景:醫(yī)療器械無塵組裝車間。依據(jù) ISO 13485 醫(yī)療器械質(zhì)量管理體系,在 8 級(jí)潔凈組裝區(qū)部署監(jiān)測(cè)終端,同步監(jiān)測(cè) 0.5μm 微粒濃度(采樣頻率 1 次 / 5 秒)、表面微生物(每 2 小時(shí)檢測(cè) 1 次)、工作臺(tái)面照度(≥300lux,精度 ±20lux)及溫濕度。采用接觸碟法微生物采樣技術(shù),檢測(cè)結(jié)果出具時(shí)間縮短至 2 小時(shí),準(zhǔn)確率 99%。通過與組裝設(shè)備聯(lián)動(dòng),當(dāng)微生物超標(biāo)時(shí)自動(dòng)鎖定作業(yè)區(qū)域,使醫(yī)療器械無菌合格率提升至 99.95%。已服務(wù)于邁瑞醫(yī)療、魚躍醫(yī)療等企業(yè),助力通過 FDA 現(xiàn)場(chǎng)核查,環(huán)境監(jiān)測(cè)合規(guī)率 100%。十萬級(jí)環(huán)境監(jiān)測(cè)在線監(jiān)測(cè)