蘇州手持環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程

中源綠凈在化妝品無(wú)菌灌裝潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)中，構(gòu)建了微生物 - 微粒雙參數(shù)實(shí)時(shí)防控體系。應(yīng)用場(chǎng)景：化妝品無(wú)菌灌裝車(chē)間。針對(duì)妝字號(hào)無(wú)菌產(chǎn)品灌裝的 A 級(jí)潔凈區(qū)，采用每 2 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的布局，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 0.5μm 微粒濃度（采樣流量 28.3L/min，每 5 秒更新一次數(shù)據(jù)）、浮游菌數(shù)量（每 30 分鐘采樣一次，檢測(cè)下限 1CFU/m3）、環(huán)境溫濕度（溫度 20~25℃，精度 ±0.5℃；濕度 40%~60% RH，精度 ±2%）及灌裝區(qū)壓差（≥15Pa）。系統(tǒng)搭載的微生物快速檢測(cè)模塊采用 ATP 生物熒光技術(shù)，檢測(cè)時(shí)間從傳統(tǒng) 48 小時(shí)縮短至 15 分鐘，準(zhǔn)確率達(dá) 98.5%。通過(guò)與灌裝線(xiàn) PLC 聯(lián)動(dòng)，當(dāng)參數(shù)超標(biāo)時(shí) 0.5 秒內(nèi)觸發(fā)停機(jī)，使產(chǎn)品微生物不合格率下降 62%。已在完美、丸美等企業(yè)應(yīng)用，符合《化妝品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》，環(huán)境數(shù)據(jù)審計(jì)通過(guò)率 100%。中源綠凈環(huán)境監(jiān)測(cè)服務(wù)，使 65 + 塑料廠(chǎng)廢氣處理效率提 18%，環(huán)保更可靠！蘇州手持環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程

中源綠凈針對(duì)航空電子裝配潔凈室的環(huán)境監(jiān)測(cè)方案，聚焦于微振動(dòng)與靜電的 管控。應(yīng)用場(chǎng)景：航空機(jī)載電子設(shè)備裝配潔凈室。依據(jù) AS9100 航空質(zhì)量管理體系要求，在 100 級(jí)潔凈裝配區(qū)部署一體化監(jiān)測(cè)終端，同步監(jiān)測(cè) 0.3μm 微粒濃度、環(huán)境振動(dòng)（頻率范圍 1~500Hz，測(cè)量精度 ±0.001mm/s）、靜電電壓（量程 - 500~+500V，精度 ±5V）及氣流速度（0.2~0.3m/s）。采用壓電式振動(dòng)傳感器和非接觸式靜電探頭，數(shù)據(jù)采樣率達(dá) 1000Hz，確保捕捉細(xì)微參數(shù)變化。通過(guò)振動(dòng)源識(shí)別算法，可快速定位設(shè)備運(yùn)行引發(fā)的振動(dòng)超標(biāo)，配合靜電消除器聯(lián)動(dòng)控制，使電子元件靜電損傷率下降 58%。已服務(wù)于霍尼韋爾航空、中航工業(yè)電子等 8 家企業(yè)，助力其通過(guò) DO-160 航空電子環(huán)境測(cè)試，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率保持在 99.93% 以上。深圳0.5um環(huán)境監(jiān)測(cè)顆粒物在線(xiàn)監(jiān)測(cè)中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測(cè)方面，為 20 + 醫(yī)療器械企業(yè)保障生產(chǎn)潔凈度，產(chǎn)品微粒合格率提升！

中源綠凈為半導(dǎo)體離子注入潔凈室定制的潔凈度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，強(qiáng)化了高能環(huán)境下的監(jiān)測(cè)可靠性。應(yīng)用場(chǎng)景：半導(dǎo)體離子注入潔凈車(chē)間。依據(jù) SEMI F47 標(biāo)準(zhǔn)，在 100 級(jí)注入?yún)^(qū)部署耐輻射監(jiān)測(cè)終端，可承受高能離子輻射環(huán)境，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 0.3μm 微粒濃度、注入?yún)^(qū)溫度（20~25℃±0.5℃）及靜電電位。采用防輻射涂層處理傳感器，在輻射環(huán)境下檢測(cè)精度衰減≤5%/ 年。通過(guò)與離子源設(shè)備聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié)，當(dāng)微粒濃度異常時(shí)自動(dòng)優(yōu)化束流參數(shù)，使離子注入摻雜不均勻率下降 42%。已在中芯寧波、聯(lián)電等企業(yè)應(yīng)用，通過(guò)半導(dǎo)體設(shè)備認(rèn)證，監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)追溯通過(guò)率 100%。

中源綠凈為光學(xué)鏡片鍍膜潔凈室定制的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，聚焦于微粒與氣體純度的 管控。針對(duì)鏡片鍍膜的 10 級(jí)潔凈區(qū)，部署了超高精度監(jiān)測(cè)終端，可檢測(cè) 0.1μm 微粒濃度（采樣流量 100L/min）、鍍膜氣體純度（99.999%~99.9999%，精度 ±0.0001%）、環(huán)境溫濕度及氣壓。采用激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)（LIBS）檢測(cè)氣體純度，響應(yīng)時(shí)間≤1 秒，數(shù)據(jù)采樣頻率達(dá) 10 次 / 秒。通過(guò)與鍍膜機(jī)聯(lián)動(dòng)控制，當(dāng)氣體純度不達(dá)標(biāo)時(shí)自動(dòng)切斷氣源，使鏡片鍍膜不良率下降 45%。已在華為光學(xué)、舜宇光學(xué)等企業(yè)應(yīng)用，滿(mǎn)足 ISO 10110 光學(xué)鏡片標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境管控達(dá)標(biāo)率維持在 99.9%。中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測(cè)方面，為 30 + 企業(yè)提供環(huán)境監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)共享服務(wù)，促進(jìn)企業(yè)間交流合作！

中源綠凈在半導(dǎo)體晶圓光刻潔凈室潔凈度監(jiān)測(cè)中，打造了超微顆粒 管控體系。應(yīng)用場(chǎng)景：半導(dǎo)體晶圓光刻潔凈車(chē)間。針對(duì) 10 級(jí)光刻 區(qū)，采用每 1.5 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的高密度部署，可實(shí)時(shí)采集 0.1μm、0.3μm、0.5μm 多粒徑微粒濃度，采樣流量達(dá) 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期為 1 秒 / 次。系統(tǒng)搭載激光誘導(dǎo)擊穿光譜粒子計(jì)數(shù)器， 小檢測(cè)粒徑達(dá) 0.05μm，檢測(cè)精度誤差≤±5%。通過(guò)與光刻設(shè)備聯(lián)動(dòng)，當(dāng) 0.1μm 微粒濃度超過(guò) 35 粒 / 升時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)曝光環(huán)境，配合微粒溯源算法快速定位污染源，使晶圓光刻缺陷率下降 52%。已在中芯國(guó)際、臺(tái)積電等企業(yè)應(yīng)用，符合 SEMI F21 潔凈度標(biāo)準(zhǔn)，連續(xù)運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示潔凈度達(dá)標(biāo)率達(dá) 99.96%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，可根據(jù)企業(yè)需求定制，滿(mǎn)足多樣化監(jiān)測(cè)場(chǎng)景！蘇州手持環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程

中源綠凈為 30 + 辦公樓提供環(huán)境監(jiān)測(cè)，營(yíng)造舒適辦公環(huán)境，提高辦公效率！蘇州手持環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程

中源綠凈在半導(dǎo)體薄膜沉積潔凈室潔凈度監(jiān)測(cè)中，推出了微粒 - 氣體純度聯(lián)動(dòng)方案。應(yīng)用場(chǎng)景：半導(dǎo)體薄膜沉積潔凈車(chē)間。針對(duì) 10 級(jí)沉積區(qū)，部署超高精度監(jiān)測(cè)終端，同步檢測(cè) 0.1μm 微粒濃度（采樣流量 100L/min）、沉積氣體純度（99.999%~99.9999%，精度 ±0.0001%）及腔體壓差（≥20Pa）。采用激光散射法與氣相色譜聯(lián)用技術(shù)，氣體純度響應(yīng)時(shí)間≤1 秒，微粒檢測(cè)分辨率達(dá) 0.05μm。系統(tǒng)與沉積設(shè)備聯(lián)動(dòng)，當(dāng)氣體雜質(zhì)或微粒超標(biāo)時(shí)自動(dòng)切斷氣源，使薄膜沉積缺陷率下降 50%。已在中微公司、北方華創(chuàng)等企業(yè)應(yīng)用，符合 ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)，潔凈度穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.95%。蘇州手持環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程