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中源綠凈為半導(dǎo)體晶圓切割潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng),重點(diǎn)強(qiáng)化了微粒與濕度的 管控。應(yīng)用場(chǎng)景:晶圓切割與劃片潔凈車間。針對(duì) 100 級(jí)切割區(qū),部署防靜電監(jiān)測(cè)終端,同步采集 0.3μm 微粒濃度(采樣流量 50L/min,數(shù)據(jù)更新周期 2 秒)、車間濕度(45%~55% RH,精度 ±2%)、切割區(qū)溫度(23±1℃)及靜電電壓(量程 - 500~+500V)。采用激光散射式粒子計(jì)數(shù)器, 小檢測(cè)粒徑達(dá) 0.1μm,配合濕度動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)算法,可將濕度波動(dòng)控制在 ±3% 以內(nèi)。系統(tǒng)支持與切割設(shè)備聯(lián)動(dòng),當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)暫停作業(yè),使晶圓切割崩邊率下降 45%。已在中芯國(guó)際、華虹半導(dǎo)體應(yīng)用,符合 SEMI F47 電壓標(biāo)準(zhǔn),環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.93%。中源綠凈為 25 + 化肥廠監(jiān)測(cè)土壤,養(yǎng)分失衡問(wèn)題改善,作物長(zhǎng)勢(shì)更好!深圳芯片半導(dǎo)體環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器結(jié)果怎么看
中源綠凈針對(duì)食品無(wú)菌灌裝車間的潔凈度監(jiān)測(cè)方案,聚焦于生產(chǎn)全流程的潔凈管控。應(yīng)用場(chǎng)景:食品無(wú)菌灌裝潔凈車間。按照 GB 14881 標(biāo)準(zhǔn)要求,在 C 級(jí)潔凈灌裝區(qū)部署監(jiān)測(cè)終端,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 0.5μm 微粒濃度(采樣頻率 1 次 / 5 秒)、空氣潔凈度等級(jí)、設(shè)備表面微生物及壓差(≥15Pa)。采用 ATP 生物熒光檢測(cè)技術(shù),表面微生物檢測(cè)時(shí)間從 48 小時(shí)縮短至 15 分鐘,準(zhǔn)確率 98.6%。通過(guò)與灌裝生產(chǎn)線聯(lián)動(dòng),當(dāng)潔凈度不達(dá)標(biāo)時(shí)自動(dòng)暫停灌裝作業(yè)并啟動(dòng)消毒程序,使食品無(wú)菌合格率提升至 99.97%。已服務(wù)于伊利、光明乳業(yè)等企業(yè),助力其通過(guò)食品安全管理體系認(rèn)證,潔凈度監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率 100%。深圳百萬(wàn)級(jí)環(huán)境監(jiān)測(cè)中源綠凈為 25 + 肉類加工廠做環(huán)境監(jiān)測(cè),細(xì)菌總數(shù)降 20%,食品安全更有保障!
中源綠凈為生物制藥配液潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng),重點(diǎn)強(qiáng)化了微生物與氣壓梯度的 監(jiān)測(cè)。應(yīng)用場(chǎng)景:無(wú)菌藥液配液潔凈車間。針對(duì) A 級(jí)配液 區(qū),部署每 1.2 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)點(diǎn),同步采集浮游菌(每 15 分鐘采樣 1 次,檢測(cè)下限 1CFU/m3)、0.5μm 微粒濃度、配液區(qū)與緩沖間壓差(≥20Pa,精度 ±1Pa)及溫濕度。采用快速顯色微生物檢測(cè)技術(shù),結(jié)果出具時(shí)間從 72 小時(shí)縮短至 24 小時(shí),準(zhǔn)確率 99.2%。系統(tǒng)與配液攪拌設(shè)備聯(lián)動(dòng),參數(shù)異常時(shí)立即暫停作業(yè),使藥液污染風(fēng)險(xiǎn)下降 65%。已在恒瑞醫(yī)藥、藥明康德應(yīng)用,符合 GMP 附錄 1 要求,環(huán)境數(shù)據(jù)審計(jì)通過(guò)率 100%。
中源綠凈在半導(dǎo)體薄膜沉積潔凈室潔凈度監(jiān)測(cè)中,推出了微粒 - 氣體純度聯(lián)動(dòng)方案。應(yīng)用場(chǎng)景:半導(dǎo)體薄膜沉積潔凈車間。針對(duì) 10 級(jí)沉積區(qū),部署超高精度監(jiān)測(cè)終端,同步檢測(cè) 0.1μm 微粒濃度(采樣流量 100L/min)、沉積氣體純度(99.999%~99.9999%,精度 ±0.0001%)及腔體壓差(≥20Pa)。采用激光散射法與氣相色譜聯(lián)用技術(shù),氣體純度響應(yīng)時(shí)間≤1 秒,微粒檢測(cè)分辨率達(dá) 0.05μm。系統(tǒng)與沉積設(shè)備聯(lián)動(dòng),當(dāng)氣體雜質(zhì)或微粒超標(biāo)時(shí)自動(dòng)切斷氣源,使薄膜沉積缺陷率下降 50%。已在中微公司、北方華創(chuàng)等企業(yè)應(yīng)用,符合 ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn),潔凈度穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.95%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng),具備數(shù)據(jù)備份功能,保障數(shù)據(jù)安全不丟失!
中源綠凈在生物制藥發(fā)酵潔凈車間環(huán)境監(jiān)測(cè)中,推出了溫濕度 - 氧氣濃度多維度方案。應(yīng)用場(chǎng)景:生物發(fā)酵罐潔凈區(qū)。針對(duì) 發(fā)酵的 B 級(jí)潔凈區(qū),配置防爆型監(jiān)測(cè)終端,同步監(jiān)測(cè)發(fā)酵車間溫度(25~30℃,精度 ±0.3℃)、濕度(50%~70% RH,精度 ±3%)、氧氣濃度(19%~21%,精度 ±0.1%)及懸浮粒子濃度。采用電化學(xué)氧氣傳感器實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),響應(yīng)時(shí)間≤10 秒,數(shù)據(jù)存儲(chǔ)容量支持 180 天全量回溯。系統(tǒng)對(duì)接發(fā)酵控制系統(tǒng),當(dāng)氧氣濃度偏離 范圍(20.5%±0.2%)時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)通風(fēng)量,使發(fā)酵單位產(chǎn)量提升 12%。通過(guò)微生物濃度趨勢(shì)分析,提前 8 小時(shí)預(yù)警污染風(fēng)險(xiǎn),使發(fā)酵染菌率下降 35%。已在華北制藥、聯(lián)邦制藥等企業(yè)應(yīng)用,符合 GMP 生物制品要求,環(huán)境監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率 100%。中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測(cè)方面,為 30+LED 生產(chǎn)企業(yè)提升芯片良率,減少經(jīng)濟(jì)損失!深圳百級(jí)環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器品牌排行榜
中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測(cè)項(xiàng)目中,為 300 + 企業(yè)提供 1 年歷史數(shù)據(jù)存儲(chǔ),便于追溯過(guò)往狀況!深圳芯片半導(dǎo)體環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器結(jié)果怎么看
中源綠凈在食品凍干潔凈車間環(huán)境監(jiān)測(cè)中,推出了溫濕度 - 真空度多維度監(jiān)測(cè)方案。針對(duì)凍干食品生產(chǎn)的 C 級(jí)潔凈區(qū),配置了耐高溫監(jiān)測(cè)終端,同步監(jiān)測(cè)凍干艙內(nèi)溫度(-50~80℃,精度 ±0.5℃)、真空度(0~1000Pa,精度 ±5Pa)、車間微粒濃度及濕度。采用電容式真空傳感器實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定測(cè)量,數(shù)據(jù)更新周期為 5 秒 / 次,確保捕捉凍干關(guān)鍵階段的參數(shù)變化。系統(tǒng)對(duì)接凍干工藝管理軟件,自動(dòng)生成參數(shù)趨勢(shì)報(bào)告,使凍干食品水分含量合格率提升 50%。該系統(tǒng)已在好想你、三只松鼠等企業(yè)應(yīng)用,符合 GB 23790 凍干食品衛(wèi)生規(guī)范,環(huán)境監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率 100%。深圳芯片半導(dǎo)體環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器結(jié)果怎么看