皮拉尼真空計(jì)利用惠斯通電橋的補(bǔ)償原理,通過(guò)測(cè)量一個(gè)發(fā)熱體與一個(gè)接收發(fā)熱體之間的熱傳導(dǎo)程度來(lái)判斷氣體的壓力。具體來(lái)說(shuō),當(dāng)加熱燈絲(一般為鉑絲)被恒定電流加熱時(shí),其溫度會(huì)升高。對(duì)于給定大小的電流,加熱絲的溫度取決于通過(guò)傳導(dǎo)和對(duì)流向周圍介質(zhì)(即氣體)散熱的速率。在真空或低壓環(huán)境中,加熱絲的熱導(dǎo)率(即將熱量散發(fā)給周圍介質(zhì)的能力)會(huì)降低,導(dǎo)致加熱絲變得更熱。這種溫度變化會(huì)引起導(dǎo)線電阻的變化,這種變化可以通過(guò)惠斯通電橋來(lái)測(cè)量。當(dāng)氣體分子密度發(fā)生變化時(shí),熱量從金屬絲傳遞到氣體會(huì)受到影響。這種熱損失取決于氣體類型和壓力,使金屬絲保持在一定溫度下所需的能量也相應(yīng)變化。因此,可以通過(guò)測(cè)量這種能量變化來(lái)間接測(cè)量真空壓力。在皮拉尼真空計(jì)中,熱敏電阻被放置在一個(gè)密閉的容器中,容器的內(nèi)部空氣被抽空,使其成為真空。廣東金屬真空計(jì)供應(yīng)商
真空計(jì)的工作原理基于氣體分子的運(yùn)動(dòng)特性。當(dāng)氣體分子在封閉空間內(nèi)不斷運(yùn)動(dòng)、相互碰撞并與容器壁發(fā)生碰撞時(shí),這種碰撞運(yùn)動(dòng)將氣體分子的動(dòng)能轉(zhuǎn)換成容器壁上的壓力。真空計(jì)通過(guò)測(cè)量這種壓力來(lái)間接反映氣體的壓強(qiáng)或真空度。不同類型的真空計(jì)采用不同的物理機(jī)制進(jìn)行測(cè)量,例如:利用力學(xué)性能的真空計(jì):如波爾登真空計(jì)和薄膜電容規(guī),它們通過(guò)測(cè)量氣體對(duì)某種力學(xué)元件(如薄膜)的作用力來(lái)推算真空度。利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的真空計(jì):如皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī),它們利用氣體在流動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生的熱效應(yīng)或電效應(yīng)來(lái)測(cè)量真空度。利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì):如熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),它們通過(guò)測(cè)量氣體分子在電離過(guò)程中產(chǎn)生的電流來(lái)推算真空度。這類真空計(jì)在高真空領(lǐng)域具有極高的測(cè)量精度。江蘇mems真空計(jì)生產(chǎn)企業(yè)皮拉尼真空計(jì)是一種測(cè)量真空壓力的儀器,它是根據(jù)皮拉尼原理制成的。
其他角度對(duì)真空計(jì)進(jìn)行分類,如根據(jù)測(cè)量范圍、精度、使用條件等。不同類型的真空計(jì)在這些方面也有區(qū)別。例如,MEMS電容薄膜真空計(jì)作為MEMS電容式傳感器的一種,具有小型化、低成本、高性能、易與CMOS集成電路兼容等特點(diǎn)。它能夠滿足深空探測(cè)、空氣動(dòng)力學(xué)研究、臨近空間探索等領(lǐng)域?qū)φ婵諟y(cè)量?jī)x器測(cè)量準(zhǔn)確度高、體積小、質(zhì)量輕、功耗低的應(yīng)用需求。不同類型的真空計(jì)在測(cè)量原理、測(cè)量范圍、精度、使用條件以及適用場(chǎng)景等方面各有千秋。在選擇真空計(jì)時(shí),需要根據(jù)具體的測(cè)量需求、工作環(huán)境以及預(yù)算等因素進(jìn)行綜合考慮。同時(shí),隨著科技的不斷發(fā)展,新型真空計(jì)的出現(xiàn)也將為真空測(cè)量領(lǐng)域帶來(lái)更多的選擇和可能性。
真空計(jì)用于測(cè)量真空系統(tǒng)中的壓力,使用方法如下:1. 選擇合適類型根據(jù)測(cè)量需求選擇合適的真空計(jì)類型,常見的有:熱偶真空計(jì):適用于低真空(1 Pa - 1000 Pa)。電離真空計(jì):適用于高真空(10^-3 Pa - 10^-8 Pa)。皮拉尼真空計(jì):適用于中真空(0.1 Pa - 1000 Pa)。電容薄膜真空計(jì):適用于寬范圍(10^-4 Pa - 1000 Pa)。2. 安裝位置選擇:安裝在真空系統(tǒng)靠近測(cè)量點(diǎn)的位置,避免氣流或溫度波動(dòng)影響。連接方式:確保接口密封良好,通常使用法蘭或螺紋連接。3. 校準(zhǔn)校準(zhǔn)步驟:使用標(biāo)準(zhǔn)真空源或校準(zhǔn)設(shè)備,按說(shuō)明書進(jìn)行校準(zhǔn)。校準(zhǔn)頻率:定期校準(zhǔn),確保測(cè)量精度。4. 操作啟動(dòng):接通電源,預(yù)熱(如有需要)。讀數(shù):待讀數(shù)穩(wěn)定后記錄壓力值。調(diào)整:根據(jù)測(cè)量結(jié)果調(diào)整真空系統(tǒng)。5. 維護(hù)清潔:定期清潔傳感器,避免污染。檢查:檢查密封性和電氣連接,確保正常工作。更換:傳感器老化或損壞時(shí)及時(shí)更換。6. 注意事項(xiàng)量程:避免超出量程使用,防止損壞。環(huán)境:避免在腐蝕性、高溫或高濕環(huán)境中使用。安全:操作時(shí)注意安全,避免高壓或真空泄漏風(fēng)險(xiǎn)。7. 故障處理無(wú)讀數(shù):檢查電源和連接。讀數(shù)不穩(wěn):檢查密封性和傳感器狀態(tài)。誤差大:重新校準(zhǔn)或更換傳感器。真空計(jì)按原理如何分類?
利用氣體動(dòng)力學(xué)效用類真空計(jì)測(cè)量與真空相連的容器表面受到的壓力作用而產(chǎn)生的彈性變形或其他力學(xué)性能變化來(lái)推算真空度的。典型**有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī)。a)波爾登規(guī)利用彈性元件(如波紋管)在壓力作用下的變形來(lái)測(cè)量真空度。當(dāng)氣體壓力作用在波紋管上時(shí),波紋管會(huì)產(chǎn)生變形,這種變形可以通過(guò)機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)化為指針的偏轉(zhuǎn),從而指示出真空度的大小。b)電容薄膜真空計(jì)利用薄膜的形變與電容的變化關(guān)系來(lái)測(cè)量真空度。當(dāng)氣壓發(fā)生變化時(shí),薄膜會(huì)相應(yīng)地產(chǎn)生形變,這種形變會(huì)導(dǎo)致電容的改變,進(jìn)而通過(guò)測(cè)量電容的變化量來(lái)推算出真空度的數(shù)值。薄膜電容規(guī)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、響應(yīng)迅速、測(cè)量范圍廣等特點(diǎn)。真空計(jì)選型需要注意什么?四川mems電容真空計(jì)生產(chǎn)企業(yè)
溫度對(duì)皮拉尼真空計(jì)測(cè)量結(jié)果有何影響?廣東金屬真空計(jì)供應(yīng)商
陶瓷薄膜真空計(jì)應(yīng)用領(lǐng)域半導(dǎo)體制造:用于工藝過(guò)程中的真空度監(jiān)控。真空鍍膜:確保鍍膜質(zhì)量??蒲袑?shí)驗(yàn):用于高精度真空測(cè)量。醫(yī)療設(shè)備:如電子顯微鏡、質(zhì)譜儀等。優(yōu)缺點(diǎn)優(yōu)點(diǎn):高精度、耐腐蝕、穩(wěn)定性好、量程寬。缺點(diǎn):成本較高,對(duì)安裝和使用環(huán)境要求嚴(yán)格。維護(hù)與保養(yǎng)定期校準(zhǔn)以確保精度。保持清潔,避免污染影響性能。避免機(jī)械沖擊和振動(dòng)??偨Y(jié)陶瓷薄膜真空計(jì)憑借其高精度和穩(wěn)定性,在多個(gè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,盡管成本較高,但其性能優(yōu)勢(shì)明顯。廣東金屬真空計(jì)供應(yīng)商