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金屬電容薄膜真空計由金屬薄膜和電極構(gòu)成。當真空度發(fā)生變化時,薄膜電容會發(fā)生相應(yīng)的變化,從而導(dǎo)致電容的大小變化。電子測量電路負責測量這個電容的變化,并將之轉(zhuǎn)換為電信號輸出。具體來說,施加到電容薄膜上的壓力變化會導(dǎo)致膜片間距離變化,進而引起電容的變化。通過測量電容的變化,并將其轉(zhuǎn)換為電流或電壓的變化,就可以作為輸出的信號來測量真空度。
高精度:金屬電容薄膜真空計的測量精度較高,部分產(chǎn)品的精度可達0.01%,可以滿足各種精度要求的實驗和生產(chǎn)需求。高靈敏度:由于金屬薄膜的厚度只有幾個納米,因此該真空計能夠?qū)ξ⑿〉膲毫ψ兓龀龇磻?yīng),具有高靈敏度。長壽命:金屬薄膜具有良好的耐磨損性和耐腐蝕性,使得金屬電容薄膜真空計能夠長時間穩(wěn)定工作,壽命長達數(shù)年。簡單易用:金屬電容薄膜真空計結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,只需連接電源和真空管路即可進行測試。同時,部分產(chǎn)品還具有自動清零、自動校準等功能,使測試更加準確、方便。 電容真空計與熱傳導(dǎo)式真空計在測量原理上有所不同。河北mems皮拉尼真空計原廠家
皮拉尼真空計利用氣體分子的熱導(dǎo)率隨壓力變化而變化的特性來測量真空度。它包含一個封閉在室內(nèi)的加熱絲(通常為鉑絲),該加熱絲形成了惠斯通電橋的一個臂(電阻)。在測量過程中,加熱絲由恒定電流加熱,溫度升高。當加熱絲置于真空或低壓氣體環(huán)境中時,由于氣體分子數(shù)量減少,加熱絲的熱導(dǎo)率降低,導(dǎo)致加熱絲溫度進一步升高。這一溫度變化會引起導(dǎo)線電阻的變化,通過惠斯通電橋測量電阻變化,即可間接獲得真空度的讀數(shù)。
皮拉尼真空計主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件??刂祁^則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負責信號放大和信號數(shù)字化的工作。 山東真空計原廠家電容真空計與熱傳導(dǎo)式真空計相比有何不同?
2. 熱傳導(dǎo)真空計熱傳導(dǎo)真空計通過氣體熱傳導(dǎo)的變化來測量壓力,適用于低真空和中真空范圍。(1)皮拉尼真空計原理:利用加熱絲的熱量損失與氣體壓力之間的關(guān)系測量壓力。測量范圍:10?3 Torr 到 10 Torr。優(yōu)點:響應(yīng)快、成本低。缺點:受氣體種類影響較大。應(yīng)用:普通真空系統(tǒng)監(jiān)測。(2)熱電偶真空計原理:通過熱電偶測量加熱絲溫度變化來間接測量壓力。測量范圍:10?3 Torr 到 10 Torr。優(yōu)點:結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定性好。缺點:精度較低。應(yīng)用:低真空和中真空測量。
真空計的安裝步驟可能因型號和規(guī)格的不同而有所差異,但通常包括以下幾個基本步驟:檢查設(shè)備:在安裝前,需要檢查真空計及其相關(guān)配件是否完整、無損壞,并確保其符合使用要求。選擇安裝位置:由于真空室中存在潛在的壓力梯度,因此應(yīng)適當選擇真空計的安裝位置,以確保測量結(jié)果的準確性。同時,應(yīng)確保安裝位置便于操作和觀察。連接電纜:將真空計的電源線電纜和規(guī)管電纜分別插入后面板的相應(yīng)插座上,并確保連接牢固可靠。對于裸規(guī)安裝,還需將紅線(紅夾子)接在電子加速極上,其他兩根線(黑夾子)接在燈絲上,屏蔽線接在離子收集極上。接地處理:為確保安全,應(yīng)將真空計的外殼進行接地處理。這通常是通過將導(dǎo)線連接在機箱的接地端子上來實現(xiàn)的。調(diào)試與校準:在安裝完成后,需要對真空計進行調(diào)試和校準,以確保其測量結(jié)果的準確性。調(diào)試時,應(yīng)按照說明書中的要求進行操作,并注意觀察真空計的顯示情況。哪些品牌的真空計質(zhì)量更好?
陶瓷薄膜真空計應(yīng)用領(lǐng)域半導(dǎo)體制造:用于工藝過程中的真空度監(jiān)控。真空鍍膜:確保鍍膜質(zhì)量??蒲袑嶒灒河糜诟呔日婵諟y量。醫(yī)療設(shè)備:如電子顯微鏡、質(zhì)譜儀等。優(yōu)缺點優(yōu)點:高精度、耐腐蝕、穩(wěn)定性好、量程寬。缺點:成本較高,對安裝和使用環(huán)境要求嚴格。維護與保養(yǎng)定期校準以確保精度。保持清潔,避免污染影響性能。避免機械沖擊和振動。總結(jié)陶瓷薄膜真空計憑借其高精度和穩(wěn)定性,在多個領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,盡管成本較高,但其性能優(yōu)勢明顯。真空計按刻度方法如何分類?廣東mems皮拉尼真空計設(shè)備廠家
直空計使用過程中需要注意的事項?河北mems皮拉尼真空計原廠家
皮拉尼真空計是一種基于熱傳導(dǎo)原理的真空測量儀器,用于低真空到中真空范圍的測量。其工作原理是通過測量氣體分子對熱絲的熱傳導(dǎo)變化來確定壓力。工作原理皮拉尼真空計的部件是一根加熱的金屬絲(通常是鎢或鉑),其工作原理如下:加熱與熱傳導(dǎo):金屬絲通電加熱,熱量通過氣體分子傳導(dǎo)。壓力變化:氣體壓力越高,分子越多,熱傳導(dǎo)越強,金屬絲溫度下降。電阻變化:金屬絲溫度變化導(dǎo)致電阻變化,通過測量電阻變化間接測量壓力。主要特點寬量程:適用于低真空到中真空范圍(通常為10^-1 Pa到10^5 Pa)??焖夙憫?yīng):對壓力變化反應(yīng)迅速。結(jié)構(gòu)簡單:易于制造和維護。成本較低:相比其他真空計,價格較為經(jīng)濟。河北mems皮拉尼真空計原廠家