陜西皮拉尼真空計(jì)設(shè)備廠家

來源: 發(fā)布時間:2025-04-16

真空測量就是真空度的測量,而真空度(詳細(xì)注釋見前文:知識分享②|真空如何獲得?)是指低于大氣壓力注釋的氣體稀薄程度的物理量。通常,將用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計(jì)。注釋:大氣壓力:通常指一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓,壓強(qiáng)的單位之一。當(dāng)溫度為0℃(273.15K)時,在重力加速度為980.655cm/s2處(即在地球緯度為45°的海平面上),使用**的密度為13.5951g/cm3,則760mm高的**柱所產(chǎn)生的壓強(qiáng)為1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。1毫米汞柱(mmHg)和1托(Torr)相近,兩者相差約千萬分之一。1mmHg=1Torr=133.3Pa一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1atm=101325Pa=760mmHg=1.01325bar=760Torr電容真空計(jì)通過測量電容變化來推算真空度,而熱傳導(dǎo)式真空計(jì)則利用氣體分子的熱傳導(dǎo)性質(zhì)來測量。陜西皮拉尼真空計(jì)設(shè)備廠家

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熱傳導(dǎo)真空計(jì):利用氣體在不同壓強(qiáng)下熱傳導(dǎo)能力隨之變化的原理測量氣體壓強(qiáng)。在這類真空計(jì)中,以一定加熱電流通過裝有熱絲的規(guī)頭,熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強(qiáng)的函數(shù),故熱絲的溫度隨壓強(qiáng)而變化。熱傳導(dǎo)真空計(jì)主要用于100~10^-1帕范圍,采取特殊措施可擴(kuò)大測量范圍。不過,熱傳導(dǎo)真空計(jì)的指示不但和氣體種類有關(guān),而且易受熱絲表面污染、環(huán)境溫度等因素影響,故準(zhǔn)確度不高,只作粗略的真空指示用。粘滯真空計(jì):利用在真空中轉(zhuǎn)動或振動的物體受氣體分子阻尼作用而發(fā)生運(yùn)動衰減的現(xiàn)象來測量氣體壓強(qiáng)。氣體分子的阻尼力與壓強(qiáng)有關(guān)。實(shí)際使用的粘滯真空計(jì)主要有磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)和振膜真空計(jì)。磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)利用可控磁場把不銹鋼球懸浮在真空中,用旋轉(zhuǎn)磁場把鋼球加速到400轉(zhuǎn)/秒,然后停止加速,任其自然衰減,用電子學(xué)方法精確測量其轉(zhuǎn)速衰減率,從而確定壓強(qiáng)。這種真空計(jì)具有很高的測量精度,吸氣、放氣速率小,壓強(qiáng)指示受氣體種類影響小,如鋼球表面鍍金則可在較惡劣的氣氛下工作。然而這種真空計(jì)在高真空端的讀數(shù)受振動影響較大,測量時間也較長。因此,它可作為1~10^-4帕范圍內(nèi)的副標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)或用作標(biāo)準(zhǔn)傳遞真空計(jì)。杭州mems真空計(jì)生產(chǎn)廠家如何減少電磁干擾對皮拉尼真空計(jì)的影響?

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利用帶電粒子效用類真空計(jì)通過測量氣體分子在電場或磁場中被荷能粒子碰撞電離后產(chǎn)生的離子流或電子流來推算真空度。典型**有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。a)熱陰極電離規(guī)通過加熱陰極使其發(fā)射電子,進(jìn)而與氣體分子發(fā)生碰撞并電離。電離產(chǎn)生的離子流隨壓力變化,通過測量離子流的變化可以推算出真空中氣體分子的密度,進(jìn)而得到壓力大小。熱陰極電離規(guī)能夠提供高精度的真空度測量,常用于科研和高精度工業(yè)領(lǐng)域。

b)冷陰極電離規(guī)同熱陰極一樣,也是利用電離氣體分子收集離子電流的原理,不同的是,冷陰極利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子。在測量過程中無需加熱陰極,因此具有較低的能耗和更高的可靠性。它特別適用于需要長時間連續(xù)工作的場合,如大型科研設(shè)備和工業(yè)生產(chǎn)線。其測量精度和穩(wěn)定性也相當(dāng)出色。

真空計(jì)是用于測量真空系統(tǒng)中壓力的儀器,具有多種特點(diǎn),使其在不同應(yīng)用中表現(xiàn)出色。以下是真空計(jì)的主要特點(diǎn):1. 寬量程適用:真空計(jì)可覆蓋從低真空到超高真空的范圍(如10^-1 Pa到10^-10 Pa)。多類型選擇:不同類型的真空計(jì)適用于不同的壓力范圍。2. 高精度精確測量:現(xiàn)代真空計(jì)具有高精度,能提供準(zhǔn)確的真空度測量。高分辨率:能夠檢測到微小的壓力變化。3. 快速響應(yīng)實(shí)時監(jiān)測:真空計(jì)對壓力變化反應(yīng)迅速,適合需要實(shí)時監(jiān)測的應(yīng)用。動態(tài)測量:在快速變化的環(huán)境中,真空計(jì)能提供穩(wěn)定的測量結(jié)果。4. 環(huán)境適應(yīng)性耐高溫:部分真空計(jì)能在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。耐腐蝕:適用于腐蝕性氣體環(huán)境,選擇耐腐蝕材料制成的真空計(jì)??刮廴荆涸谖廴練怏w環(huán)境中,部分真空計(jì)具有抗污染能力。5. 多種測量原理熱傳導(dǎo):如皮拉尼真空計(jì),基于氣體熱傳導(dǎo)變化測量壓力。電離:如電離真空計(jì),通過測量氣體分子電離產(chǎn)生的離子流來確定壓力。電容:如電容式真空計(jì),通過測量電容變化來確定壓力。6. 易于安裝與維護(hù)多種安裝方式:提供法蘭連接、螺紋連接等多種安裝方式,適應(yīng)不同系統(tǒng)需求。易于維護(hù):設(shè)計(jì)簡單,易于清潔和維護(hù),部分真空計(jì)具有自校準(zhǔn)功能。真空計(jì)的讀數(shù)通常是不變的,這是因?yàn)樗鼈兺ǔJ褂靡粋€固定的參考壓力來校準(zhǔn)儀器。

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MEMS電容真空計(jì)在多個領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過程中,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,MEMS電容真空計(jì)用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶金產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。科學(xué)研究:在物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域的研究中,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測真空度,確保實(shí)驗(yàn)環(huán)境的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。航空航天:在航空航天領(lǐng)域,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測太空艙內(nèi)的真空度,確保航天員的生命安全和設(shè)備的正常運(yùn)行。醫(yī)療設(shè)備:在醫(yī)療設(shè)備的制造和維護(hù)過程中,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測放射設(shè)備中的真空環(huán)境等,確保其正常工作。真空計(jì)原理及測量范圍是?上海mems電容真空計(jì)原廠家

皮拉尼真空計(jì)是一種用于測量真空壓力的儀器。陜西皮拉尼真空計(jì)設(shè)備廠家

8. 復(fù)合真空計(jì)復(fù)合真空計(jì)結(jié)合多種測量技術(shù),適用于從粗真空到超高真空的范圍。原理:通常結(jié)合皮拉尼真空計(jì)和電離真空計(jì)。測量范圍:10?1? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn):測量范圍廣,適用性強(qiáng)。缺點(diǎn):成本較高。應(yīng)用:多功能真空系統(tǒng)。9. 其他真空計(jì)(1)放射性電離真空計(jì)原理:利用放射性物質(zhì)電離氣體分子測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn):無需電源,穩(wěn)定性好。缺點(diǎn):放射性物質(zhì)存在安全隱患。應(yīng)用:特殊環(huán)境真空測量。(2)聲波真空計(jì)原理:通過聲波傳播速度變化測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn):非接觸式測量。缺點(diǎn):精度較低。應(yīng)用:特定工業(yè)應(yīng)用。陜西皮拉尼真空計(jì)設(shè)備廠家

標(biāo)簽: 真空計(jì)