山東鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔參數(shù)

氣泡檢漏法氣泡法是出現(xiàn)比較早的檢漏方法，以其操作簡(jiǎn)單，成本低廉而得到廣泛應(yīng)用。其原理是當(dāng)漏孔兩側(cè)存在壓差時(shí)，氣體就會(huì)通過(guò)泄漏點(diǎn)從高壓側(cè)向低壓側(cè)流動(dòng)，如果將被測(cè)件放入液體中，將會(huì)出現(xiàn)氣泡，通過(guò)觀察氣泡產(chǎn)生位置可以確定泄漏點(diǎn)位置，通過(guò)收集氣體或者數(shù)氣泡的方法測(cè)量漏率。使泄漏點(diǎn)兩側(cè)產(chǎn)生壓差的方法有三種：充氣法，熱槽法和抽真空法。充氣法首先向被檢件中沖入氣體，使其壓力上升到規(guī)定值，然后將被檢件放入液體中，觀察氣泡。這樣的檢測(cè)結(jié)果很大程度上取決于測(cè)試者本人的判斷，而且光憑氣泡很難確定出泄漏率的大小。同時(shí)這些方法還可能帶來(lái)另外一些問(wèn)題，如對(duì)被測(cè)物進(jìn)行拆卸，清洗，烘干，涂防銹漆等額外工作。標(biāo)準(zhǔn)漏孔能輔助判斷檢漏儀的工作狀態(tài)。山東鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔參數(shù)

冷媒標(biāo)準(zhǔn)漏孔(可調(diào)漏率)VTL-20B型 ，漏孔元件為微通道毛細(xì)管，其漏率或校準(zhǔn)精度0.1g/a，漏率范圍：（0～10）g/a，支持客戶指定漏率或年泄漏量定制，如1g/a，2.5g/a，5g/a，…，也可以指定其他漏率單位， 如Pa·m3/s(≥5×10-6 Pa·m3/s)， 大漏率10~100g/a亦可定制。 使用方法： 通過(guò)增壓或減壓閥旋鈕，調(diào)節(jié)到校準(zhǔn)點(diǎn)的對(duì)應(yīng)的漏率，氣瓶規(guī)格：雙罐設(shè)計(jì)，液態(tài)+氣態(tài)，一次充注，長(zhǎng)期使用，其優(yōu)點(diǎn)漏率穩(wěn)定、漏率可調(diào)、可重復(fù)充灌、使用成本低、便于攜帶等成都鹵素漏孔生產(chǎn)廠家標(biāo)準(zhǔn)漏孔能驗(yàn)證各類檢漏方法的可靠性。

上海東貝真空設(shè)備有限公司座落于：上海市青浦開發(fā)區(qū)上海市青浦工業(yè)園區(qū)，聯(lián)東U谷科技園。通過(guò)長(zhǎng)期以來(lái)的貼心服務(wù)本公司積累了一些良好的客戶關(guān)系，我們是一家正在成長(zhǎng)的年輕企業(yè)，真誠(chéng)地感謝所有的新老客戶的信任和關(guān)照。公司技術(shù)能力包括:建立了齊全的漏率校準(zhǔn)和檢測(cè)能力,漏率計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)裝置的設(shè)計(jì)制造能力,為國(guó)內(nèi)計(jì)量技術(shù)機(jī)構(gòu)提供成熟的漏率計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)裝置.實(shí)現(xiàn)了目前目前已知漏孔形式的產(chǎn)品制造能,為檢漏客戶提供專業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔產(chǎn)品.本公司建立了專業(yè)的漏率計(jì)量實(shí)驗(yàn)室并通過(guò)”國(guó)家實(shí)驗(yàn)室合格認(rèn)可委”考核的CNAS實(shí)驗(yàn)室授權(quán)(注冊(cè)號(hào):CNAS L20566).

不同的氣體對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)漏孔的泄漏率有著一定影響，通常校準(zhǔn)以氮?dú)饣蚝鉃榻橘|(zhì)，實(shí)際使用時(shí)需要根據(jù)檢測(cè)氣體的性質(zhì)來(lái)進(jìn)行修正，提高檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的安裝方式應(yīng)該符合操作規(guī)程，以確保連接緊密、無(wú)額外的泄漏，避免因安裝不當(dāng)影響校準(zhǔn)或者檢測(cè)結(jié)果。部分漏孔的設(shè)計(jì)有專屬接口，方便與不同設(shè)備對(duì)接。隨著檢漏技術(shù)的發(fā)展，標(biāo)準(zhǔn)漏孔的性能不斷提升，出現(xiàn)了可調(diào)節(jié)泄漏率、智能化監(jiān)控等新型產(chǎn)品，滿足了更復(fù)雜場(chǎng)景下的計(jì)量需求。標(biāo)準(zhǔn)漏孔使用前需檢查外觀是否完好 。

JJF 1946-2022 《鹵素檢漏儀校準(zhǔn)規(guī)范》,規(guī)范條文解釋：本規(guī)范適用于可檢漏率為（1.0×10-6 ~1.0×10-4）Pa.m3/s的鹵素檢漏儀的校準(zhǔn)，其他制冷劑的檢漏儀也可以參考本規(guī)范執(zhí)行。解釋：與目前鹵素檢漏儀校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器（鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔）的可溯源范圍相適應(yīng)，待發(fā)布的正壓漏孔校準(zhǔn)規(guī)范使用范圍（10-6~10-4）Pa.m3/s，與檢漏儀的實(shí)際測(cè)量范圍（1-10）g/a對(duì)應(yīng)。測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)：測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)為提供某種特定鹵素氣體的已知漏率的鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔，如表所示，鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔應(yīng)具有定位槽以便于檢漏儀定位。解釋：通常配備多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔，一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)應(yīng)一種示漏氣體，根據(jù)被校檢漏儀選擇相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。標(biāo)準(zhǔn)漏孔在半導(dǎo)體制造檢漏中經(jīng)常使用。蘇州滲氦漏孔應(yīng)用

標(biāo)準(zhǔn)漏孔安裝時(shí)要確保連接部位密封完好。山東鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔參數(shù)

氦氣真空漏孔的溯源國(guó)內(nèi)開展的比較早也相對(duì)成熟一些，各級(jí)標(biāo)準(zhǔn)已經(jīng)建立，檢定規(guī)程或校準(zhǔn)規(guī)范也早已頒布。但對(duì)其他氣體的校準(zhǔn)還需要完善，并需要對(duì)不帶氦氣室漏孔校準(zhǔn)方法和規(guī)范內(nèi)容需要增加氣源方式和要求。該部分標(biāo)準(zhǔn)漏孔量值溯源標(biāo)準(zhǔn)包括相對(duì)比較法漏率校準(zhǔn)裝置。應(yīng)為裝置成本和操作性的要求，在計(jì)量院和從事真空檢漏量值溯源研究的院所可以采用，對(duì)于以開展量值溯源為主要任務(wù)，技術(shù)能級(jí)有所欠缺的省市和企業(yè)級(jí)別的校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室建議以相對(duì)比較法漏率校準(zhǔn)裝置為主。特別建議采用檢漏儀比對(duì)裝置，該裝置操作簡(jiǎn)單，成本低等特點(diǎn)，對(duì)實(shí)驗(yàn)室應(yīng)該避免采用殘余氣體四極質(zhì)譜分析儀（RGA），因?yàn)樵搩x器悟操作容易造成儀器的損壞，影響工作效率和增加維修成本。山東鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔參數(shù)