溫度對于標(biāo)準(zhǔn)漏孔的性能有著明顯的影響,多數(shù)的漏孔需在規(guī)定的溫度范圍內(nèi)來使用,以保證泄漏率的穩(wěn)定性。部分高精度漏孔會配備溫度補償裝置,從而減少環(huán)境溫度波動的影響。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的校準(zhǔn)需要依托正規(guī)計量機構(gòu),通過與更高等級的標(biāo)準(zhǔn)裝置來比對,確定其實際泄漏率,并出具校準(zhǔn)證明,確保量值的溯源性。長期存放的標(biāo)準(zhǔn)漏孔需注意防潮、防塵,避免通道堵塞或材料老化。使用前應(yīng)檢查外觀是否完好,必要時進行重新校準(zhǔn),確保性能符合要求。標(biāo)準(zhǔn)漏孔在半導(dǎo)體制造檢漏中經(jīng)常使用。湖北正壓漏孔生產(chǎn)廠家
壓差式標(biāo)準(zhǔn)漏孔在此是指壓差檢漏系統(tǒng)(泄漏儀)中用來模擬被檢產(chǎn)品泄漏的漏孔,它的使用方式和正壓漏孔相近,只是一般漏率比較大,在(0.1-1000)SCCM。漏率單位一般采用SCCM或SLM。介質(zhì)也一般為空氣或氮氣。該類型的標(biāo)準(zhǔn)漏孔主要配合檢漏儀使用,漏率值得大小主要由被檢產(chǎn)品的漏率指標(biāo)確定,是產(chǎn)品檢漏的定量標(biāo)準(zhǔn)和檢漏的保證。在國內(nèi)許多省市級計量院所和檢漏儀生產(chǎn)廠家已經(jīng)長期開展此項校準(zhǔn)活動,但該產(chǎn)品的校準(zhǔn)需要考慮流量,大氣壓力,壓力,氣體特性和漏率綜合知識和標(biāo)準(zhǔn),到目前為止還沒有一家能夠比較全,嚴(yán)謹(jǐn)?shù)亻_展過研究。對于許多企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和地方標(biāo)準(zhǔn),錯誤和疏漏的方面很多,需要大量的工作才能夠完成該項工作。重慶冷媒漏孔技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)漏孔使用壓力不能超過額定值 。
正壓標(biāo)準(zhǔn)漏孔,在正壓檢漏中,要考慮通過漏孔的質(zhì)量泄漏,更要考慮與環(huán)境的熱能交換。換言之,就是正壓檢漏及正壓漏孔校準(zhǔn)受溫度的影響較為嚴(yán)重。而真空檢漏壓力一般在1Pa及以下,受溫度影響小。正壓檢漏往往需要在不同的壓力條件下進行,所以也必須對正壓漏孔在該條件下進行校準(zhǔn)。而真空漏孔一般的校準(zhǔn)條件是進口壓力為一個大氣壓,出口壓力為真空,狀態(tài)較為簡單。和真空檢漏一般使用氦氣不同,正壓檢漏往往可以使用氦氣、空氣、氮氣等氣體,所以需要用不同氣體對正壓漏孔進行校準(zhǔn)。正是由于以上原因,對正壓漏孔的校準(zhǔn)技術(shù)提出了新的、更高的要求,需要進一步開展研究工作,提出測量范圍寬,不確定度小的正壓漏孔校準(zhǔn)方法,研制校準(zhǔn)裝置。同時,真空漏孔和正壓漏孔的校準(zhǔn)是不同壓力條件下的漏率校準(zhǔn),所以真空漏孔的校準(zhǔn)技術(shù)也很值得借鑒。
滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔是利用氦氣對石英大多數(shù)玻璃或四氟乙烯有高的滲透性這一特性制作。此類型漏孔對污染不敏感;長時間內(nèi)漏率穩(wěn)定;漏率可以做得很小。滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔的充裝氣體為氦氣,其漏率范圍一般在10負(fù)5-10負(fù)13Pa·m3/s之間。此外,滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔的示值允許偏差為±15%,溫度補償約為3%/°C,并且具有優(yōu)異的抗堵塞能力和長時間內(nèi)漏率穩(wěn)定的特性,出口閥門為手動(選配),接口為KF25/M14*1.5(內(nèi))或定制,出口為真空,可重復(fù)充氣。年衰減率根據(jù)漏率的不同而有所差異,例如,對于10-7Pa·m3/s的漏率,年衰減率小于或等于10%/y;對于10-8Pa·m3/s的漏率,年衰減率小于或等于3%/y;以此類推,直到10-12Pa·m3/s的漏率,年衰減率小于或等于0.1%/y。標(biāo)準(zhǔn)漏孔應(yīng)避免接觸各類腐蝕性氣體介質(zhì)。
檢漏方法:人們對于泄漏的檢測很早就已經(jīng)出現(xiàn),檢漏方法也經(jīng)歷了從簡單的定性檢測到現(xiàn)代復(fù)雜的定量檢測過程。檢漏方法根據(jù)被檢設(shè)備所處的狀態(tài)又可分為加壓檢漏法和真空檢漏法。加壓檢漏法將被檢件內(nèi)部充以比外部壓力更高的示蹤氣體,在被檢件外面用適當(dāng)?shù)姆椒ㄅ袛嘤袩o示蹤氣體漏出、從哪兒漏出、漏出量多少等,進而判斷被檢件有無泄漏點,泄漏點的位置和大小。屬于這種方法的有壓降法、氣泡法、鹵素檢漏儀外探頭法、鹵素噴燈法、加壓滲透法、聲波法、紅外線熱圖像法、稱質(zhì)量法、放射性同位素法。真空檢漏法被檢件內(nèi)部抽成真空后,將示蹤氣體施于被檢件外部,如果被檢件器壁上有漏,示蹤氣體通過泄漏點進入被檢件內(nèi)部,利用某種方法將漏進的示蹤氣體檢測出來,從而判斷出泄漏點的位置和漏率大小。屬于這種方法的有靜態(tài)升壓法、放電管法、鹵素檢漏儀內(nèi)探頭法、各類真空計法、離子泵檢漏法、氦質(zhì)譜噴吹和氦罩檢漏法等。標(biāo)準(zhǔn)漏孔長期不用需進行定期活化處理。重慶冷媒漏孔多少錢
標(biāo)準(zhǔn)漏孔應(yīng)避免頻繁拆卸和安裝。湖北正壓漏孔生產(chǎn)廠家
可調(diào)通道型漏孔是一種具有特定技術(shù)、規(guī)格和特點的漏孔,?它是屬于實漏型漏孔,?可調(diào)通道型其漏孔元件是通過物理節(jié)流形成的漏氣通道。?這種漏孔能夠通過所有氣體成分,?因此在使用時需要使用純氣體以獲得所需氣體的漏率。?可調(diào)通道型漏孔產(chǎn)品的應(yīng)用:氦質(zhì)譜檢漏真空和正壓吸法校準(zhǔn)、模擬實際漏孔漏率,實際漏孔漏率的確定??烧{(diào)通道型漏孔產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于氣體分析、?真空技術(shù)、?流量測量等領(lǐng)域,?以及產(chǎn)品的質(zhì)量控制和過程監(jiān)控。湖北正壓漏孔生產(chǎn)廠家