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TBI 滑塊在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用案例:在半導(dǎo)體芯片制造過(guò)程中,光刻設(shè)備是主要設(shè)備之一。TBI 滑塊在光刻設(shè)備的晶圓移動(dòng)平臺(tái)中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。由于光刻過(guò)程對(duì)精度要求極高,TBI 滑塊的高精度定位能力能夠確保晶圓在曝光過(guò)程中準(zhǔn)確地移動(dòng)到指定位置,誤差控制在納米級(jí)別。TBI 滑塊的高穩(wěn)定性和高速度運(yùn)行能力,使得晶圓能夠快速地在不同工序之間切換,提高了芯片制造的效率。據(jù)相關(guān)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì),采用 TBI 滑塊的光刻設(shè)備,芯片制造的良品率提高了 15% 以上,生產(chǎn)效率提升了 20% 左右 。在印刷設(shè)備中,深圳市臺(tái)寶艾傳動(dòng)的滑塊保障了印版滾筒等部件的精確位置調(diào)整。上海微型滑塊型號(hào)
激光加工設(shè)備的高速位移需求對(duì)滑塊的響應(yīng)速度提出了嚴(yán)苛挑戰(zhàn),臺(tái)寶艾傳動(dòng)的高速滑塊通過(guò)優(yōu)化滾動(dòng)體質(zhì)量與導(dǎo)軌剛性,實(shí)現(xiàn)了 10m/s 的較大移動(dòng)速度和 2g 的加速度。在激光切割機(jī)的橫梁驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)中,該滑塊可配合伺服電機(jī)完成毫秒級(jí)的啟停響應(yīng),使切割頭在復(fù)雜圖形加工中實(shí)現(xiàn)無(wú)頓挫的軌跡跟隨,切割精度提升至 ±0.03mm。其采用的動(dòng)態(tài)平衡設(shè)計(jì)有效抑制了高速運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的離心力,避免了設(shè)備振動(dòng)對(duì)激光聚焦的影響,確保了在高速機(jī)械傳動(dòng)過(guò)程中激光加工的穩(wěn)定性與精確度,為高級(jí)制造領(lǐng)域的高效生產(chǎn)提供了有力支持。江蘇自動(dòng)化設(shè)備滑塊價(jià)格哪家好電腦主板貼片設(shè)備借助 TBI 滑塊,實(shí)現(xiàn)電子元器件快速準(zhǔn)確貼裝。
為滿足極地科考、深海探測(cè)等極端環(huán)境的特殊需求,TBI 研發(fā)出具有很強(qiáng)的環(huán)境適應(yīng)性的滑塊。在潤(rùn)滑方面,采用特殊配方的全氟聚醚潤(rùn)滑脂,該潤(rùn)滑脂的使用溫度范圍為 - 60℃至 200℃,在 - 60℃低溫下仍保持良好的流動(dòng)性,在 200℃高溫下不會(huì)氧化變質(zhì)。在密封結(jié)構(gòu)上,采用特殊 O 型圈與金屬波紋管組合,O 型圈選用氟橡膠材質(zhì),具有優(yōu)異的耐油、耐溫性能,金屬波紋管可承受 100MPa 深海壓力,確?;瑝K內(nèi)部與外界環(huán)境完全隔離。在蛟龍?zhí)栞d人潛水器的機(jī)械臂關(guān)節(jié)應(yīng)用中,TBI 極端環(huán)境滑塊歷經(jīng) 7000 米深海測(cè)試,在巨大水壓與低溫環(huán)境下,運(yùn)動(dòng)精度保持率達(dá) 98%,重復(fù)定位精度誤差只 ±0.1mm,為我國(guó)深海探測(cè)技術(shù)突破提供了關(guān)鍵零部件支持 。
TBI 滑塊的形狀分類及應(yīng)用:TBI 直線導(dǎo)軌按照滑塊的形狀分為四方滑塊和法蘭式滑塊。四方滑塊用 V 表示,例如 TRH15VN;法蘭式滑塊用 F 表示,例如 TRH15FN。這兩種不同形狀的滑塊在應(yīng)用上各有側(cè)重。四方滑塊通常適用于對(duì)空間布局要求較為緊湊,且需要在多個(gè)方向上承受一定負(fù)載的設(shè)備,如一些精密檢測(cè)儀器;而法蘭式滑塊由于其獨(dú)特的結(jié)構(gòu),在安裝時(shí)更加穩(wěn)固,適用于需要承受較大垂直方向力和力矩的場(chǎng)合,如大型機(jī)床的工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)部分,能夠確保在高負(fù)載下設(shè)備運(yùn)行的平穩(wěn)性和精度 。低摩擦的 TBI 滑塊,減少機(jī)械故障,降低能耗更節(jié)能。
TBI 滑塊提供豐富的規(guī)格選擇,以滿足不同設(shè)備的需求。從導(dǎo)軌和滑塊的組裝高度來(lái)看,分為高組裝(TRH)、中組裝(TRC)、低組裝(TRS)三種類型;按滑塊長(zhǎng)度又可分為短滑塊(S)、標(biāo)準(zhǔn)滑塊(N)、長(zhǎng)滑塊(L)、加長(zhǎng)滑塊(E);根據(jù)滑塊形狀則有四方滑塊(V)和法蘭式滑塊(F)。例如,在空間有限的小型自動(dòng)化設(shè)備中,可選擇低組裝的短滑塊(如 TRS15VS),其緊湊的結(jié)構(gòu)能夠在狹小空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的直線運(yùn)動(dòng);而在大型重型機(jī)械設(shè)備中,高組裝的長(zhǎng)滑塊(如 TRH35VL)則可提供更高的承載能力和穩(wěn)定性。這種多樣化的規(guī)格設(shè)置,使得 TBI 滑塊能夠廣泛應(yīng)用于各種行業(yè)和設(shè)備,為用戶提供了靈活的解決方案 。免保養(yǎng)、低維修的 TBI 滑塊,無(wú)需復(fù)雜潤(rùn)滑管路系統(tǒng)。東莞自動(dòng)化設(shè)備滑塊供應(yīng)
TBI 滑塊潤(rùn)滑構(gòu)造簡(jiǎn)單,維護(hù)輕松,降低使用成本。上海微型滑塊型號(hào)
半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)傳動(dòng)精度的要求堪稱行業(yè)典范,而滑塊的性能在此類場(chǎng)景中被賦予了更高標(biāo)準(zhǔn)。臺(tái)寶艾傳動(dòng)的滑塊產(chǎn)品憑借獨(dú)特的預(yù)緊力調(diào)節(jié)技術(shù),可根據(jù)設(shè)備負(fù)載需求實(shí)現(xiàn) 0.1-1.5kN 的精確預(yù)緊,在晶圓搬運(yùn)機(jī)械臂的直線驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)中,既能避免因間隙導(dǎo)致的定位偏差,又能減少過(guò)度預(yù)緊造成的磨損。其滾動(dòng)體采用陶瓷材質(zhì),不僅輕量化特性降低了運(yùn)動(dòng)慣性,更具備優(yōu)異的耐腐蝕性,可適應(yīng)半導(dǎo)體車間的高潔凈度環(huán)境。在芯片封裝設(shè)備的引線鍵合工序中,該滑塊配合直線導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)的微位移控制,能將鍵合點(diǎn)位置誤差控制在 3μm 以內(nèi),完美滿足微米級(jí)加工對(duì)保安服務(wù)的嚴(yán)苛要求,為半導(dǎo)體制造的高精度生產(chǎn)提供了穩(wěn)定的傳動(dòng)支撐。上海微型滑塊型號(hào)