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線傳感器可以是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的。在這種情況下,光學(xué)系統(tǒng)可以是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且光學(xué)系統(tǒng)可以包括多個(gè)測(cè)量光束入射的多個(gè)光入射口,其中 多個(gè)光入射口在使用 預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。通過(guò)以這種方式在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時(shí)配置光學(xué)系統(tǒng),可以向線傳感器的不同受光區(qū)域射出相應(yīng)的測(cè)量光。特別地,通過(guò)使用該基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)來(lái)在不同位置處設(shè)置多個(gè)光入射口,可以容易將各測(cè)量光射出至多個(gè)受光區(qū)域。 預(yù)定基準(zhǔn)軸可以與在使 測(cè)量光從 分光器的虛擬光入射口入射至 光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對(duì)應(yīng)。通過(guò)在使用測(cè)量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時(shí)配置光學(xué)系統(tǒng),可以將從多個(gè)光入射口入射的測(cè)量光分別射出至線傳感器的多個(gè)受光區(qū)域。光譜共焦位移傳感器可以應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、納米技術(shù)等多個(gè)領(lǐng)域。深圳光譜共焦位移傳感器供應(yīng)鏈
本實(shí)用新型涉及光電精密測(cè)量領(lǐng)域,尤其涉及的是一種光譜共焦位移傳感器。隨著我國(guó)的航空航天、汽車、造船等高技術(shù)產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展,對(duì)產(chǎn)品和零部件外形尺寸的工藝水平及精度要求越來(lái)越高,所以,能否進(jìn)行高效率、高精度的檢測(cè),將直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量和使用壽命。能進(jìn)行高效率、高精度測(cè)量的技術(shù)手段通常分為接觸式測(cè)量(以機(jī)械式和壓電式為主)與非接觸式測(cè)量(光學(xué)式為主)兩類。非接觸式光學(xué)測(cè)量具有如下優(yōu)點(diǎn):無(wú)損檢測(cè):可測(cè)量柔軟和易變形件、脆性和易損件,特別適合不允許接觸的場(chǎng)景。徐州光譜共焦位移傳感器推薦它可以測(cè)量物體微小的位移,精度高達(dá)亞微米級(jí)別。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜儀包括有機(jī)殼,固定設(shè)置在機(jī)殼中并位于所述接收光纖出光端的軸向上且用于對(duì)反射光進(jìn)行色散的棱鏡組,固定設(shè)置在所述棱鏡組的出光端并用于對(duì)色散后的光進(jìn)行聚焦的聚焦透鏡組,所述感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的各色光。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜儀還包括有用于對(duì)反射光進(jìn)行準(zhǔn)直調(diào)整的準(zhǔn)直透鏡組,所述準(zhǔn)直透鏡組設(shè)置在所述接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。
多個(gè)光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對(duì)應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。分光器可以包括設(shè)置有多個(gè)光入射口的光入射面。在這種情況下,多個(gè)光入射口可以設(shè)置在包括線方向和預(yù)定基準(zhǔn)軸的方向的平面與光入射面相交的直線上。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。在針對(duì)多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將如下區(qū)域假定為測(cè)量對(duì)象區(qū)域的情況下,多個(gè)受光區(qū)域可以與分別對(duì)應(yīng)于多個(gè)光學(xué)頭的多個(gè)測(cè)量對(duì)象區(qū)域相對(duì)應(yīng),其中,該區(qū)域是線傳感器的從在射出多個(gè)光東中的具有shortest波長(zhǎng)的光作為測(cè)量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長(zhǎng)的光作為測(cè)量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域。光譜共焦位移傳感器具有非接觸式測(cè)量的優(yōu)勢(shì),可以在微觀尺度下進(jìn)行精確的位移測(cè)量。
根據(jù)權(quán)利要求所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個(gè)光學(xué)頭是2個(gè)光學(xué)頭或者3個(gè)光學(xué)頭。一種測(cè)量方法,包括以下步驟:射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束:通過(guò)多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將所射出的所述多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光;使從所述多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測(cè)量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出衍射光束:以及基于所述線傳感器的所述多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來(lái)計(jì)算作為所述多個(gè)光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的多個(gè)測(cè)量點(diǎn)各自的位置。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的變形過(guò)程進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),對(duì)于研究材料的力學(xué)行為具有重要意義。鄭州光譜共焦位移傳感器常用解決方案
它可以測(cè)量物體的微小位移,精度可以達(dá)到亞微米級(jí)別。深圳光譜共焦位移傳感器供應(yīng)鏈
準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組同軸設(shè)置,且準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組共焦點(diǎn)。這樣,使準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組形成4F光學(xué)系統(tǒng),進(jìn)一步減小雜散光。準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于加工裝配和調(diào)整,同時(shí)實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組的軸向色散與波長(zhǎng)有較好的函數(shù)關(guān)系的優(yōu)點(diǎn);例如,軸向色散與波長(zhǎng)產(chǎn)生三次函數(shù)關(guān)系,有利于加快后續(xù)處理數(shù)據(jù)的運(yùn)算速度。本實(shí)用新型的光譜儀包括有機(jī)殼,在機(jī)殼中固定設(shè)置有棱鏡組,棱鏡組位于接收光纖出光端的軸向上,棱鏡組用于對(duì)反射光進(jìn)行色散,在機(jī)殼內(nèi)固定設(shè)置有聚焦透鏡組,聚焦透鏡組用于對(duì)色散后的光進(jìn)行聚焦,位于機(jī)殼內(nèi)的所述感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。深圳光譜共焦位移傳感器供應(yīng)鏈