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2.容許自變量和因變量含測量誤差態(tài)度、行為等變量，往往含有誤差，也不能簡單地用單一指標(biāo)測量。結(jié)構(gòu)方程分析容許自變量和因變量均含測量誤差。變量也可用多個指標(biāo)測量。用傳統(tǒng)方法計算的潛變量間相關(guān)系數(shù)與用結(jié)構(gòu)方程分析計算的潛變量間相關(guān)系數(shù)，可能相差很大。3.同時估計因子結(jié)構(gòu)和因子關(guān)系假設(shè)要了解潛變量之間的相關(guān)程度，每個潛變量者用多個指標(biāo)或題目測量，一個常用的做法是對每個潛變量先用因子分析計算潛變量（即因子）與題目的關(guān)系（即因子負(fù)荷），進(jìn)而得到因子得分，作為潛變量的觀測值，然后再計算因子得分，作為潛變量之間的相關(guān)系數(shù)。這是兩個**的步驟。在結(jié)構(gòu)方程中，這兩步同時進(jìn)行，即因子與題目之間的關(guān)系和因子與因子之間的關(guān)系同時考慮。監(jiān)控模型在實際運行中的性能，及時收集反饋并進(jìn)行必要的調(diào)整。普陀區(qū)智能驗證模型平臺

選擇比較好模型：在多個候選模型中，驗證可以幫助我們選擇比較好的模型，從而提高**終應(yīng)用的效果。提高模型的可信度：通過嚴(yán)格的驗證過程，我們可以增強(qiáng)對模型結(jié)果的信心，尤其是在涉及重要決策的領(lǐng)域，如醫(yī)療、金融等。二、常用的模型驗證方法訓(xùn)練集與測試集劃分：將數(shù)據(jù)集分為訓(xùn)練集和測試集，通常采用70%作為訓(xùn)練集，30%作為測試集。模型在訓(xùn)練集上進(jìn)行訓(xùn)練，然后在測試集上進(jìn)行評估。交叉驗證：交叉驗證是一種更為穩(wěn)健的驗證方法。常見的有K折交叉驗證，將數(shù)據(jù)集分為K個子集，輪流使用其中一個子集作為測試集，其余作為訓(xùn)練集。這樣可以多次評估模型性能，減少偶然性。黃浦區(qū)優(yōu)良驗證模型要求交叉驗證：如果數(shù)據(jù)量較小，可以采用交叉驗證（如K折交叉驗證）來更評估模型性能。

結(jié)構(gòu)方程模型常用于驗證性因子分析、高階因子分析、路徑及因果分析、多時段設(shè)計、單形模型及多組比較等 。結(jié)構(gòu)方程模型常用的分析軟件有LISREL、Amos、EQS、MPlus。結(jié)構(gòu)方程模型可分為測量模型和結(jié)構(gòu)模型。測量模型是指指標(biāo)和潛變量之間的關(guān)系。結(jié)構(gòu)模型是指潛變量之間的關(guān)系。 [1]1.同時處理多個因變量結(jié)構(gòu)方程分析可同時考慮并處理多個因變量。在回歸分析或路徑分析中，即使統(tǒng)計結(jié)果的圖表中展示多個因變量，在計算回歸系數(shù)或路徑系數(shù)時，仍是對每個因變量逐一計算。所以圖表看似對多個因變量同時考慮，但在計算對某一個因變量的影響或關(guān)系時，都忽略了其他因變量的存在及其影響。

***，選擇特定的優(yōu)化算法并進(jìn)行迭代運算，直到參數(shù)的取值可以使校準(zhǔn)圖案的預(yù)測偏差**小。模型驗證模型驗證是要檢查校準(zhǔn)后的模型是否可以應(yīng)用于整個測試圖案集。由于未被選擇的關(guān)鍵圖案在模型校準(zhǔn)過程中是不可見，所以要避免過擬合降低模型的準(zhǔn)確性。在驗證過程中，如果用于模型校準(zhǔn)的關(guān)鍵圖案的預(yù)測精度不足，則需要修改校準(zhǔn)參數(shù)或參數(shù)的范圍重新進(jìn)行迭代操作。如果關(guān)鍵圖案的精度足夠，就對測試圖案集的其余圖案進(jìn)行驗證。如果驗證偏差在可接受的范圍內(nèi)，則可以確定**終的光刻膠模型。否則，需要重新選擇用于校準(zhǔn)的關(guān)鍵圖案并重新進(jìn)行光刻膠模型校準(zhǔn)和驗證的循環(huán)。分類任務(wù)：準(zhǔn)確率、精確率、召回率、F1-score、ROC曲線和AUC值等。

4.容許更大彈性的測量模型傳統(tǒng)上，只容許每一題目（指標(biāo)）從屬于單一因子，但結(jié)構(gòu)方程分析容許更加復(fù)雜的模型。例如，我們用英語書寫的數(shù)學(xué)試題，去測量學(xué)生的數(shù)學(xué)能力，則測驗得分（指標(biāo)）既從屬于數(shù)學(xué)因子，也從屬于英語因子（因為得分也反映英語能力）。傳統(tǒng)因子分析難以處理一個指標(biāo)從屬多個因子或者考慮高階因子等有比較復(fù)雜的從屬關(guān)系的模型。5.估計整個模型的擬合程度在傳統(tǒng)路徑分析中，只能估計每一路徑（變量間關(guān)系）的強(qiáng)弱。在結(jié)構(gòu)方程分析中，除了上述參數(shù)的估計外，還可以計算不同模型對同一個樣本數(shù)據(jù)的整體擬合程度，從而判斷哪一個模型更接近數(shù)據(jù)所呈現(xiàn)的關(guān)系。 [2]比較測試集上的性能指標(biāo)與驗證集上的性能指標(biāo)，以驗證模型的泛化能力。奉賢區(qū)口碑好驗證模型要求

將驗證和優(yōu)化后的模型部署到實際應(yīng)用中。普陀區(qū)智能驗證模型平臺

在進(jìn)行模型校準(zhǔn)時要依次確定用于校準(zhǔn)的參數(shù)和關(guān)鍵圖案，并建立校準(zhǔn)過程的評估標(biāo)準(zhǔn)。校準(zhǔn)參數(shù)和校準(zhǔn)圖案的選擇結(jié)果直接影響校準(zhǔn)后光刻膠模型的準(zhǔn)確性和校準(zhǔn)的運行時間，如圖4所示 [4]。準(zhǔn)參數(shù)包括曝光、烘烤、顯影等工藝參數(shù)和光酸擴(kuò)散長度等光刻膠物理化學(xué)參數(shù)，如圖5所示 [5]。關(guān)鍵圖案的選擇方式主要包含基于經(jīng)驗的選擇方式、隨機(jī)選擇方式、根據(jù)圖案密度等特性選擇的方式、主成分分析選擇方式、高維空間映射的選擇方式、基于復(fù)雜數(shù)學(xué)模型的自動選擇方式、頻譜聚類選擇方式、基于頻譜覆蓋率的選擇方式等 [2]。校準(zhǔn)過程的評估標(biāo)準(zhǔn)通常使用模型預(yù)測值與晶圓測量值之間的偏差的均方根（RMS）。普陀區(qū)智能驗證模型平臺

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