技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素： 本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是：現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷，且傳送晶圓效率較低。 為了解決上述問題，本實(shí)用新型的一個實(shí)施例提供了一種機(jī)械手臂，其包括：托板；固定在所述托板上的絨毛墊，所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承...

建模理論柔性機(jī)械臂動力學(xué)方程的建立主要是利用Lagrange方程和NeWton-Euler方程這兩個相當(dāng)有代表性的方程。另外比較常用的還有變分原理,虛位移原理以及Kane方程的方法。而柔性體變形的描述是柔性機(jī)械臂系統(tǒng)建模與控制的基礎(chǔ)。因此因首先選擇...

隨著智能工業(yè)的快速發(fā)展，我們越來越多的行業(yè)都使用了工業(yè)機(jī)器人代替人工作業(yè)，那么我們來說說工業(yè)機(jī)器人如六軸機(jī)器人是怎樣的? 六軸工業(yè)機(jī)器人是一種用于自然科學(xué)相關(guān)工程與技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器，六軸機(jī)器人的六個軸，每個軸都是一個電機(jī)配備減速機(jī)來傳動，各個軸的運(yùn)動...

確定性主要分為兩種主要類型:結(jié)構(gòu)(structured)不確定性和非結(jié)構(gòu)(unstructured)不確定性,非結(jié)構(gòu)不確定性主要是由于測量噪聲、外界干擾及計(jì)算中的采樣時滯和舍入誤差等非被控對象自身因素所引起的不確定性。結(jié)構(gòu)不確定性和建模模型本身有關(guān)...

可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列。 單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能。 適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)。 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長: 210mm, 280mm機(jī)械手...

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)...

4、Al-SiO2法 Al-SiO2法是目前制備氧化鋁陶瓷中采用最多的方法。該方法將Al金屬和SiO2粉體混合均勻后，在Ar氣條件下進(jìn)行反應(yīng)，反應(yīng)溫度一般為1300～1500 ℃ ，反應(yīng)時間為2～4h，制備得到氧化鋁陶瓷。 Al-SiO2...

二、結(jié)構(gòu)陶瓷氧化鋯陶瓷力學(xué)性能較好，其作為工程結(jié)構(gòu)材料應(yīng)用非常***。氧化鋯陶瓷軸承的壽命穩(wěn)定性高于傳統(tǒng)滑動和滾動軸承，更加耐磨、抗腐蝕；氧化鋯陶瓷可以制作發(fā)動機(jī)氣缸內(nèi)襯、活塞環(huán)等零件，在降低質(zhì)量的同時還可以提高熱效率；氧化鋯陶瓷閥門可以有效代替?zhèn)?..

穩(wěn)定氧化鋯陶瓷在泡沫陶瓷、生物陶瓷、特種耐火材料鑄口、冷成形工具、整形模、拉絲模、切削工具、新能源電池電解質(zhì)隔膜等領(lǐng)域具有***的應(yīng)用。2、部分穩(wěn)定氧化鋯陶瓷部分穩(wěn)定氧化鋯（PSZ）具有強(qiáng)度高，脆性低，較高的斷裂韌性，被認(rèn)為是發(fā)動機(jī)上最有前途的陶瓷...

使用匯編語言編寫計(jì)算機(jī)程序，程序員仍然需要十分熟悉計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的硬件結(jié)構(gòu)，所以從程序設(shè)計(jì)本身上來看仍然是低效率的、煩瑣的。但正是由于匯編語言與計(jì)算機(jī)硬件系統(tǒng)關(guān)系密切，在某些特定的場合，如對時空效率要求很高的系統(tǒng)**程序以及實(shí)時控制程序等，迄今為止匯編語言仍然是十...

晶圓是半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵元件，隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展，晶圓的搬運(yùn)技術(shù)逐漸成為制約行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵因素。晶圓搬運(yùn)機(jī)械手是IC裝備的**之一，其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量，體現(xiàn)著整個加工系統(tǒng)的自動化程度和可靠性。在晶圓加工系統(tǒng)中包含兩類晶圓搬運(yùn)機(jī)械...

3) 加速度反饋控制。Khorrami FarShad 和Jain Sandeep研究了利用末端加速度反饋控制柔性機(jī)械臂的末端軌跡控制問題。4) 被動阻尼控制。為降低柔性體相對彈性變形的影響 選用各種耗能或儲能材料設(shè)計(jì)臂的結(jié)構(gòu)以控制振動。 或者在柔性梁上采用阻...

（3）“釘扎”理論， 認(rèn)為存在于基體晶界的納米顆粒產(chǎn)生“釘扎”效應(yīng)，從而限制了晶界滑移和孔穴、蠕變的發(fā)生，晶界的增強(qiáng)導(dǎo)致納米氧化鋯復(fù)相陶瓷韌性的提高。 二、氧化鋯增韌陶瓷的種類 氧化鋯增韌陶瓷主要有穩(wěn)定氧化鋯陶瓷、部分穩(wěn)定氧化鋯陶瓷、四方氧化鋯...

半導(dǎo)體行業(yè)，尤其是集成電路領(lǐng)域，晶圓的身影隨處可見。 晶圓就是一塊薄薄的、圓形的高純硅晶片，而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結(jié)構(gòu)，使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。 眼前這密密麻麻的元器件，被整整齊齊的安放在一塊單晶硅材料之上...

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，...

（3）“釘扎”理論， 認(rèn)為存在于基體晶界的納米顆粒產(chǎn)生“釘扎”效應(yīng)，從而限制了晶界滑移和孔穴、蠕變的發(fā)生，晶界的增強(qiáng)導(dǎo)致納米氧化鋯復(fù)相陶瓷韌性的提高。 二、氧化鋯增韌陶瓷的種類 氧化鋯增韌陶瓷主要有穩(wěn)定氧化鋯陶瓷、部分穩(wěn)定氧化鋯陶瓷、四方氧化鋯...

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，...

有用于輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手。具體地，該機(jī)械手將半導(dǎo)體晶圓插入到處理室（process chamber），或者將半導(dǎo)體晶圓從處理室中取出。傳送室（transfer chamber）連結(jié)于處理室。機(jī)械手配置在該傳送室內(nèi)。利用機(jī)械手使半導(dǎo)體晶圓在傳送室與處理室之間...

年來全球硅晶圓供給不足，導(dǎo)致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見度分別已達(dá)2019上半年和年底。目前國內(nèi)多個硅晶圓項(xiàng)目已經(jīng)開始籌備，期望有朝一日能夠打破進(jìn)口依賴，并有足夠的能力滿足市場需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中，硅晶圓的制造可...

機(jī)械臂是指高精度，多輸入多輸出、高度非線性、強(qiáng)耦合的復(fù)雜系統(tǒng)。因其獨(dú)特的操作靈活性, 已在工業(yè)裝配, 安全防爆等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。機(jī)械臂是一個復(fù)雜系統(tǒng), 存在著參數(shù)攝動、外界干擾及未建模動態(tài)等不確定性。因而機(jī)械臂的建模模型也存在著不確定性，對于不同的任務(wù), 需...

混料機(jī)耐磨陶瓷襯板特點(diǎn)：具有耐磨、抗沖擊、耐腐蝕、耐高溫、施工方便等特點(diǎn)，是電力、冶金、煤炭、石 油、水泥、化工、機(jī)械等行業(yè)物料（如灰渣、煤粉、礦精粉、尾礦、水泥等）輸送設(shè)備表面耐磨的理想材料，在高溫腐蝕、高溫磨損或高溫熔蝕的場合下使用非常安 全可靠。 混料機(jī)...

微孔陶瓷吸盤的性能2018-10-1917:01高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤)，特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面積吸附,同時也可作氣浮平臺，廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密...

精密結(jié)構(gòu)陶瓷，又稱為陶瓷基復(fù)合材料或新型陶瓷，是一種基于陶瓷材料的高性能、高精度的先進(jìn)材料。這種材料具有出色的耐高溫性能、抗腐蝕性、高硬度、低密度、 度、高韌性等特點(diǎn)，因此被廣泛應(yīng)用于 、航天、汽車、電子、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。精密結(jié)構(gòu)陶瓷的制造過程需要經(jīng)過精細(xì)的配...

4、Al-SiO2法 Al-SiO2法是目前制備氧化鋁陶瓷中采用最多的方法。該方法將Al金屬和SiO2粉體混合均勻后，在Ar氣條件下進(jìn)行反應(yīng)，反應(yīng)溫度一般為1300～1500 ℃ ，反應(yīng)時間為2～4h，制備得到氧化鋁陶瓷。 Al-SiO2...

2．噴涂機(jī)械臂 這種機(jī)械臂多用于噴漆生產(chǎn)線上，重復(fù)位姿精度要求不高。但由于漆霧易燃，一般采用液壓驅(qū)動或交流伺服電機(jī)驅(qū)動。3．焊接機(jī)械臂 這是目前使用最多的一類機(jī)械臂，它又可分為點(diǎn)焊和弧焊兩類。點(diǎn)焊機(jī)械臂負(fù)荷大基本介紹當(dāng)提到機(jī)械人時，許多人會想到有手，有腳的人型...

一種用于傳送晶圓的真空吸附機(jī)械手，其特征在于，包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺呈環(huán)形，所述吸附絕緣凸臺所圍成的空間構(gòu)成所述真空氣道的其中一段；位于所述吸附絕緣凸臺內(nèi)的偽絕緣凸臺，所述偽絕緣凸...

高強(qiáng)耐磨陶瓷料現(xiàn)在大家對環(huán)保越來越重視了低碳綠色已經(jīng)成為世界發(fā)展的首要趨勢，隨著人們生活水平和經(jīng)濟(jì)水平的不時提高。社會各界人士也將綠色低碳轉(zhuǎn)化為自己的一種生活態(tài)度。耐磨行業(yè)也不甘落后，刮起這股清新之風(fēng)，綠色之風(fēng)將會帶動整個行業(yè)的科技創(chuàng)新邁向一個全新的領(lǐng)域，上升...

2、工藝要精湛 只有現(xiàn)成的設(shè)備還不足以百分百保證氧化鋯陶瓷的產(chǎn)品質(zhì)量，還應(yīng)該擁有配套的生產(chǎn)工藝，所以氧化鋯陶瓷生產(chǎn)工藝是否精湛就是企業(yè)選擇生產(chǎn)廠家時需要注意的另一個重點(diǎn)。只有工藝好，才能讓生產(chǎn)出來的產(chǎn)品在耐磨、耐腐蝕、耐高溫、耐酸堿度等方面表現(xiàn)更好，...

一、成型氧化鋯結(jié)構(gòu)陶瓷的成型方法目前用得較多的有三種：熱壓鑄成型、干壓成型和等靜壓成型。1、熱壓鑄成型對于氧化鋯結(jié)構(gòu)陶瓷小型產(chǎn)品或形狀復(fù)雜的產(chǎn)品。一般采用熱壓鑄成型方法。該成型方法比較簡單，特別適宜于生產(chǎn)批量大或形狀復(fù)雜的中小型產(chǎn)品。但氧化鋯熱壓鑄...

高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤)，特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面積吸附,同時也可作氣浮平臺，廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸，裝置應(yīng)用***用于平坦，無孔...