標(biāo)準(zhǔn)漏孔用于來校準(zhǔn)腔體檢漏設(shè)備，以確保芯片生產(chǎn)環(huán)境的高真空度，避免微小的泄漏影響產(chǎn)品的質(zhì)量，是電子產(chǎn)業(yè)質(zhì)量控制的重要工具。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的使用壽命與使用頻率、于工作環(huán)境密切相關(guān)，頻繁的在高溫、腐蝕性氣體中使用起來會(huì)縮短其壽命，只要定期維護(hù)和校準(zhǔn)可延長(zhǎng)其有效的使用時(shí)間...

檢漏的具體工作內(nèi)容就是在一些設(shè)備制造、安裝、調(diào)試和運(yùn)行過程中，來判斷泄漏量是否在允許范圍之內(nèi)、來檢測(cè)泄漏率的大小，并且查明泄漏點(diǎn)具體的位置，從而可以進(jìn)一步的找出一些原因，從而來避免發(fā)生因泄漏而導(dǎo)致的一些故障問題。其中值得說明的是漏率的概念問題，漏率是指單位時(shí)間...

檢漏儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔是檢漏儀部件中非常重要的一個(gè)組成部分，與檢漏儀的精確度息息相關(guān)， 檢漏儀器在檢測(cè)的過程中是用來校準(zhǔn)其精度的一種標(biāo)準(zhǔn)漏率。 通過來比較檢漏儀對(duì)這些標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行檢測(cè)時(shí)的響應(yīng)值與實(shí)際尺寸上的差異， 可以評(píng)估檢漏儀的檢測(cè)準(zhǔn)確度和它的穩(wěn)定性，在檢漏儀的...

通道型漏孔屬于實(shí)漏型漏孔，漏孔元件是物理節(jié)流的漏氣通道，對(duì)所有的氣體成分都能通過，一般使用純氣體，以便得到所要求的氣體的漏率，本產(chǎn)品的VTL-B型為真空漏孔,是一種在真空技術(shù)和泄漏檢測(cè)中廣泛應(yīng)用的裝置，它設(shè)計(jì)用于產(chǎn)生已知且恒定的氣體泄漏率，以便在測(cè)試過程中提供...

JJF 1946-2022 《鹵素檢漏儀校準(zhǔn)規(guī)范》,規(guī)范條文解釋：本規(guī)范適用于可檢漏率為（1.0×10-6 ~1.0×10-4）Pa.m3/s的鹵素檢漏儀的校準(zhǔn)，其他制冷劑的檢漏儀也可以參考本規(guī)范執(zhí)行。解釋：與目前鹵素檢漏儀校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器（鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔）的可溯源...

差壓檢漏法差壓檢漏法的原理啟蒙于醫(yī)用天平，它是精確測(cè)量微量物品質(zhì)量的測(cè)量工具。使用者通過仔細(xì)調(diào)整天平一端的砝碼使兩端達(dá)到嚴(yán)格平衡，這樣被測(cè)物的質(zhì)量就可通過砝碼反映出來。差壓氣密檢漏儀的原理同天平一樣，首先我們將相同壓力的氣體同時(shí)充入到被測(cè)物和基準(zhǔn)物內(nèi)，使差壓傳...

檢漏儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔是檢漏儀部件中非常重要的一個(gè)組成部分，與檢漏儀的精確度息息相關(guān)， 檢漏儀器在檢測(cè)的過程中是用來校準(zhǔn)其精度的一種標(biāo)準(zhǔn)漏率。 通過來比較檢漏儀對(duì)這些標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行檢測(cè)時(shí)的響應(yīng)值與實(shí)際尺寸上的差異， 可以評(píng)估檢漏儀的檢測(cè)準(zhǔn)確度和它的穩(wěn)定性，在檢漏儀的...

氦氣真空漏孔的溯源國(guó)內(nèi)開展的比較早也相對(duì)成熟一些，各級(jí)標(biāo)準(zhǔn)已經(jīng)建立，檢定規(guī)程或校準(zhǔn)規(guī)范也早已頒布。但對(duì)其他氣體的校準(zhǔn)還需要完善，并需要對(duì)不帶氦氣室漏孔校準(zhǔn)方法和規(guī)范內(nèi)容需要增加氣源方式和要求。該部分標(biāo)準(zhǔn)漏孔量值溯源標(biāo)準(zhǔn)包括相對(duì)比較法漏率校準(zhǔn)裝置。應(yīng)為裝置成本和...

開放式氣體標(biāo)準(zhǔn)漏孔，可同時(shí)指定壓力、漏率等，開放式標(biāo)準(zhǔn)漏孔不帶氣室或氣體存儲(chǔ)裝置，需外接氣源，適用于任何檢漏儀及檢漏系統(tǒng)。采用先進(jìn)的微通道技術(shù)，具有響應(yīng)快、溫飄小(玻璃滲透為3%/℃，通道型為0.2%/℃)，以及支持小漏率、不易堵塞之優(yōu)點(diǎn)，且漏率測(cè)試范圍廣，有...

可調(diào)通道型漏孔的技術(shù)規(guī)格包括但不限于充裝氣體類型（?如He, H2, N2等其他的可根據(jù)需要定制）?、?漏率范圍（?一般在10-3-10-10 Pa·m3/s）?、 示值允許偏差（?±15%）?、?溫度補(bǔ)償（?<0.3%/℃）?、?漏孔元件（?如微通道管、?金...

標(biāo)準(zhǔn)漏孔的運(yùn)輸過程需要避免劇烈震動(dòng)和碰撞，防止內(nèi)部結(jié)構(gòu)變形。部分精密漏孔會(huì)采用防震包裝，并標(biāo)注 “輕放” 標(biāo)識(shí)，以減少運(yùn)輸對(duì)其性能的潛在影響。氣體壓力差是標(biāo)準(zhǔn)漏孔工作的必要條件，通常需在漏孔兩側(cè)建立穩(wěn)定的壓力環(huán)境。壓力波動(dòng)過大會(huì)導(dǎo)致泄漏率不穩(wěn)定，因此實(shí)際應(yīng)用中...

氦質(zhì)譜檢漏法氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)出現(xiàn)在第二次世界大戰(zhàn)中，經(jīng)過不斷的改進(jìn)發(fā)展，氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)已經(jīng)成為迄今靈敏、方便的檢漏手段。我國(guó)質(zhì)譜檢漏儀的檢測(cè)精度已經(jīng)達(dá)到了10-14Pa·m3/s，國(guó)外質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)精度達(dá)到了10-16Pa·m3/s。質(zhì)譜檢漏法的原理是利用不同質(zhì)...

差壓檢漏法差壓檢漏法的原理啟蒙于醫(yī)用天平，它是精確測(cè)量微量物品質(zhì)量的測(cè)量工具。使用者通過仔細(xì)調(diào)整天平一端的砝碼使兩端達(dá)到嚴(yán)格平衡，這樣被測(cè)物的質(zhì)量就可通過砝碼反映出來。差壓氣密檢漏儀的原理同天平一樣，首先我們將相同壓力的氣體同時(shí)充入到被測(cè)物和基準(zhǔn)物內(nèi)，使差壓傳...

檢漏儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔是檢漏儀部件中非常重要的一個(gè)組成部分，與檢漏儀的精確度息息相關(guān)， 檢漏儀器在檢測(cè)的過程中是用來校準(zhǔn)其精度的一種標(biāo)準(zhǔn)漏率。 通過來比較檢漏儀對(duì)這些標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行檢測(cè)時(shí)的響應(yīng)值與實(shí)際尺寸上的差異， 可以評(píng)估檢漏儀的檢測(cè)準(zhǔn)確度和它的穩(wěn)定性，在檢漏儀的...

正壓漏孔指在一定氣源壓力下出氣口壓力為大氣壓力的條件下校準(zhǔn)和使用的漏孔，代表性的漏孔有鹵素檢漏用鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔（鹵素氣體漏率標(biāo)準(zhǔn)器），還有氫氣校準(zhǔn)漏孔。該類漏孔目前應(yīng)用場(chǎng)合和校準(zhǔn)需求要高于一類真空漏孔。主要因?yàn)檎龎簷z漏往往更符合工件和產(chǎn)品的實(shí)際工作狀態(tài)，越來越被...

鹵素/冷媒標(biāo)準(zhǔn)漏孔主要利用鹵素氣體或冷媒氣體在特定條件下的泄漏特性，通過測(cè)量泄漏速率來評(píng)估系統(tǒng)或部件的密封性能。其特點(diǎn)在于測(cè)量精度高、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好，能夠滿足各種復(fù)雜環(huán)境下的泄漏檢測(cè)需求。在制冷和空調(diào)行業(yè)中，鹵素/冷媒標(biāo)準(zhǔn)漏孔被廣泛應(yīng)用于制冷系統(tǒng)、空調(diào)設(shè)...

10-7Pa·m3/s量級(jí)以下的漏孔，在正常情況下是不需要關(guān)閉出口閥門的，但是由于客戶不清楚漏孔的一些結(jié)構(gòu)，通常會(huì)關(guān)閉閥門。對(duì)于滲氦型漏孔，如果長(zhǎng)時(shí)間關(guān)閉閥門會(huì)積攢一定的氦氣，使得滲透元件的邊界條件遭到破壞，使用時(shí)短時(shí)間內(nèi)漏率值便會(huì)偏大，打開閥門經(jīng)過一段時(shí)間(...

滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔是利用氦氣對(duì)石英大多數(shù)玻璃或四氟乙烯有高的滲透性這一特性制作。此類型漏孔對(duì)污染不敏感；長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)漏率穩(wěn)定；漏率可以做得很小。滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔的充裝氣體為氦氣，其漏率范圍一般在10負(fù)5-10負(fù)13Pa·m3/s之間。此外，滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔的示值允許偏差為...

標(biāo)準(zhǔn)漏孔的運(yùn)輸過程需要避免劇烈震動(dòng)和碰撞，防止內(nèi)部結(jié)構(gòu)變形。部分精密漏孔會(huì)采用防震包裝，并標(biāo)注 “輕放” 標(biāo)識(shí)，以減少運(yùn)輸對(duì)其性能的潛在影響。氣體壓力差是標(biāo)準(zhǔn)漏孔工作的必要條件，通常需在漏孔兩側(cè)建立穩(wěn)定的壓力環(huán)境。壓力波動(dòng)過大會(huì)導(dǎo)致泄漏率不穩(wěn)定，因此實(shí)際應(yīng)用中...

標(biāo)準(zhǔn)漏孔的常見問題，外部標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)，檢漏儀的外部校準(zhǔn)是非常重要的?？紤]到各個(gè)廠家對(duì)自己利益的保護(hù)，目前對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔存在比較大的兩個(gè)誤區(qū)：誤區(qū)1：多個(gè)檢漏儀廠家特別是國(guó)外廠家說只能用自己的漏孔，包括外置與內(nèi)置，這是一個(gè)典型性的謬誤說法。因?yàn)楹べ|(zhì)譜檢漏儀準(zhǔn)不準(zhǔn)，應(yīng)...

氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是對(duì)離子源電離的氦氣分子數(shù)量進(jìn)行量化，而到達(dá)質(zhì)譜室離子源的氦氣分子數(shù)量只是泄漏的分子總量的一部分，這就是分流比。在環(huán)境參數(shù)變化時(shí)，這個(gè)分流比會(huì)有變化，檢漏儀根據(jù)內(nèi)置漏孔1個(gè)點(diǎn)做出的擬合曲線很難做到符合全量程：例如一臺(tái)檢漏儀的內(nèi)置漏孔是E-...

冷媒標(biāo)準(zhǔn)漏孔(可調(diào)漏率)VTL-20B型 ，漏孔元件為微通道毛細(xì)管，其漏率或校準(zhǔn)精度0.1g/a，漏率范圍：（0～10）g/a，支持客戶指定漏率或年泄漏量定制，如1g/a，2.5g/a，5g/a，…，也可以指定其他漏率單位， 如Pa·m3/s(≥5×10-6 ...

零流量閥門標(biāo)準(zhǔn)漏孔，自研手動(dòng)一體化設(shè)計(jì)閥門，零泄漏氣室小、衰減小，微通道漏孔(E-3~E-10)Pa·m3/s，特點(diǎn)：適合大漏率、高真空、四級(jí)質(zhì)譜等、適合昂貴氣體、保證氣體純度的場(chǎng)景、很多年不用充氣、不使用時(shí)一定要關(guān)閉閥門，用途：可能用于真空系統(tǒng)或相關(guān)設(shè)備的校...

上海東貝真空設(shè)備有限公司座落于：上海市青浦開發(fā)區(qū)上海市青浦工業(yè)園區(qū)，聯(lián)東U谷科技園。通過長(zhǎng)期以來的貼心服務(wù)本公司積累了一些良好的客戶關(guān)系，我們是一家正在成長(zhǎng)的年輕企業(yè)，真誠(chéng)地感謝所有的新老客戶的信任和關(guān)照。公司技術(shù)能力包括:建立了齊全的漏率校準(zhǔn)和檢測(cè)能力,漏率...

10-7Pa·m3/s量級(jí)以下的漏孔，在正常情況下是不需要關(guān)閉出口閥門的，但是由于客戶不清楚漏孔的一些結(jié)構(gòu)，通常會(huì)關(guān)閉閥門。對(duì)于滲氦型漏孔，如果長(zhǎng)時(shí)間關(guān)閉閥門會(huì)積攢一定的氦氣，使得滲透元件的邊界條件遭到破壞，使用時(shí)短時(shí)間內(nèi)漏率值便會(huì)偏大，打開閥門經(jīng)過一段時(shí)間(...

檢漏方法：人們對(duì)于泄漏的檢測(cè)很早就已經(jīng)出現(xiàn)，檢漏方法也經(jīng)歷了從簡(jiǎn)單的定性檢測(cè)到現(xiàn)代復(fù)雜的定量檢測(cè)過程。檢漏方法根據(jù)被檢設(shè)備所處的狀態(tài)又可分為加壓檢漏法和真空檢漏法。加壓檢漏法將被檢件內(nèi)部充以比外部壓力更高的示蹤氣體，在被檢件外面用適當(dāng)?shù)姆椒ㄅ袛嘤袩o示蹤氣體漏出...

JJF 1946-2022 《鹵素檢漏儀校準(zhǔn)規(guī)范》,規(guī)范條文解釋：本規(guī)范適用于可檢漏率為（1.0×10-6 ~1.0×10-4）Pa.m3/s的鹵素檢漏儀的校準(zhǔn)，其他制冷劑的檢漏儀也可以參考本規(guī)范執(zhí)行。解釋：與目前鹵素檢漏儀校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器（鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔）的可溯源...

氦氣真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔真空漏孔的選用主要包括以下幾個(gè)技術(shù)指標(biāo)：漏率值和示漏氣體：主要由檢漏工藝和需求決定，說明的是在檢漏儀內(nèi)置漏孔一般為2×10-8Pa.m3/s的氦漏率。漏孔泄漏方式，主要分為滲氦型和通道型。一般滲氦型漏孔主要用作帶氦氣室，并且氦氣漏率在（10-1...

標(biāo)準(zhǔn)漏孔的校準(zhǔn)周期需根據(jù)使用情況確定，頻繁使用或在惡劣環(huán)境下工作的漏孔，校準(zhǔn)周期應(yīng)適當(dāng)縮短，一般建議不超過一年，以保證量值的可靠性。不同結(jié)構(gòu)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)安裝角度有不同要求，部分漏孔需水平或垂直安裝，以避免重力對(duì)氣體流動(dòng)產(chǎn)生影響。安裝時(shí)需參照說明書，確保姿態(tài)符合...

冷媒標(biāo)準(zhǔn)漏孔(可調(diào)漏率)VTL-20B型 ，漏孔元件為微通道毛細(xì)管，其漏率或校準(zhǔn)精度0.1g/a，漏率范圍：（0～10）g/a，支持客戶指定漏率或年泄漏量定制，如1g/a，2.5g/a，5g/a，…，也可以指定其他漏率單位， 如Pa·m3/s(≥5×10-6 ...