氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點(diǎn):①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi),電壓過低儀器啟動(dòng)困難,且性能不穩(wěn)定,電壓過高會(huì)燒壞電源,嚴(yán)重時(shí)還會(huì)燒毀母板的電路板和分子泵,應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。②儀器在運(yùn)行過程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中,若搬動(dòng)氦檢...
氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修?1.TMP(分子泵工作頻率)在儀器的顯示界面提示為0,即為分子泵不工作??赡苁乔凹?jí)壓力過高(分子泵啟動(dòng)壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵不能正常啟動(dòng)。2.檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題,分子泵出口是否打開,機(jī)械泵油是否太臟,機(jī)械泵是...
氦檢儀怎么選,這取決于客戶的需求:應(yīng)用類型:(例如:生產(chǎn),維護(hù)等)-干式/傳統(tǒng)的油泵?性能:(進(jìn)入檢漏模式所需要的時(shí)間,靈敏度,響應(yīng)時(shí)間,恢復(fù)時(shí)間,初抽的能力)。重量以及大小。氦氦檢儀的性能衡量,主要是通過以下參數(shù):初抽的能力:(m3/h),檢測允許的較大進(jìn)氣...
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦...
氦質(zhì)譜檢漏儀為什么會(huì)選擇氦氣作為主要的示漏氣體?1、氦氣的質(zhì)量輕,易于穿過漏孔,進(jìn)入系統(tǒng)時(shí)流動(dòng)和擴(kuò)散快,因此響應(yīng)快,檢漏靈敏度高。2、氦離子質(zhì)荷比小,因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點(diǎn)的磁場。同時(shí)一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大...
氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴(kuò)散檢漏。逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對(duì)不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子...
氦檢儀因具備檢測靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被普遍應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。氦檢儀在使用過程中,往往會(huì)因?yàn)楫a(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象,而影響檢漏工作的正常進(jìn)度,若對(duì)其置之不理還會(huì)危及氦檢儀的使用壽命。其中的有些故障或現(xiàn)...
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦...
氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因:1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空,比如磁控濺射臺(tái)、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間,耗時(shí)耗力;2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)...
使用氦檢儀需注意哪些問題?響應(yīng)時(shí)間與清理時(shí)間:正常運(yùn)行的儀器響應(yīng)時(shí)間與清理時(shí)間不應(yīng)大于3s。氦檢儀的響應(yīng)時(shí)間會(huì)影響檢漏工作的速度:檢漏時(shí)噴有在漏孔處停留的時(shí)間應(yīng)為儀器響應(yīng)時(shí)間的3倍,該時(shí)間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時(shí)間,即為兩次噴氦的較小間隔時(shí)間,當(dāng)然真空系...
在針對(duì)氦檢儀選擇和安裝真空計(jì)時(shí),必須考慮其特性和真空測量的特性:由于真空室中存在潛在的壓力梯度,恰當(dāng)選擇安裝位置。表面和密封材料呈現(xiàn)脫氣現(xiàn)象。因此真空計(jì)可指示的壓力高于真空室壓力。連接法蘭因此應(yīng)該盡可能的短,且密封件數(shù)量減少到蕞小。電離真空計(jì)具有抽氣效應(yīng),因此...
在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個(gè)階段都要考慮檢漏工作,由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜,內(nèi)部有很多管道和傳動(dòng)機(jī)構(gòu),有的體積很大,達(dá)幾十立方米,甚至數(shù)百立方米,連接管...
氦檢儀的組成部分有哪些?真空系統(tǒng):冷阱。分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。擴(kuò)散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室、檢漏口與擴(kuò)散泵之間,使三者被冷阱隔離,冷阱加入液氮后便可阻止擴(kuò)散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進(jìn)入質(zhì)譜室,保持質(zhì)譜室的清潔,并幫助擴(kuò)散泵迅速獲得較高真空。檢漏...
氦質(zhì)譜檢漏儀常見的幾種檢漏法:1、負(fù)壓法檢漏,負(fù)壓法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測口,連續(xù)向可疑的漏孔噴射示蹤氣體,示蹤氣體通過漏孔進(jìn)入檢漏儀并被檢測。一般電子器件的外殼、高壓開關(guān)管、氧化鋅、避雷器等都應(yīng)采用這種方法檢漏。根據(jù)產(chǎn)品的不同,需要選擇不同尺寸的夾具...
氦檢儀中沒有手動(dòng)閥,現(xiàn)已采用自控閥自動(dòng)調(diào)節(jié)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的誤差。同時(shí)用渦輪分子泵取代了油擴(kuò)散泵,以消除可能造成的油返流。計(jì)算機(jī)技術(shù)也在氦檢儀中獲得應(yīng)用。運(yùn)轉(zhuǎn)、控制和輸出數(shù)據(jù)均由計(jì)算機(jī)自動(dòng)操作完成。典型的示波器已由陰端射線管顯像屏所代替。整個(gè)操作只須按各種按鈕自動(dòng)進(jìn)行。...
氦檢儀靈敏度降低應(yīng)該如何維護(hù)?當(dāng)發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低,而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好,放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求,就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。這個(gè)時(shí)候,就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來進(jìn)行徹底的清洗...
選擇氦檢儀時(shí)主要考慮以下問題:(1)儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能,就不適合正壓法檢漏;有些儀器沒有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能,不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用;流水線上要求一定的檢漏速度,此時(shí)應(yīng)選擇有多工位的氦檢儀。(2)儀器的靈敏度能滿足檢漏的要...
選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)主要考慮以下問題:1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能,就不適合檢漏;有些儀器沒有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能,不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用;流水線上要求一定的檢漏速度,此時(shí)應(yīng)選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。...
氦質(zhì)譜檢漏儀在使用時(shí)需注意哪些問題?1、氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際的檢漏靈敏度比理論計(jì)算值低,一是由于所噴出的氦氣流是散開的,故摻有一定數(shù)量的空氣,使氦氣的濃度有所降低。二是噴出的氣流的方向不可能完全對(duì)準(zhǔn)漏孔的方向,此外、在凹缺處所存在的空氣會(huì)使得進(jìn)入漏孔的氦氣濃度降低...
提高氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度方法:1、盡量開大節(jié)流閥。2、盡量減小外接泵對(duì)工件的分流或采用不分流檢漏(當(dāng)工件抽上真空后,關(guān)閉工件與外接泵之間的閥門)。3、將工件用塑料袋包扎,袋內(nèi)再充入氦氣,(但此法不能測出具體漏點(diǎn))。4、使用液氮,全開節(jié)流閥,采用不分流檢漏,必要時(shí)...
氦質(zhì)譜檢漏儀操作注意事項(xiàng):1、產(chǎn)品放入加壓罐中加壓時(shí),不能直接拆除加壓罐。必須先把加壓罐里面的氣體排出才能打開。由于加壓罐中壓力比空氣中的壓力大以防造成一定的傷害因此在加壓過程中不能讓不相干的人員靠近并在加壓罐上方貼一個(gè)警告標(biāo)識(shí)。2、氦氣減壓閥連接氣瓶接口處要...
高質(zhì)量的檢漏儀可以有效提高產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)安全性,而且還可有效降低產(chǎn)品維護(hù)以及故障排除所需的時(shí)間和資本。但如何更高效的進(jìn)行產(chǎn)品檢漏?檢漏過程中需要注意哪些事宜?上海睿德勵(lì)柯儀器儀表有限公司小編來帶大家學(xué)習(xí)一下如何對(duì)空調(diào)相關(guān)系統(tǒng)利用氦檢儀和檢漏儀等設(shè)備進(jìn)行真空檢漏...
在使用氦檢儀時(shí)要如何保養(yǎng)?①如果儀器不是每天都使用,建議每周啟動(dòng)并檢查一次,以保持儀器的高真空系統(tǒng)處于真空狀態(tài),在后期使用過程中可以縮短儀器的啟動(dòng)時(shí)間。②儀器部件(如離子源)拆卸后,安裝過程中應(yīng)避免在安裝現(xiàn)場發(fā)生泄漏,儀器可用于泄漏檢測。③及時(shí)對(duì)泄漏處(如放氣...
氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護(hù)?當(dāng)發(fā)現(xiàn)檢漏儀的靈敏度降低,而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好,放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求,就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。這個(gè)時(shí)候,就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進(jìn)行徹底的清...
氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)檢漏方法的具體要求:1、檢漏靈敏度高,可以檢出很小的漏孔;2、反應(yīng)時(shí)間短,可以提高工作效率;3、能定位、定量,不但能夠找出漏孔的位置,還能知道漏率的大小,以便確定是否合乎質(zhì)量要求;4、能無損檢漏,不使被檢設(shè)備受到損傷和污染;5、穩(wěn)定性好,即可以在...