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氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進(jìn)人磁場,由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。氦檢儀用于調(diào)節(jié)閥的氣路管道進(jìn)行檢漏。安徽模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)
氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用讓我國許多設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)情況得到了更好的監(jiān)控,特別是在一些真空設(shè)備的質(zhì)量檢驗(yàn)之中,應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)成為了一種常見的事項(xiàng)。氦質(zhì)譜檢漏儀自身的能力和使用情況的直接影響到了設(shè)備的檢測準(zhǔn)度,所以選擇合適的氦質(zhì)譜檢漏儀很重要。氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇:1、如果被檢對對象不固定,體積時(shí)大時(shí)小,靈敏度要求時(shí)高時(shí)低時(shí),就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。2、如果檢漏地點(diǎn)不固定,需要經(jīng)常搬運(yùn)氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí),就要選擇小型便攜式儀器。3、在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上,還要綜合考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的價(jià)格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。安徽智能氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。
氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴(kuò)散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn),達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。
氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素,但通常選用氦氣,因?yàn)楹饩哂幸韵绿匦裕孩俸庠诳諝庵械暮繕O少,只占約二十萬分之一,這樣氦氣的本底值就小,有利于發(fā)現(xiàn)極微量的氦氣;②氦分子小、質(zhì)量輕、易擴(kuò)散、易穿越漏孔,易于檢測也易于清理;③氦離子荷質(zhì)比小,易于進(jìn)行質(zhì)譜分析;④氦氣是惰性氣體,化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,不會(huì)腐蝕和損傷任何設(shè)備;⑤氦氣無毒,不凝結(jié),極難容于水。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)用于火力發(fā)電廠的檢漏工作,具有操作方便、靈敏度高和無損傷性等優(yōu)點(diǎn),特別是可以在正常運(yùn)行中準(zhǔn)確快捷地對機(jī)組進(jìn)行檢漏,減少停機(jī)帶來的經(jīng)濟(jì)損失。掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù),有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。
在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個(gè)階段都要考慮檢漏工作,由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜,內(nèi)部有很多管道和傳動(dòng)機(jī)構(gòu),有的體積很大,達(dá)幾十立方米,甚至數(shù)百立方米,連接管道和內(nèi)部管道的總長度可達(dá)幾公里,焊縫、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達(dá)數(shù)十公里,必須投人很大力量對設(shè)備嚴(yán)格進(jìn)行檢漏,所以且應(yīng)該從設(shè)備開始設(shè)計(jì)時(shí)起就考慮檢漏問題。如果等到進(jìn)行安裝時(shí)再考慮檢漏間題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做?南京分體式氦質(zhì)譜檢漏儀哪個(gè)牌子好
有些國家生產(chǎn)的氦檢儀,可采用干式泵,達(dá)到無油蒸氣的效果。安徽模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)
氦檢儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。靈敏度、反應(yīng)時(shí)間、清零時(shí)間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價(jià)氦檢儀的主要性能指標(biāo)。檢測氣體使用氦氣的主要原因如下:(1)對人體和自然環(huán)境沒有毒害;(2)不能燃燒,作業(yè)安全;(3)惰性氣體,和被檢測對象不會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng);(4)分子直徑和質(zhì)量小,容易穿過微小縫隙,便于檢漏;(5)通常環(huán)境下保持氣體狀態(tài),不會(huì)堵住微漏孔;(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣;(7)氦氣在空氣中的存在量只為5ppm,容易定點(diǎn)查清漏氣位置。由于氦氣比空氣輕很多,向真空腔體噴氦氣檢漏時(shí)要從上往下依次操作,否則不利于判定漏點(diǎn)所在。當(dāng)腔體構(gòu)造復(fù)雜,或漏率極小時(shí),可針對重點(diǎn)部位用塑料袋套住,然后向塑料袋內(nèi)部充入氦氣,實(shí)現(xiàn)對特定重點(diǎn)部位的檢漏。安徽模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)
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