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類金剛石膜有望代替SO2成為下一代集成電路的介質材料。近年來,類金剛石膜在微電子領域的應用,逐漸成為熱點。采用類金剛石膜和碳膜交替出現(xiàn)的多層膜結構構造成的多量子阱結構,具有共振隧道效應的和獨特的電特性,在微電子領域有著潛在的應用前景。類金剛石膜具有良好的表面平...
如果在普通眼鏡片表面沉積類金剛石膜,能夠有效地阻擋紫外線,從而達到保護視力的目的。在汽車擋風玻璃與反光鏡表面沉積一層類金剛石膜,就使得擋風玻璃和反光鏡具有與一般汽車擋風玻璃和反光鏡不可媲美的優(yōu)異性能,比如:完全吸收紫外線,可見光透明度高,表面張力大,不沾水,不...
DLC膜的成分、結構和性能不同。類金剛石碳膜(Diamond-likecarbonfilms,簡稱DLC膜)作為新型的硬質薄膜材料具有一系列優(yōu)異的性能,如高硬度、高耐磨性、高熱導率、高電阻率、良好的光學透明性、化學惰性等,可用于機械、電子、光學、熱學、聲學、醫(yī)...
DLC涂層(類金剛石涂層)的優(yōu)點類金剛石碳(Diamond-likeCarbon)DLC泛指不定性碳的晶體結構材質,此類材質里同時存在著如鉆石般(SP3)及石墨般(SP2)碳原子排列方式,雜錯地結合在一起??茀RDLC涂層可達至高硬度(2000-5000Hv),...
固體潤滑薄膜材料具有優(yōu)異的摩擦學性能,可以有效降低相對運動摩擦副之間的摩擦磨損,是汽車節(jié)能減排技術的重要研究方向.對固體潤滑薄膜尤其是DLC薄膜的摩擦學性能進行了介紹,研究了其在高壓柴油噴射系統(tǒng)和發(fā)動機挺柱等零部件上的應用.臺架試驗結果表明,DLC薄膜可以有效...
DLC涂層(類金剛石涂層)的優(yōu)點類金剛石碳(Diamond-likeCarbon)DLC泛指不定性碳的晶體結構材質,此類材質里同時存在著如鉆石般(SP3)及石墨般(SP2)碳原子排列方式,雜錯地結合在一起??茀RDLC涂層可達至高硬度(2000-5000Hv),...
DLC涂層(類金剛石涂層)的優(yōu)點類金剛石碳(Diamond-likeCarbon)DLC泛指不定性碳的晶體結構材質,此類材質里同時存在著如鉆石般(SP3)及石墨般(SP2)碳原子排列方式,雜錯地結合在一起??茀RDLC涂層可達至高硬度(2000-5000Hv),...
類金剛石碳膜因同時具有高硬度和低摩擦系數(shù)而引起關注,然而,它與工業(yè)中常用的鐵基材料存在"觸媒效應",即,鍍的刀具在加工黑色金屬的過程中高硬度砂鍵會轉化成軟的護鍵,使耐磨性急劇下降,因此限制了它的應用范圍年限,柳襄懷等采用離子束輔助沉積功技術制備出了用于滿足電磁...
傳統(tǒng)硬質合金刀具銑削碳纖維復合材料(CFRP)時磨損嚴重,需在其上沉積金剛石薄膜涂層.在相同的硬質合金立銑刀基體上,改變沉積工藝,獲得3種分別覆有粗晶、細晶和復合晶等不同CVD金剛石薄膜的刀具.用掃描電鏡觀察分析3種涂層的表面形貌.在相同條件下,用3種刀具切削...
DLC膜的成分、結構和性能不同。類金剛石碳膜(Diamond-likecarbonfilms,簡稱DLC膜)作為新型的硬質薄膜材料具有一系列優(yōu)異的性能,如高硬度、高耐磨性、高熱導率、高電阻率、良好的光學透明性、化學惰性等,可用于機械、電子、光學、熱學、聲學、醫(yī)...
使用類金剛石薄膜(DiamondLikeCarbon,DLC)作為涂層,采用等離子體離子浸沒注入技術)對空間飛輪長壽命軸承溝道表面進行改性.結果表明,陪試件表面DLC改性后表面粗糙度、軸承內外溝道輪廓形狀誤差等特性未發(fā)生明顯改變,改性層表面納米硬度提高2倍左右...
類金剛石膜已開始用作耐磨涂層。類金剛石碳(DLC)是非晶結構,碳原子主要以sp3和sp2雜化鍵結合。含氫DLC又稱為α-C:H,其中氫含量在20%到50%之間。無氫類金剛石膜包括無氫非晶碳(α-C)和四面體非晶碳(ta-C)膜。α-C膜含有一些sp3鍵;ta-...
為了探究類金剛石(DLC)涂層在輪胎模具上應用的可行性,以35鋼為基體,采用等離子輔助增強化學氣相沉積(PECVD)的方法分別制備出了含氫類金剛石(DLC)涂層和氟化類金剛石(F-DLC)涂層,并對涂層表面形貌、Raman光譜、表面粗糙度、結合強度、力學性能、...
研究結果表明:采用射頻等離子體增強化學氣相沉積方法,可以在不銹鋼表面沉積一定厚度的DLC碳膜,但是由于薄膜與基材之間存在較大的內應力,薄膜牢度較小,易剝落,且不耐磨。用旋轉磁控電弧離子鍍技術,在不銹鋼金屬表面先制備了Ti/TiC、Ti/TiN等中間過渡層,然后...
在一臺yBHИПA-1型雙激發(fā)源等離子弧薄膜沉積裝置上制取Ti合金化DLC膜,用納米硬度計、顯微硬度計、原子力顯微鏡以及X射線衍射儀和光電子能譜儀等手段對薄膜的力學性能和結構進行了分析和測定.摩擦磨損試驗在一臺球-盤滑動磨損試驗機上進行.比較了不同鈦合金化程度...
隨著人類對金剛石的研究的深入和其應用的,人類對其的需求越來越大,但是,由于制備金剛石的工業(yè)化工藝條件比較難以實現(xiàn),因此人們渴望能有一種可以替代金剛石的新材料。類金剛石膜(diamond-like-carbon)簡稱DLC,是一類性質類似于金剛石具有高電阻率、高...
類金剛石(DLC)薄膜與不銹鋼的結合強度是DLC薄膜應用于血管支架表面改性的關鍵技術問題.利用磁過濾陰極真空弧源沉積方法在316L不銹鋼表面沉積DLC薄膜,研究沉積時基體偏壓、薄膜厚度以及鈦過渡層對DLC薄膜與基體結合強度的影響.研究結果表明,316L表面制備...
隨著科學技術的飛速發(fā)展,用于機械加工、礦山采掘的硬質合金刀具在不斷的更新,刀具涂層技術也在日趨多樣化和復雜化,對生產工藝的要求也隨之提高.文中介紹了硬質合金刀具涂層的2種主要制備方法即化學氣相沉積法(CVD)和物理相沉積法(PVD),簡述了刀具涂層即單組分涂層...
隨著科學技術的飛速發(fā)展,用于機械加工、礦山采掘的硬質合金刀具在不斷的更新,刀具涂層技術也在日趨多樣化和復雜化,對生產工藝的要求也隨之提高.文中介紹了硬質合金刀具涂層的2種主要制備方法即化學氣相沉積法(CVD)和物理相沉積法(PVD),簡述了刀具涂層即單組分涂層...
隨著人們研究的不斷深入,技術的不斷發(fā)展和成熟,該領域的研究范圍將會越來越廣,研究成果也會越來越豐碩。DLC薄膜的性能與應用DLC薄膜將高硬度、低摩擦系數(shù)、耐磨損、抗劃傷性、耐腐蝕性、抗粘連、化學穩(wěn)定性等特性完美地結合,在力學、摩擦學、生物學、電學、光學、熱學和...
經(jīng)過對類金剛石涂層不斷地研究,發(fā)現(xiàn)可以通過選擇合適的工藝參數(shù)、改善基體狀態(tài)、添加過渡層來增加膜基結合力。并且近年來的研究表明在含氫類金剛石涂層制備中加入Si等雜質元素、采用液相法制作類金剛石涂層熱穩(wěn)定性極高,可以有效地解決熱穩(wěn)定性差的問題??傊操|合金刀具表...
一系列含有sp3和sp2雜化的不穩(wěn)定的非晶碳膜統(tǒng)稱為類金剛石薄膜(DLC),這類薄膜具有高的硬度,低的摩擦因數(shù),優(yōu)異的耐磨性,良好的光學透過性和生物相容性,是近年來引起重視的一種新型功能薄膜材料。膜基結合力強弱是決定涂層壽命的關鍵因素,也是決定所有涂層應用價值...
薄膜與基體間的界面結合性能是決定薄膜性能發(fā)揮的關鍵要素.針對類金剛石薄膜(DLC)在硬質合金上結合力差的問題,采用線性陽極離子束復合磁控濺射技術在硬質合金YG8基體上設計制備了單層W過渡層、WC過渡層、雙層W過渡層和三層W過渡層4種不同W過渡層的DLC薄膜,探...
DLC采用陰極電弧離子鍍和等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)相結合的技術方法,在304不銹鋼基體上分別沉積制備了Ti/DLC和Ti/TiN/TiAlN/DLC復合涂層。選用原子力顯微鏡、拉曼光譜對涂層的形貌和結構進行表征測試。同時,利用顯微硬度計、劃痕測試...
類金剛石(DLC)由于其優(yōu)越的耐摩擦學性能和抗腐蝕性能.生物相容性,被認為是一個有前途的生物醫(yī)學材料.DLC薄膜與各種原子鍵結構和成分結合,應用于骨科、心血管和牙科等醫(yī)療領域.細胞可在DLC膜生長,證實其沒有任何細胞毒性和炎性.DLC涂層在骨科中應用:減少磨損...
隨著人們研究的不斷深入,技術的不斷發(fā)展和成熟,該領域的研究范圍將會越來越廣,研究成果也會越來越豐碩。DLC薄膜的性能與應用DLC薄膜將高硬度、低摩擦系數(shù)、耐磨損、抗劃傷性、耐腐蝕性、抗粘連、化學穩(wěn)定性等特性完美地結合,在力學、摩擦學、生物學、電學、光學、熱學和...
利用射頻等離子體增強化學氣相沉積技術以CH4、H2為氣源,Ar為稀釋氣體,在不銹鋼、玻璃等基底上制備大面積類金剛石碳膜(DLC)。并對所制備的DLC碳膜采用拉曼光譜(Raman)、X射線光電子能譜(XPS)、傅立葉紅外光譜(FT-IR)、掃描電子顯微鏡(SEM...
為提高紡織機高速紡紗工況下鋼絲圈表面的磨損性能,采用直流等離子氣相沉積法在鋼絲圈表面制備類金剛石涂層(DLC),采用原位掃描探針顯微鏡觀測涂層表面形貌,測量并計算涂層硬度。結果發(fā)現(xiàn),DLC涂層顆粒粒徑約為100nm,呈島狀聚集分布,硬度約為18GPa。采用球-...
為提高紡織機高速紡紗工況下鋼絲圈表面的磨損性能,采用直流等離子氣相沉積法在鋼絲圈表面制備類金剛石涂層(DLC),采用原位掃描探針顯微鏡觀測涂層表面形貌,測量并計算涂層硬度。結果發(fā)現(xiàn),DLC涂層顆粒粒徑約為100nm,呈島狀聚集分布,硬度約為18GPa。采用球-...
類金剛石(DLC)薄膜與不銹鋼的結合強度是DLC薄膜應用于血管支架表面改性的關鍵技術問題.利用磁過濾陰極真空弧源沉積方法在316L不銹鋼表面沉積DLC薄膜,研究沉積時基體偏壓、薄膜厚度以及鈦過渡層對DLC薄膜與基體結合強度的影響.研究結果表明,316L表面制備...