C1902HX205Y16DF分子泵軸承批發(fā)

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-07-03

新巴頓分子泵軸承采用多道密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),以滿足機(jī)械行業(yè)對(duì)真空系統(tǒng)的防泄漏要求。主密封采用迷宮式密封與骨架油封組合,迷宮間隙控制在 0.1-0.3mm,配合真空泵油形成液封,泄漏率≤1×10??Pa?m3/s。在半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備中,這種密封系統(tǒng)可防止工藝氣體(如 NF?、Cl?)滲入軸承腔,避免潤滑劑失效。輔助密封采用 O 型圈(材質(zhì)為氟橡膠 Viton),耐溫范圍 - 20℃至 + 200℃,在機(jī)械啟停的溫度波動(dòng)中保持彈性,確保密封面的貼合壓力≥0.5MPa。密封系統(tǒng)的整體設(shè)計(jì)使分子泵軸承在 10??Pa 高真空環(huán)境下仍能維持穩(wěn)定的密封性能,為機(jī)械工藝的真空度提供可靠保障。巴頓分子泵軸承:技術(shù)支持,解決客戶難題。C1902HX205Y16DF分子泵軸承批發(fā)

分子泵軸承

分子泵軸承選型需綜合考量轉(zhuǎn)速、載荷、真空度及環(huán)境介質(zhì)四大要素。以 100L/s 抽速的分子泵為例,其轉(zhuǎn)子重量約 5kg,高速旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的離心力可達(dá) 5000N,需選用接觸角為 30° 的角接觸球軸承,通過背對(duì)背安裝方式承受雙向軸向載荷。新巴頓提供的選型工具可根據(jù)用戶參數(shù)自動(dòng)計(jì)算:當(dāng)轉(zhuǎn)速超過 12 萬轉(zhuǎn) / 分鐘時(shí),推薦采用 7000 系列角接觸軸承,其 Dm?N 值(軸承節(jié)圓直徑 × 轉(zhuǎn)速)可達(dá) 1.2×10?mm?r/min,同時(shí)需搭配陶瓷球以降低離心力引起的形變。對(duì)于含腐蝕性氣體的真空環(huán)境,316L 不銹鋼材質(zhì)的軸承配合 PTFE 保持架,可耐受氯氣、氟化氫等介質(zhì)的侵蝕。C2204HX205Y16DF分子泵軸承銷售新巴頓分子泵軸承,采用創(chuàng)新復(fù)合材料,耐磨耐蝕,承載能力優(yōu)越。

C1902HX205Y16DF分子泵軸承批發(fā),分子泵軸承

新巴頓自主研發(fā)的微量油氣潤滑系統(tǒng),將潤滑油以 0.03ml/h 的精確流量與壓縮空氣混合形成油霧,相比傳統(tǒng)脂潤滑,摩擦功耗降低了 65%,且有效避免了積碳問題的產(chǎn)生。針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈需求,推出全氟聚醚(PFPE)潤滑脂,其揮發(fā)分含量低于 0.08%,滿足 ISO 14644-1 Class 5 級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn),即便在 10??Pa 的超高真空環(huán)境下,依然能保持穩(wěn)定的潤滑性能。某半導(dǎo)體 MOCVD 設(shè)備使用該潤滑方案后,軸承的維護(hù)周期從 3 個(gè)月延長至 14 個(gè)月,每年可節(jié)省設(shè)備維護(hù)成本約 120 萬元,同時(shí)減少了因潤滑問題導(dǎo)致的設(shè)備停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。

分子泵高速旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的陀螺力矩需通過角接觸軸承的接觸角優(yōu)化來平衡。新巴頓的 7000 系列角接觸軸承采用 15°-40° 接觸角定制設(shè)計(jì),當(dāng)接觸角為 25° 時(shí),可同時(shí)承受 3000N 軸向載荷與 1500N 徑向載荷,滿足 15 萬轉(zhuǎn) / 分鐘工況下的轉(zhuǎn)子穩(wěn)定性要求。通過有限元分析(FEA)優(yōu)化滾道曲率半徑系數(shù)至 1.08 倍球徑,使接觸應(yīng)力降低 25%,避免邊緣過載導(dǎo)致的疲勞剝落。某半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備改用該設(shè)計(jì)后,軸承的 L10 壽命(90% 可靠性壽命)從 3000 小時(shí)提升至 8000 小時(shí)。創(chuàng)新技術(shù)推動(dòng),新巴頓分子泵軸承帶領(lǐng)紡織機(jī)械高效發(fā)展。

C1902HX205Y16DF分子泵軸承批發(fā),分子泵軸承

分子泵軸承的動(dòng)態(tài)平衡技術(shù):高速分子泵的軸承組件需進(jìn)行高精度動(dòng)平衡,新巴頓采用雙面平衡機(jī)(精度等級(jí) G0.4)對(duì)軸承 - 轉(zhuǎn)子系統(tǒng)進(jìn)行整體平衡,殘余不平衡量控制在 0.5g?mm/kg 以下。對(duì)于 10kg 轉(zhuǎn)子,該精度可使高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的離心力波動(dòng)≤5N,避免軸承異常磨損。平衡過程中通過激光去重技術(shù)(去除量精度 ±0.1mg)對(duì)轉(zhuǎn)子配重塊進(jìn)行微調(diào),某真空鍍膜設(shè)備采用該技術(shù)后,軸承的振動(dòng)加速度從 12m/s2 降至 3m/s2,達(dá)到 ISO 2372 機(jī)械振動(dòng)等級(jí) 1 級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。巴頓分子泵軸承:耐腐蝕,延長使用壽命。杭州巴頓C105HY14 分子泵軸承

巴頓分子泵軸承:優(yōu)化安裝設(shè)計(jì),簡化安裝過程。C1902HX205Y16DF分子泵軸承批發(fā)

針對(duì)機(jī)械行業(yè)的噪聲控制需求,新巴頓對(duì)分子泵軸承進(jìn)行噪聲頻譜優(yōu)化。通過頻譜分析發(fā)現(xiàn),軸承噪聲主要來自滾動(dòng)體打滑(1000-3000Hz)和保持架碰撞(5000-8000Hz),因此采用橢圓滾子修形(修形量 0.01-0.03mm)降低打滑率,保持架采用鏤空式設(shè)計(jì)(質(zhì)量減輕 20%)減少碰撞能量。在紡織機(jī)械的真空吸風(fēng)機(jī)中,優(yōu)化后的軸承噪聲從 75dB 降至 62dB,符合車間噪聲≤85dB 的環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。噪聲測試在半消聲室(本底噪聲≤30dB)中進(jìn)行,通過 1/3 倍頻程分析,確保各頻段噪聲均低于行業(yè)限值,為機(jī)械操作人員創(chuàng)造更舒適的工作環(huán)境。C1902HX205Y16DF分子泵軸承批發(fā)