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激光干涉儀,以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。激光具有**度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源,構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測(cè)量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作,并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。英文名稱:laser interferometer(激光干涉儀)即使光強(qiáng)衰減90%,仍然可以得到有效的干涉信號(hào)。相城區(qū)安裝雙頻激光干涉儀單價(jià)
光源:提供相干光,通常是激光,因?yàn)榧す饩哂懈叨鹊南喔尚?,能夠產(chǎn)生穩(wěn)定的干涉條紋。分束器:將光束分成兩部分,通常使用半透半反鏡或分光棱鏡。反射鏡:調(diào)節(jié)光程差,確保兩束光在干涉屏(或檢測(cè)器)上相遇時(shí)具有合適的相位差。干涉屏(或檢測(cè)器):顯示干涉結(jié)果,或?qū)⒏缮婧蟮墓馐D(zhuǎn)換為電信號(hào)進(jìn)行進(jìn)一步分析。三、分類干涉儀可以按照不同的分類原則進(jìn)行分類,常見(jiàn)的分類方法包括:按結(jié)構(gòu)區(qū)分:分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀。單路徑干涉儀中,干涉的波通過(guò)同一路徑傳播,如Sagnac干涉儀、等傾干涉和等厚干涉等;而多路徑干涉儀中,干涉的波通過(guò)不同的路徑傳播,如邁克爾遜干涉儀。工業(yè)園區(qū)通用雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)雙頻激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀擺脫了計(jì)量室的束縛,更為廣泛的應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中。
多普勒效應(yīng):當(dāng)測(cè)量鏡移動(dòng)時(shí),測(cè)量光的頻率變?yōu)閒1±Δf,與參考光f2干涉后形成差頻信號(hào)|(f1±Δf)-f2|,該信號(hào)反映出位移引起的頻率變化。信號(hào)檢測(cè):光電探測(cè)器將光信號(hào)轉(zhuǎn)為電信號(hào),經(jīng)電路處理提取差頻變化量,然后通過(guò)相位比較或脈沖計(jì)數(shù)來(lái)計(jì)算位移。二、主要特點(diǎn)精度高:雙頻激光干涉儀以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量,即使不做細(xì)分也可達(dá)到微米(μm)量級(jí),細(xì)分后更可達(dá)到納米(nm)量級(jí)。應(yīng)用范圍廣:雙頻激光干涉儀可用于長(zhǎng)度的精密測(cè)量,配上適當(dāng)?shù)母郊€可測(cè)量角度、直線度、平面度、振動(dòng)距離及速度等。
基于菲索干涉儀的等厚干涉原理設(shè)計(jì),通過(guò)對(duì)比被測(cè)平面與標(biāo)準(zhǔn)參照鏡的干涉條紋變化,實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件表面形狀誤差和材料均勻性的非接觸式測(cè)量 [1] [3-4]。標(biāo)準(zhǔn)參照鏡面形精度通常達(dá)到p-v:λ/20 [3-4]。測(cè)量口徑:Φ60mm(典型型號(hào)) [3-4]對(duì)準(zhǔn)方式:兩點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) [3-4]結(jié)構(gòu)特性:小型化設(shè)計(jì)、防塵性能優(yōu)異 [3-4]精度范圍:根據(jù)型號(hào)不同覆蓋1/10-1/100波長(zhǎng)梯度 [11.光學(xué)制造:檢測(cè)平面鏡、棱鏡等光學(xué)元件表面面型2.質(zhì)量檢測(cè):評(píng)估光學(xué)材料均勻性與透鏡波前像差 [1]3.科研實(shí)驗(yàn):實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下進(jìn)行精密光學(xué)計(jì)量分析而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點(diǎn),它是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。
經(jīng)M2反射的光三次穿過(guò)G2分光板,而經(jīng)M1反射的光通過(guò)G2分光板只一次。G1補(bǔ)償板的設(shè)置是為了消除這種不對(duì)稱。在使用單色光源時(shí),可以利用空氣光程來(lái)補(bǔ)償,不一定要補(bǔ)償板;但在復(fù)色光源時(shí),由于玻璃和空氣的色散不同,補(bǔ)償板則是不可或缺的。如果要觀察白光的干涉條紋,臂基本上完全對(duì)稱,也就是兩相干光的光程差要非常小,這時(shí)候可以看到彩色條紋;假若M1或M2有略微的傾斜,就可以得到等厚的交線處(d=0)的干涉條紋為中心對(duì)稱的彩色直條紋,**條紋由于半波損失為暗條紋。邁克爾遜和愛(ài)德華·威廉姆斯·莫雷使用這種干涉儀于1887年進(jìn)行了***的邁克耳遜-莫雷實(shí)驗(yàn),并證實(shí)了以太的不存在。實(shí)時(shí)測(cè)量:可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和數(shù)據(jù)采集,適合動(dòng)態(tài)測(cè)量。吳中區(qū)定制雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹
現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測(cè)速普遍達(dá)到1m/s,有的甚至于十幾m/s,適于高速動(dòng)態(tài)測(cè)量。相城區(qū)安裝雙頻激光干涉儀單價(jià)
邁克爾遜干涉儀的*****應(yīng)用即是它在邁克爾遜-莫雷實(shí)驗(yàn)中對(duì)以太風(fēng)觀測(cè)中所得到的零結(jié)果,這朵十九世紀(jì)末經(jīng)典物理學(xué)天空中的烏云為狹義相對(duì)論的基本假設(shè)提供了實(shí)驗(yàn)依據(jù)。除此之外,由于激光干涉儀能夠非常精確地測(cè)量干涉中的光程差,在當(dāng)今的引力波探測(cè)中邁克爾遜干涉儀以及其他種類的干涉儀都得到了相當(dāng)廣泛的應(yīng)用。激光干涉引力波天文臺(tái)(LIGO)等諸多地面激光干涉引力波探測(cè)器的基本原理就是通過(guò)邁克爾遜干涉儀來(lái)測(cè)量由引力波引起的激光的光程變化,而在計(jì)劃中的激光干涉空間天線(LISA)中,應(yīng)用邁克爾遜干涉儀原理的基本構(gòu)想也已經(jīng)被提出。邁克爾遜干涉儀還被應(yīng)用于尋找太陽(yáng)系外行星的探測(cè)中,雖然在這種探測(cè)中馬赫-曾特干涉儀的應(yīng)用更加***。邁克爾遜干涉儀還在延遲干涉儀,即光學(xué)差分相移鍵控解調(diào)器(Optical DPSK)的制造中有所應(yīng)用,這種解調(diào)器可以在波分復(fù)用網(wǎng)絡(luò)中將相位調(diào)制轉(zhuǎn)換成振幅調(diào)制。相城區(qū)安裝雙頻激光干涉儀單價(jià)
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