如何將針座連接至待測點(diǎn):(1) 顯微鏡小倍數(shù)物鏡下找到待測點(diǎn)(或附近的位置),使待測點(diǎn)成像清晰。(2) 確認(rèn)定位器XYZ三軸均中間行程位置(即各軸導(dǎo)軌端面螺絲對齊)。Z軸也可略向上錯開3mm左右。(3) 安裝并調(diào)節(jié)好針座的高度,側(cè)向平視,觀察針座與樣品臺(或樣品)間的距離(大概5mm,或略小于5mm)??赏ㄟ^調(diào)節(jié)針座臂或針座臂適配器的高度進(jìn)行粗調(diào)定位。(4) 移動定位器,將所有針座移動至顯微鏡光斑下。此時通過目鏡觀察可看到針座的虛影(針座成像未實(shí)體化)。針座使用一段時間后,由于針座加工及使用過程中的微小差異導(dǎo)致所有針座不能在同一平面上會造成。上海WAFER排針
接觸電阻即針座尖與焊點(diǎn)之間接觸時的層間電阻。通常不能給出具體的指標(biāo),因為實(shí)際的接觸電阻很難測量。一般,信號路徑電阻被用來替代接觸電阻,而且它在眾多情況下更加相關(guān)。在檢測虛焊和斷路的時候,針座用戶經(jīng)常需要為路徑電阻指定一個標(biāo)稱值。信號路徑電阻是從焊點(diǎn)到測試儀的總電阻,即接觸電阻、針座電阻、焊接電阻、trace電阻、以及彈簧針互連電阻的總和。但是,接觸電阻是信號路徑電阻的重要組成部分。測試信號的完整性需要高質(zhì)量的針座接觸,這與接觸電阻(CRes)直接相關(guān)。臥貼WAFER廠家直銷隨著針座開始接觸并逐漸深入焊點(diǎn)氧化物和污染物的表層,接觸電阻減小而電流流動迅速開始。
其實(shí),在我們的身邊隨處都可以看到半導(dǎo)體的身影。例如你的電腦、電視,智能手機(jī),亦或是汽車等。半導(dǎo)體像人類大腦一樣,擔(dān)當(dāng)著記憶數(shù)據(jù),計算數(shù)值的功能。針座從操作上來區(qū)分有手動,半自動,全自動 從功能上來區(qū)分有高溫針座,低溫針座,RF針座,LCD平板針座,霍爾效應(yīng)針座,表面電阻率針座。一、針座的用途。電流或電壓信號通過針座的傳輸來測試線路板的開路(Open)或短路(Short)I=U/R,如果是開路(Open)電阻=∝:如果是短路(Short)電阻≌0。
針座氧化:通常針座是由鎢制成的,它如果長期不用,針尖要形起氧化,針尖如果氧化,接觸電阻變大,測試時參數(shù)測不穩(wěn),為了不使它氧化,我們平時必須保護(hù)好針座,把它放在卡盒里,存放在氮?dú)夤裰?,防止針座的加快氧化,同時測片子時,用細(xì)砂子輕輕打磨針尖并通以氮?dú)?,減緩氧化過程。針尖高低不平(若針尖高度差在30UM以上):針座使用一段時間后,由于針座加工及使用過程中的微小差異導(dǎo)致所有針座不能在同一平面上會造成。某些針尖位置高的扎不上AL層,使測試時這些針上電路不通。有數(shù)據(jù)表明針座的故障中有半數(shù)以上是工作臺的故障。
精細(xì)探測技術(shù)帶來新優(yōu)勢:先進(jìn)應(yīng)力控制技術(shù)亦是必須的。為減少或消除造成良率下降之墊片損傷,在銅質(zhì)墊片加上鋁帽將能減少對易碎低K/高K介電的負(fù)面效應(yīng)。以先進(jìn)工藝驅(qū)動在有效區(qū)域上墊片的測試,以低沖擊的針座,避免接觸所產(chǎn)生阻抗問題。另一個可能損害到晶圓的來源是針座力道過猛或不平均,因此能動態(tài)控制針座強(qiáng)度也是很重要的;若能掌握可移轉(zhuǎn)的參數(shù)及精細(xì)的移動控制,即可提升晶圓翻面時的探測精確度,使精細(xì)的Z軸定位接觸控制得到協(xié)調(diào),以提高精確度,并縮短索引的時間。針座并通過測試數(shù)據(jù)反饋,讓設(shè)計芯片的工程師能及時發(fā)現(xiàn)并糾正制作過程中的問題。上海WAFER排針
針座上有細(xì)小的金屬針座附著,通過降低針座高度或升高芯片的高度使之和芯片上的焊盤接觸。上海WAFER排針
半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的探測,可略分為三大類:1.參數(shù)探測:提供制造期間的裝置特性測量;2.晶圓探測:當(dāng)制造完成要進(jìn)行封裝前,在一系列的晶圓上(wafer sort)測試裝置功能;3.以針座為基礎(chǔ)的晶圓處理探測(Final Test):在出貨給顧客前,對封裝完成的裝置做后的測試。晶圓在通過基本的特性測試后,即進(jìn)入晶圓探測階段,此時需要用復(fù)雜的機(jī)器、視覺及軟件來偵測晶圓上的每顆裸晶,精確度約在±2.0μm之間。將晶圓針座的輸入輸出針座墊片(I/O pads)放在接腳和針座正確對應(yīng)的晶圓后,針座會將晶圓向上挪動,使其電氣和連接于測試儀上的針座接觸,以進(jìn)行探測。當(dāng)測試完成,則會自動將下一個待測晶圓替換到針座下面,如此周而復(fù)始地循環(huán)著。上海WAFER排針