氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。氦檢儀整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。寧波小型氦質(zhì)譜檢漏儀哪個(gè)牌子好
氦檢儀產(chǎn)生測量誤差主要包括哪幾個(gè)方面？第1，當(dāng)氦質(zhì)譜泄漏檢測器校準(zhǔn)靈敏度時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)泄漏的位置與檢測泄漏的位置不同，即標(biāo)準(zhǔn)泄漏與檢測泄漏檢測器之間的距離太大，在途中泄漏氦的損失不相等，導(dǎo)致進(jìn)入檢測泄漏檢測器的氦量可比性差。第二，進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算，這時(shí)也會產(chǎn)生漏率測量誤差。第三，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差。第四，氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。第五，校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時(shí)，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六，氦檢儀的性能不穩(wěn)定。第七，氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差。上海自動氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好氦檢儀應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥氣路管道檢漏。
氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)，其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運(yùn)動時(shí)，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時(shí)先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時(shí)，打開入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測出來，此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空，當(dāng)P1降至20Pa時(shí)，入口閥2關(guān)閉，入口閥3打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短，此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。
氦檢儀因具備檢測靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被普遍應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。氦檢儀在使用過程中，往往會因?yàn)楫a(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象，而影響檢漏工作的正常進(jìn)度，若對其置之不理還會危及氦檢儀的使用壽命。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時(shí)解決或避免的，掌握和了解氦檢儀常見故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。氦檢儀熱管檢漏：熱管需要檢漏原因：熱管內(nèi)部填充特殊液體用來增強(qiáng)熱傳導(dǎo)性能，如果熱管本身存在漏點(diǎn)，首先會影響熱管的導(dǎo)熱性能；其次由于熱管都是安裝在設(shè)備內(nèi)部，如果發(fā)生泄漏，里面封裝的液體就會流出，嚴(yán)重污染和影響設(shè)備的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，所以熱管生產(chǎn)企業(yè)，都會采用氦檢儀對熱管進(jìn)行檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲。
隨著汽車工業(yè)的快速發(fā)展，汽車空調(diào)工業(yè)對使用氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀,檢漏儀進(jìn)行氦檢的需求越來越大，對氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀,檢漏儀的氦檢性能指標(biāo)的要求也越來越高。針對汽車空調(diào)蒸發(fā)器、冷凝器、壓縮機(jī)、儲液罐和管路等零部件的檢漏要求和特點(diǎn)，上海睿德勵柯儀器儀表有限公司做了如下設(shè)計(jì)：獨(dú)特的氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀,檢漏儀氣路設(shè)計(jì)，提高了對氦的抽速，縮短了清氦本底時(shí)間，有效防止氦污染。氦檢儀是一種對比性測試儀器，其工作原理是電離進(jìn)入質(zhì)譜室的氦分子，轟擊靶心，放大，通過電流分析氦分子的數(shù)量！進(jìn)入質(zhì)譜室的氦分子比例（分離比），電氣參數(shù)不同，電流相同，泄漏率可能不同；或泄漏率不同，電流相同；所有泄漏檢測儀本身不知道放大電流對應(yīng)的泄漏率，需要參照物，這個(gè)參照物就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀,檢漏儀檢漏口配置：定制精密過濾設(shè)備，能有效防止雜物顆?；蜚~粉進(jìn)入儀器。多模式功能輸入、導(dǎo)出，便于連接各種自動化機(jī)械。機(jī)械與電路有效分離，避免溫度、磁場等相互影響，使檢漏儀運(yùn)行更加平穩(wěn)可靠。蕞小可測漏率低，靈敏度高，檢驗(yàn)量程達(dá)到12級。降低成本。敏度、反應(yīng)時(shí)間、消除時(shí)間、極限真空度及儀器入口處抽速是評價(jià)氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。上海多功能氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)
氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局。寧波小型氦質(zhì)譜檢漏儀哪個(gè)牌子好
氦質(zhì)譜檢漏儀調(diào)氦峰步驟：1、調(diào)氦峰方法：開漏孔開關(guān)，單方向(從75~165V或從165~75V)調(diào)加速電壓“V”，使氦質(zhì)譜檢漏儀放大器輸出表指示值出現(xiàn)一個(gè)Zda值，然后關(guān)漏孔開關(guān)，如表頭指示值變小，說明氦質(zhì)譜檢漏儀接收到氦信號，即找到氦峰；如表頭指示值不變，說明不是氦峰，則繼續(xù)調(diào)“V”，直到找到氦峰(出現(xiàn)氦的“V”一般在85~150V之間)。2、調(diào)氦峰分辨不好：①氦和重離子分辨差。②氦和輕離子分辨差。3、調(diào)氦峰信號?。孩贌艚z沒正對電離盒上的電子入口。②燈絲離電離盒太遠(yuǎn)。③分辨不好。寧波小型氦質(zhì)譜檢漏儀哪個(gè)牌子好