氮氣柜中氮氣的要求:
1、純度要求:為了保證晶圓的純凈度和質(zhì)量,氮氣柜中的氮氣純度應(yīng)達到99.999%以上。高純度的氮氣能夠比較大限度地減少外部污染物對晶圓的影響,提高晶圓的穩(wěn)定性。
2、流量與壓力控制:在氮氣柜中,應(yīng)保持一定的氮氣流量和壓力。流量和壓力的控制能夠保證柜內(nèi)氣體環(huán)境的穩(wěn)定,使晶圓始終處于良好的保護狀態(tài)。
3、溫度控制:為了保證氮氣柜中晶圓的存儲效果,應(yīng)將柜內(nèi)溫度控制在一定范圍內(nèi)。溫度的波動會影響氮氣的保護效果,溫度的穩(wěn)定是保證晶圓質(zhì)量的重要因素。
4、濕度控制:濕度是影響晶圓存儲效果的重要因素之一。在氮氣柜中,應(yīng)將濕度控制在較低的水平,以防止?jié)穸冗^高導致晶圓受潮或生長霉菌。 在疫苗、細胞存儲等場景,設(shè)備實現(xiàn)≥99.99%無菌環(huán)境維持,數(shù)據(jù)追溯周期延伸至15年。深圳氮氣柜生產(chǎn)廠家
氮氣柜,也稱為氮氣儲存柜,是一種用于儲存和運輸?shù)獨獾脑O(shè)備。它主要由柜體、減壓閥、真空泵、壓力傳感器等部件組成。在使用過程中,氮氣柜起到了保護氮氣品質(zhì)、保持氮氣壓力和流量穩(wěn)定的作用。 那么,氮氣柜是如何工作的呢?其實很簡單,當我們要使用氮氣時,通過氮氣柜的真空泵將空氣中的氧氣分離出來,形成高純度的氮氣。然后,通過減壓閥將氮氣的壓力降低到適合使用的范圍內(nèi),并通過過濾器過濾掉任何雜質(zhì),確保氮氣的純凈度。,通過高壓傳感器檢測出氮氣的壓力和流量,保證穩(wěn)定的供氣。蘇州按要求定制氮氣柜普通款濕度20-60RH%氮氣柜中的氮氣應(yīng)保持在適當?shù)膲毫Ψ秶鷥?nèi),通常在0.2-0.5MPa之間,以便于使用者的操作和控制。
隨著微電子工業(yè)的發(fā)展,出現(xiàn)了許多特殊用途的微電子器件和電路,這類產(chǎn)品在微組裝完成封裝前,為了避免受大氣中的氧氣、水汽、塵埃及其它微量腐蝕性有害氣體的影響,需保存在高純氮氣氛下,因此對氮氣凈化儲存柜的需求量越來越大。這類產(chǎn)品國內(nèi)外廠家都在生產(chǎn),但它們大都是簡易型的儲存柜,結(jié)構(gòu)非常簡單,只有1個氮氣輸入口,氮氣充滿柜體后,通過門縫等一些漏點泄露出去。有些國內(nèi)廠家生產(chǎn)的柜門采用冰箱的磁性密封條來密封,密封效果很差,氮氣消耗量很大,使用成本高,用戶難以承受。同時,這類產(chǎn)品還有一大缺點即在開關(guān)柜門取放工件時,受外界環(huán)境氣流的影響很大。
智能氮氣柜的功能和特點有很多,智能氮氣柜的功能有:
安全保護:智能氮氣柜設(shè)有安全裝置,能夠及時發(fā)出警告并采取應(yīng)急措施。
智能休眠:內(nèi)置智能休眠技術(shù),使設(shè)備更節(jié)能更穩(wěn)定。
配置溫濕度監(jiān)控系統(tǒng):通過電腦對氮氣柜中收集的溫濕度數(shù)據(jù)進行記錄存檔,便于查看歷史數(shù)據(jù);濕度值超過設(shè)定值有蜂鳴器報警或聲光報警。
總的來說,智能氮氣柜不僅能提供穩(wěn)定和持久的環(huán)境條件,還具有自動化控制、安全保護、數(shù)據(jù)記錄和追溯等功能,方便后續(xù)分析和審查。 智能氮氣柜可滿足12英寸晶圓盒存儲需求,配合鏡面不銹鋼層架,將微粒污染風險降低至百萬分之一。
據(jù)博研咨詢數(shù)據(jù)顯示,全球智能氮氣柜市場規(guī)模已從2020年的50億元人民幣攀升至2024年的85億元,年復合增長率達16.2%。中國市場表現(xiàn)尤為亮眼,2025年預計突破120億元,占全球市場份額的45%以上。這一增長源于三大驅(qū)動力:
·制造需求激增:半導體產(chǎn)業(yè)晶圓存儲氧含量要求從1%降至0.05%,推動設(shè)備更新周期縮短至3年。
政策紅利釋放:《中國制造2025》將精密存儲設(shè)備列入重點扶持領(lǐng)域,企業(yè)技改補貼比例提升至30%。
技術(shù)成本下降:物聯(lián)網(wǎng)模塊單價從500元降至150元,智能化滲透率突破75%。 綠色氮氣循環(huán):集成PSA制氮模塊,實現(xiàn)氮氣自供給。寧波十年免校準氮氣柜規(guī)格尺寸
防潮氮氣柜生物樣本活性維持周期延長至36個月。深圳氮氣柜生產(chǎn)廠家
設(shè)定濕度后,本產(chǎn)品具有記憶設(shè)定值的功能,即使斷電也無需再次設(shè)定。采用進口傳感器,濕度顯示誤差為±3%RH,溫度顯示誤差約為±1℃。不要擋住后面的節(jié)氮模塊,并確保留出5厘米以上的空間。如果斷電超過24小時,建議轉(zhuǎn)移箱內(nèi)存放的物品。防靜電腳輪是防靜電配置,不管地板是否防靜電。為了確保物流安全,建議連接靜電接地線。推薦使用99.99%以上的高純氮氣,推薦流量10-15L/Min,推薦入口壓力0.3MPa,使用220V/50HZ電源。當濕度沒有下降時,請檢查氮氣供應(yīng)是否正常以及氮氣的純度。深圳氮氣柜生產(chǎn)廠家