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4.1.2潔凈廠房內(nèi)當(dāng)布置有精密設(shè)備和精密儀器儀表,若它們有防微振要求時(shí),為解決防微振問題,在廠址選擇或已建工廠內(nèi)的潔凈廠房場(chǎng)地選擇過程中,需要對(duì)周圍振源的振動(dòng)影響作出評(píng)價(jià),以確定該廠址或場(chǎng)地是否適宜建設(shè)。周圍振源對(duì)精密設(shè)備、精密儀器儀表的振動(dòng)影響,是若干單個(gè)振源振動(dòng)的疊加結(jié)果。這種疊加,目前還沒有系統(tǒng)的參考數(shù)據(jù)及實(shí)用的計(jì)算方法。因此,應(yīng)立足于實(shí)測(cè)。過去有的工廠,由于建廠前沒有對(duì)周圍各類振源的振動(dòng)影響進(jìn)行實(shí)測(cè),建成后發(fā)現(xiàn)對(duì)精密設(shè)備、精密儀器儀表影響很大,有的甚至難以工作,給生產(chǎn)、試驗(yàn)帶來很大困難,這說明實(shí)測(cè)振源振動(dòng)影響是非常必要的。浮游菌采樣需用撞擊式設(shè)備,空氣流量28.3L/min。江蘇實(shí)驗(yàn)室環(huán)境潔凈室檢測(cè)評(píng)估
潔凈室周期性維護(hù)與檢測(cè)的協(xié)同機(jī)制定期檢測(cè)是潔凈室維護(hù)的**環(huán)節(jié)。某液晶面板企業(yè)將檢測(cè)納入預(yù)防性維護(hù)計(jì)劃,每月對(duì)HEPA過濾器進(jìn)行壓差監(jiān)測(cè),每季度開展全室潔凈度掃描,使設(shè)備故障率下降40%。維護(hù)團(tuán)隊(duì)需根據(jù)檢測(cè)結(jié)果動(dòng)態(tài)調(diào)整維護(hù)策略,例如發(fā)現(xiàn)某區(qū)域微生物超標(biāo)后,立即升級(jí)消毒頻次并檢查密封性。此外,維護(hù)記錄與檢測(cè)數(shù)據(jù)的關(guān)聯(lián)分析可揭示潛在風(fēng)險(xiǎn),如某次壓差異常追溯至排風(fēng)機(jī)軸承磨損,避免了系統(tǒng)性故障。。。。。。。。。。。。。。塵埃粒子潔凈室檢測(cè)第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)斷截面上風(fēng)速一致,有垂直單向潔凈室,準(zhǔn)垂直單向流,水平單向流潔凈室等。
10.3.1潔凈廠房內(nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定,并應(yīng)符合下列規(guī)定:1供氣規(guī)模應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計(jì)入必要損耗量確定,并應(yīng)設(shè)有一定的備用供氣量;2供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定;3供氣系統(tǒng)可集中設(shè)置在潔凈廠房內(nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動(dòng)力站;4應(yīng)選用能耗少、噪聲低的設(shè)備,宜選用無油潤滑空氣壓縮機(jī),5含水量要求嚴(yán)格時(shí),宜選用加熱再生吸附干燥裝置。
7.1.1潔凈廠房內(nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級(jí),應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室(區(qū))空氣潔凈度等級(jí)和電子產(chǎn)品工藝特點(diǎn)的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者,凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置:1運(yùn)行班次或使用時(shí)間不同;2生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對(duì)其他工序、設(shè)備交叉污染,對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響;3對(duì)溫、濕度控制要求差別大;4潔凈室(區(qū))內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊;5凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng),6系統(tǒng)風(fēng)量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。潔凈室是指空氣潔凈度達(dá)到規(guī)定級(jí)別的可供人活動(dòng)的空間。
跨國企業(yè)潔凈室檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)的統(tǒng)一難題跨國企業(yè)常面臨多地標(biāo)準(zhǔn)不統(tǒng)一的挑戰(zhàn)。某半導(dǎo)體公司在美、德、韓三國的工廠因本地法規(guī)差異,檢測(cè)流程重復(fù)率達(dá)60%。后通過內(nèi)部標(biāo)準(zhǔn)升級(jí),以ISO 14644為基礎(chǔ),附加各地區(qū)特殊要求附錄,使檢測(cè)效率提升35%。例如,韓國工廠增加KSA 2000標(biāo)準(zhǔn)中的電磁干擾測(cè)試,而德國工廠強(qiáng)化VOC檢測(cè)。統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)還需與當(dāng)?shù)卣J(rèn)證機(jī)構(gòu)協(xié)商,避免審計(jì)***。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。氣鎖間雙門互鎖系統(tǒng)可防止壓差瞬間崩潰。半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測(cè)方法
潔凈服發(fā)塵量檢測(cè)需通過Frazier透氣性測(cè)試儀驗(yàn)證。江蘇實(shí)驗(yàn)室環(huán)境潔凈室檢測(cè)評(píng)估
7.2.1潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝一般為超精細(xì)加工或要求無菌無塵,對(duì)給水系統(tǒng)要求較為嚴(yán)格,如大規(guī)模集成電路的超純水、醫(yī)藥工業(yè)的無菌水等。而且有的水系統(tǒng)的造價(jià)高、管理要求嚴(yán)格,因此應(yīng)根據(jù)不同的要求設(shè)置系統(tǒng)(如純水的不同水質(zhì)要求,冷卻水的不同水溫、水質(zhì)要求等),以便重點(diǎn)保證要求嚴(yán)格的系統(tǒng),也利于管理和節(jié)省運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。目前設(shè)在潔凈廠房中的生產(chǎn)工藝大多為技術(shù)發(fā)展迅速的工業(yè),如大規(guī)模集成電路、生物制藥等。這些生產(chǎn)部門產(chǎn)品升級(jí)換代快,生產(chǎn)工藝變化多。因此,在管道設(shè)計(jì)中應(yīng)留有充分的余量。江蘇實(shí)驗(yàn)室環(huán)境潔凈室檢測(cè)評(píng)估